处理装置和处理方法与流程

处理装置和处理方法相关申请的引用本申请基于并要求2012年3月14日在先提出的日本专利申请2012－057939号的优先权，在此引用并包含其全部内容。技术领域在此说明的实施方式涉及处理装置和处理方法。

背景技术：
在半导体装置或平板显示器等电子设备的制造中，向板状的被处理物(例如，晶片或玻璃基板等)的表面供给处理液来进行各种处理。该情况下，若被处理物的大小变大，则处理液的消耗量就会增多。因此，已提出了一种回收已供给到被处理物表面上的处理液并对回收的处理液进行再利用的技术。但是，在回收的处理液中含有各种物质，有时用过滤器等也无法去除。因此会有通过再利用回收的处理液而被处理物的表面被污染的危险。该情况下，还考虑在利用回收的处理液进行了处理之后，向被处理物的表面供给纯水来去除污染物质的方法，但是有时仅向被处理物表面供给纯水也不能将污染物质去除干净。此外，当反复进行处理液的再利用时，还会产生对处理有效的成分逐渐变少等而处理不充分或处理不均等的危险。当这样地利用回收的处理液进行处理时，存在无法进行被处理物的恰当的处理的危险。

技术实现要素：
本发明所要解决的问题在于，提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备：输送部，输送被处理物；回收部， 回收已供给到由所述输送部输送的所述被处理物的处理面上的第一处理液；第一喷嘴，将由所述回收部回收的所述第一处理液向所述被处理物的处理面喷出；第二喷嘴，设置在所述第一喷嘴的被处理物输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出第二处理液，所述第二处理液是还未用于处理的新的处理液；以及第三喷嘴，设置在所述第二喷嘴的被处理物输送方向的下游侧，向所述被处理物的处理面喷出清洗液。而且，所述第二喷嘴朝着与相对所述被处理物输送方向垂直的方向相比向所述被处理物输送方向的下游侧喷出所述第二处理液，所述第三喷嘴朝着与相对所述被处理物输送方向垂直的方向相比向所述被处理物输送方向的上游侧喷出所述清洗液。发明效果：本发明能够提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。附图说明图1是用于例示第一实施方式涉及的处理装置的结构的模式图。图2是用于例示比较例涉及的喷嘴190和喷嘴200的模式图。图2(a)是用于例示喷嘴190和喷嘴200的喷出方向的模式图，图2(b)是用于例示可涂性和置换性的模式图。图3是用于例示本实施方式涉及的喷嘴19和喷嘴20的模式图。(a)是用于例示喷嘴19和喷嘴20的喷出方向的模式图，图(b)是用于例示可涂性和置换性的模式图。图4(a)～(e)是用于对处理液和清洗液的供给位置、被处理物100的输送速度以及可涂性和置换性之间的关系进行例示的模式图。图5是用于对第二实施方式涉及的处理方法进行例示的流程图。具体实施方式以下，参照附图，对实施方式进行例示。另外，在各附图中同样的结构要素上标注同一附图标记并适当地省略详细的说明。[第一实施方式]图1是用于例示第一实施方式涉及的处理装置的结构的模式图。如图1所示，在处理装置1中设置有第一处理部2、第二处理部3和输送部4。第一处理部2回收已供给到被处理物100的处理面100a上的处理液(相当于第一处理液的一例)，并将回收的处理液再次供给到被处理物100的处理面100a上。第二处理部3对已被第一处理部2处理过的被处理物100的处理面100a进行优化。例如，去除通过再利用回收的处理液而附着在被处理物100的处理面100a上的污染物质。此外，减轻通过反复进行处理液的再利用而产生的处理不充分或处理不均等。输送部4从第一处理部2一侧朝着第二处理部3一侧输送被处理物100。例如，输送部4可以沿着被处理物100的输送方向101设置能以支撑着被处理物100的状态进行旋转的多个输送辊4a。将被处理物100在输送辊4a上朝着输送方向101输送。该情况下，通过控制输送辊4a的旋转速度，就能够调整被处理物100的输送速度。此外，虽然省略了图示，但还设置有支撑输送辊4a的旋转轴、控制电机、驱动力传递部和机架等。另外，例示了具有输送辊4a的输送部4，但不只限定于此。