1.一种等离子体蚀刻气体的回收方法，其为等离子体蚀刻装置中的蚀刻气体的回收方法，该回收方法包括下述工序：
第1过滤工序，将从腔室排出的气体在具备氢氧化金属或氧化金属的第1过滤器中进行过滤；和
第2过滤工序，该第1过滤工序后，将通过该第1过滤器的气体在包含中空纤维膜的第2过滤器中进行过滤。