蜂窝式等离子放电单元及放电盘的制作方法

文档序号:11793517阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种等离子放电单元,包括内层导电材料(1)和外层导电材料(3),其特征在于,内层导电材料(1)和外层导电材料(3)分别位于内层介质管(2)和外层介质管(4)内,内层导电材料(1)及包裹在内层导电材料(1)外的内层介质管(2)构成高压电极的一极,外层导电材料(3)及包裹在外层导电材料(3)外的外层介质管(4)构成高压电极的另一极,内层介质管(2)与外层介质管(4)之间形成气流通道(5),内层介质管(2)与外层介质管(4)套装。

2.根据权利要求1所述的等离子放电单元,其特征在于,内层介质管(2)和外层介质管(4)均为双层中空圆筒式管式结构,内层导电材料(1)和外层导电材料(3)分别位于内层介质管(2)和外层介质管(4)的两层之间的中空的空间内。

3.根据权利要求2所述的等离子放电单元,其特征在于,内层导电材料(1)和外层导电材料(3)分别为圆环状。

4.一种应用权利要求1-3任一所述的等离子放电单元的等离子放电盘,其特征在于,包括盘架(6),等离子放电单元安装在盘架(6)上,内层介质管与外层介质管均与盘架连接。

5.根据权利要求4所述的等离子放电盘,其特征在于,内层导电材料(1)或外层导电材料(3)的任意一个高压电极端通过引线(9)并联到高压电源接线端,另一个做接地连接。

6.根据权利要求5所述的等离子放电盘,其特征在于,导线和高压电极接线端均通过绝缘材料进行包裹。

7.根据权利要求6所述的等离子放电盘,其特征在于,盘架(6)为矩形,等离子放电单元在盘架(6)上呈相互平行的多排交错分布排列安装。

8.根据权利要求6所述的等离子放电盘,其特征在于,盘架(6)为圆形,等离子放电单元在架板上呈等边六边形阵列分布排列安装。

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