例如，可以适当地选择输送机器人或具有支撑被处理物100的带的输送装置等这些能够朝着规定的方向输送被处理物100的装置。下面，对第一处理部2进一步进行例示。在第一处理部2中设置有喷嘴5(相当于第一喷嘴的一例)、喷嘴6、回收部7、清洗液收纳部15和清洗液供给部16。喷嘴5向被处理物100的处理面100a喷出由回收部7回收的处理液。喷嘴5设置在输送辊4a的上方。与被处理物100的处理面100a对置地设置喷嘴5的喷出口5a。喷嘴5对被处理物100的处理面100a从正上方喷出处理液。喷出口5a呈孔状，在输送方向101和正交于输送方向101的方向上设置有多个。喷嘴5对被处理物100的处理面100a的整个区域喷出处理液。喷嘴5喷出处理液的方式可以按照处理目的或处理液种类等适当地变更。例如，喷嘴5可以喷出液状的处理液，也可以喷出雾状等形态的处理液。从喷嘴5喷出的处理液可以根据处理目的或被处理物100的处理面100a的材质等适当地变更。例如，在被处理物100是玻璃基板并且对附着在处理面100a上的金属污染物进行去除的情况下，作为处理液，可以使用氢氟酸(hydrofluoricacid)等。喷嘴6设置在输送辊4a的下方。与和被处理物100的处理面100a相反的面100b对置地设置喷嘴6的喷出口6a。喷嘴6对被处理物100的面100b从正下方喷出清洗液。喷出口6a呈孔状，在输送方向101和正交于输送方向101的方向上设置有多个。在此，从喷嘴5喷出到被处理物100的处理面100a上的处理液，从被处理物100的周边流出，并被捕集部30捕集。这时，从被处理物100的周边流出的使用完的处理液的一部分，有时会附着在输送辊4a上，并且输送辊4a上附着的使用完的处理液会附着在被处理物100的面100b上。该情况下，由于使用完的处理液中含有被去除的物质，因此会有被处理物100的面100b被污染的危险。此外，由于使用完的处理液中含有对处理有效的成分，因此还会有被处理物100的处理面100b被损伤的危险。因此，就要通过从喷嘴6对被处理物100的面100b喷出清洗液来去除附着在被处理物100的面100b上的使用完的处理液。从喷嘴6喷出的清洗液例如可以设为纯水等。从喷嘴6喷出的清洗液可以是常温，也可以是被加热后的。若使用加热后的清洗液，则能够使被处理物100的温度上升，因此能够使处理面100a上的处理效率提高。喷嘴6喷出清洗液的方式可以适当地变更。例如，喷嘴6可以喷出液状的清洗液，也可以喷出雾状等形态的清洗液。回收部7回收已供给到由输送部4输送的被处理物100的处理面100a上的处理液。在回收部7中设置有捕集部30、收纳部8、供给部9和过滤器10。捕集部30捕集从被处理物100的周边流出的使用完的处理液。捕集部30设置在喷嘴6的下方。从而，也捕集已被喷出到被处理物100的面100b上的使用完的清洗液。捕集部30的方式不特殊限定，例如，可以例示具有上端开口的箱状方式的捕集部30。此外，例如，可以将收纳第一处理部2的未图示的壳体等作为捕集部30。在捕集部30上设置有排出口30a，在排出口30a上连接有配管11的一 端。并且，配管11的另一端连接在收纳部8的流入口8a上。即，能够将捕集部30捕集到的使用完处理液与使用完清洗液的混合液收纳到收纳部8中。收纳部8收纳由捕集部30捕集到的使用完处理液与使用完清洗液的混合液。收纳部8并非必需，但若设置收纳部8，则能够使供给部9的供给稳定。此外，随着反复进行处理液的再利用，使用完的处理液中含有的对处理有效的成分逐渐减少。此外，通过混入使用完的清洗液，对处理有效的成分的浓度就进一步减小。因此，例如，可以在对处理有效的成分的浓度变为小于等于规定的值时，从废液口8b排出，或者从流入口8a供给用于浓度调整的处理液。在收纳部8上设置有排出口8c，在排出口8c上连接有配管12的一端。并且，配管12的另一端连接在供给部9上。即，能够向供给部9供给收纳部8中所收纳的使用完处理液与使用完清洗液的混合液。配管13的一端连接在供给部9上，另一端连接在过滤器10上。配管14的一端连接在过滤器10上，另一端连接在喷嘴5上。因此就能够将收纳部8中收纳的使用完处理液与使用完清洗液的混合液经由过滤器10供给到喷嘴5。供给部9可以设为例如泵等这样的能够输送处理液的设备。过滤器10去除由供给部9供给到喷嘴5中的使用完处理液与使用完清洗液的混合液中所含有的污染物质。未被过滤器10去除干净的污染物质(例如，金属离子等)的一部分会附着在被处理物100的处理面100a上，但可以由第二处理部3的处理来去除。此外，若反复进行处理液的再利用，则对处理有效的成分就会逐渐减少等而产生处理不充分或处理不均等，但可以由第二处理部3的处理来使其减轻。配管17的一端连接在清洗液收纳部15上，另一端连接在清洗液供给部16上。此外，配管18的一端连接在清洗液供给部16上，另一端连接在喷嘴6上。因此就能够将清洗液收纳部15中收纳的清洗液供给到喷嘴6。清洗液收纳部15收纳清洗液。清洗液供给部16可以设为例如泵等这样的能够输送清洗液的设备。此外，也可以适当地设置对清洗液的温度进行控制的未图示的温度控 制部等。下面，对第二处理部3进一步进行例示。在第二处理部3中设置有喷嘴19(相当于第二喷嘴的一例)、喷嘴20(相当于第三喷嘴的一例)、收纳部21、供给部22、清洗液收纳部23、清洗液供给部24和排出部25。喷嘴19设置在喷嘴5的输送方向的下游侧，向被处理物100的处理面100a喷出还未用于处理的新的处理液。喷嘴19设置在输送辊4a的上方。喷嘴19的喷出口19a成为在正交于输送方向101的方向上较长的缝隙状。因此，喷嘴19能够对被处理物100的处理面100a线状地喷出处理液(相当于第二处理液的一例)。此外，喷嘴19朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向101的下游侧喷出处理液。喷嘴19喷出处理液的方式可以按照处理目的或处理液种类等适当地变更。例如，喷嘴19可以是喷出液状处理液的喷嘴，也可以是喷出雾状等形态的处理液的喷嘴。从喷嘴19喷出的处理液中所含有的对处理有效的成分，可以设为与从喷嘴5喷出的处理液中所含有的对处理有效的成分相同。但是，从喷嘴5喷出的处理液是回收的处理液，而从喷嘴19喷出的处理液是还未用于处理的新的处理液。此外，从喷嘴19喷出的处理液的浓度既可以与从喷嘴5喷出的处理液的浓度相同，也可以不同。作为从喷嘴19喷出的处理液，例如可以例示氢氟酸等。喷嘴20设置在喷嘴19的输送方向的下游侧，向被处理物100的处理面100a喷出清洗液。喷嘴20设置在输送辊4a的上方。喷嘴20的喷出口20a成为在正交于输送方向101的方向上较长的缝隙状。因此，喷嘴20能够对被处理物100的处理面100a线状地喷出清洗液。此外，喷嘴20朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出处理液。喷嘴20喷出处理液的方式可以适当地变更。例如，喷嘴20可以是喷出液状清洗液的喷嘴，也可以是喷出雾状等形态的清洗液的喷嘴。从喷嘴20喷出的清洗液例如可以设为纯水等。配管26的一端连接在喷嘴19上，另一端连接在供给部22上。配管27的一端连接在供给部22上，另一端连接在收纳部21上。因此就能够向 喷嘴19供给收纳部21中收纳的还未用于处理的新的处理液。收纳部21收纳还未用于处理的新的处理液。供给部22可以设为例如泵这样的能够输送处理液的设备。配管28的一端连接在喷嘴20上，另一端连接在供给部24上。配管29的一端连接在供给部24上，另一端连接在收纳部23上。因此就能够向喷嘴20供给收纳部23中收纳的清洗液。收纳部23收纳清洗液。供给部24可以设为例如泵这样的能够输送清洗液的设备。排出部25设置在输送辊4a的下部。排出部25捕集从被处理物100的周边流出的使用完的处理液和清洗液，并且将捕集的使用完的处理液和清洗液从排出口25a排出。排出部25的方式不特殊限定，例如，可以例示具有上端开口的箱状方式的排出部。下面，对第二处理部3的作用及效果进一步进行例示。在第二处理部3中去除通过再利用回收的处理液而附着在被处理物100的处理面100a上的污染物质，或者减轻通过反复进行处理液的再利用而产生的处理不充分或处理不均等。因此，在第二处理部3中需要考虑对于从喷嘴19喷出的处理液的可涂性和置换性。此外，还需要为了去除从喷嘴19喷出的处理液而考虑对于从喷嘴20喷出的清洗液的可涂性和置换性。即，需要利用从喷嘴19喷出的处理液置换从喷嘴5喷出的处理液(已再利用的处理液)，并且利用从喷嘴19喷出的处理液涂覆处理面100a。此外，利用从喷嘴20喷出的清洗液置换从喷嘴19喷出的处理液，并且利用从喷嘴20喷出的清洗液涂覆处理面100a。在此，可涂性和置换性受处理液或清洗液的粘度或接触角的影响。若第一处理部2中使用的处理液(已再利用的处理液)的粘度、第二处理部3中使用的处理液(新的清洗液)的粘度、以及第二处理部3中使用的清洗液的粘度太高的话，就会有在被处理物100的处理面100a上产生不被处理液或清洗液覆盖的部分的危险。即，处理液或清洗液的可涂性变差。因此，在电子设备的制造中要对板状的被处理物100的处理面100a进行处理的情况下，一般是将处理液或清洗液的粘度设为与水的粘度同程度。此外，也有时在被处理物100的处理面100a上设置微细的凹凸，但大体是平坦面。因此，在电子设备的制造中要对板状的被处理物100的处理面100a进行处理的情况下，一般是处理面100a上的处理液或清洗液的接触角与水的接触角成为同程度。即，在电子设备的制造中要对板状的被处理物100的处理面100a进行处理的情况下，只要考虑与水同程度的粘度或接触角来研究可涂性和置换性即可。图2是用于例示比较例涉及的喷嘴190和喷嘴200的模式图。另外，图2(a)是用于例示喷嘴190和喷嘴200的喷出方向的模式图，图2(b)是用于例示可涂性和置换性的模式图。图3是用于例示本实施方式涉及的喷嘴19和喷嘴20的模式图。另外，图3(a)是用于例示喷嘴19和喷嘴20的喷出方向的模式图，图3(b)是用于例示可涂性和置换性的模式图。在图2(b)和图3(b)中，用单调色的深浅来体现处理液或清洗液的分布，以处理液或清洗液越多颜色越深，处理液或清洗液越少颜色越浅的方式来体现。如图2(a)所示，喷嘴190朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出处理液。喷嘴200朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向101的下游侧喷出清洗液。即，成为与所述的喷嘴19和喷嘴20的喷出方向分别相反的一侧。在这种情况下，如图2(b)所示，从喷嘴190喷出的处理液从被处理物100的周边流出的量变多。因此，被处理液覆盖的面积变小，对于处理液的可涂性变差。在该情况下，若使处理液的喷出量增加以改善可涂性，则处理液的消耗量就会增多，在第一处理部2中对回收的处理液进行再利用的意义就没有了。在本实施方式中，如图3(a)所示，喷嘴19朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向101的下游侧喷出处理液。喷嘴20朝着与相对被处理物100的输送方向101垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。在这种情况下，由于如图3(b)所示地形成了从喷嘴19喷出的处理 液和从喷嘴20喷出的清洗液相争的区域，因此能够使从喷嘴19喷出的处理液从被处理物100的周边流出的量变少。因此，被处理液覆盖的面积变大，对于处理液的可涂性提高。此外，对于处理液的置换性也提高。其结果，即使在处理液的喷出量少的情况下，也能确保充分的可涂性和置换性，能够实现污染物质的去除和处理不充分或处理不均等的减轻。下面，对被处理物100的输送速度、处理液和清洗液的供给量、处理液和清洗液的供给位置等进行例示。例如，若被处理物100的输送速度太快，就会有因为每单位面积的处理液和清洗液的供给量减少而可涂性或置换性变差的危险。另一方面，若被处理物100的输送速度太慢，则生产率变低。此外，例如，若处理液和清洗液的供给量太多，则消耗量变多。另一方面，若处理液和清洗液的供给量太少，则有可涂性或置换性变差的危险。根据本发明者们得到的认识，例如，若设被处理物100的输送速度小于等于50mm/s，处理液和清洗液的供给量大于等于16升/min且小于等于32升/min，处理面100a上的处理液的供给位置100b与处理面100a上的清洗液的供给位置100c之间的距离d大于等于160mm且小于等于240mm，则能够提高可涂性和置换性。另外，可以通过使喷嘴19的喷出口19a和喷嘴20的喷出口20a在正交于输送方向101的方向上的尺寸大于被处理物100的尺寸，来消除正交于输送方向101的方向上的被处理物100的尺寸的影响。即，只要使喷嘴19的喷出口19a和喷嘴20的喷出口20a在正交于输送方向101的方向上的尺寸大于被处理物100的尺寸即可。图4是用于对处理液及清洗液的供给位置、被处理物100的输送速度以及可涂性及置换性之间的关系进行例示的模式图。在图4(a)～(e)中，用单调色的深浅来体现处理液或清洗液的分布，以处理液或清洗液越多颜色越深，处理液或清洗液越少颜色越浅的方式来体现。此外，在图4(a)～(c)中，设被处理物100的输送速度为50mm/s，在图4(d)、(e)中，设被处理物100的输送速度为167mm/s。此外，在图4(a)～(e)中，设处理液和清洗液的供给量为32升/min。图4(a)是将处理面100a上的处理液的供给位置100b与处理面100a 上的清洗液的供给位置100c之间的距离d(以下，简单称作距离d)设为80mm的情况。该情况下，由于距离d过短，因此，所供给的处理液中到达供给清洗液的位置的处理液的量变得过大。因而，很难将处理液置换成清洗液。图4(b)是将距离d设为160mm的情况，图4(c)是将距离d设为240mm的情况。这些情况下，由于从被处理物100的周边排出所供给的处理液中的适度量的处理液，因此能够实现所供给的处理液中到达供给清洗液的位置的处理液的量的最优化。因而，能够提高对于处理液和清洗液的可涂性和置换性。图4(d)是将距离d设为160mm的情况，图4(e)是将距离d设为240mm的情况。这些情况下，由于被处理物100的输送速度(167mm/s)过快，因此处理液和清洗液展开的时间变少，被处理液和清洗液覆盖的面积就变小。因而，对于处理液和清洗液的可涂性变差。此外，由于被处理物100的输送速度(167mm/s)过快，因此到达供给清洗液的位置的处理液的量过大。因而，很难将处理液置换成清洗液。[第二实施方式]下面，对第二实施方式涉及的处理方法进行例示。图5是用于对第二实施方式涉及的处理方法进行例示的流程图。第二实施方式涉及的处理方法能够在例如所述的处理装置1中来执行。第二实施方式涉及的处理方法是从喷嘴向所输送的被处理物100的处理面100a喷出处理液来对被处理物100进行处理的处理方法。而且，第二实施方式涉及的处理方法包括：回收已供给到所输送的被处理物100的处理面100a上的处理液的工序(步骤S1)；将回收的处理液从喷嘴5向被处理物100的处理面100a喷出的工序(步骤S2)；在喷嘴5的输送方向的下游侧，从喷嘴19向被处理物100的处理面100a喷出还未用于处理的新的处理液的工序(步骤S3)；以及在喷嘴19的输送方向的下游侧，从喷嘴20向被处理物100的处理面 100a喷出清洗液的工序(步骤S4)。此外，在喷嘴5的输送方向的下游侧，从喷嘴19向被处理物100的处理面100a喷出还未用于处理的新的处理液的工序中，从喷嘴19朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出还未用于处理的新的处理液。此外，在喷嘴19的输送方向的下游侧，从喷嘴20向被处理物100的处理面100a喷出清洗液的工序中，从喷嘴20朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。该情况下，可以将回收的处理液中含有的对处理有效的成分和还未用于处理的新的处理液中含有的对处理有效的成分设为相同的成分。此外，可以将处理面100a上的还未用于处理的新的处理液的供给位置与处理面100a上的清洗液的供给位置之间的距离d设为大于等于160mm且小于等于240mm。此外，可以将被处理物100的输送速度设为小于等于50mm/s。此外，可以将还未用于处理的新的处理液和清洗液的供给量设为大于等于16升/min且小于等于32升/min。另外，各工序中的内容可以设为与在处理装置1中例示的内容相同，故省略详细的说明。根据以上例示的实施方式，能够实现即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。以上例示了本发明的几个实施方式，但是这些实施方式是作为例子而提出的，并不是想限定发明范围。这些新的实施方式可以以其他各种各样的方式实施，可以在不脱离发明主旨的范围内进行各种各样的省略、置换和变更。这些实施方式或其变形包含在发明范围或主旨内，并且也包含在权利要求范围中记载的发明及其均等的范围内。此外，所述的各实施方式可以相互组合进行实施。