一种超声雾化热解喷涂装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种超声雾化热解喷涂装置包括基片，基片用于放置多组待喷涂样品；及转动机构，转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，第一转动机构设置有混液器，混液器盛放待喷涂溶液，第二转动机构设置有雾化喷头，第一转动机构和第二转动机构周期性旋转并可同步到达基片上方的喷涂区域相互配合对基片上的待喷涂样品进行喷涂。本实用新型可以实现高通量薄膜制备的流水线式连续喷涂，提高了薄膜的制备效率。
【专利说明】
一种超声雾化热解喷涂装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种薄膜制备装置，尤其涉及一种超声雾化热解喷涂装置。
【【背景技术】】
[0002]高性能薄膜材料在现代通信技术、光电技术、光催化、新能源、航空以及国防等领域有非常重要的应用。这些材料通常都是由二元及以上的元素构成，材料的组成成分和结构不同，往往会造成材料的各种物理、化学性能出现巨大的差别。
[0003]高通量组合材料芯片技术的出现可以极大的加速新材料的研发进程，在较短时间即可完成传统“试错法”几个月甚至几年的工作，该技术的核心是依靠物理气相沉积技术、化学气相沉积技术或固体烧结的方法在Iinch基片上制备多达106个不同组份的样品，并依靠高通量表征技术对制备的高通量样品库进行并行或扫描检测。
[0004]目前可用于组合材料芯片的制备装置通常采用磁控溅射和离子束溅射。由于溅射技术依靠等离子体或粒子束流，使得薄膜沉积时会出现衍射，影响样品单元沉积精度，限制了相同基片上高通量样品数量的进一步增加。
[0005]相比之下，高通量超声雾化热解喷涂是利用超声波的能量把特定成分和浓度的前驱溶液雾化为粒径微米量级的小液滴，在一定流速载气输运下到达加热的衬底表面附近，热分解后固态生成物沉积到衬底材料表面形成薄膜的薄膜制备工艺。该方法已经广泛用于制备单元和多元氧化物、硫化物、氯化物薄膜材料。
[0006]但是现有的高通量超声雾化热解喷涂设备的雾化喷头单一设置，只能喷涂单一的样品，无法实现样品流水线式喷涂，降低了薄膜的制备效率。
【【实用新型内容】】
[0007]为克服现有技术存在的不足。本实用新型提供一种超声雾化热解喷涂装置。
[0008]本实用新型解决技术问题的技术方案是提供一种超声雾化热解喷涂装置包括基片，所述基片用于放置多组待喷涂样品；及转动机构，所述转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，所述第一转动机构设置有混液器，所述混液器盛放有待喷涂溶液，所述第二转动机构设置有雾化喷头，所述第一转动机构和第二转动机构周期性旋转并可同步到达基片上方的喷涂区域以使混液器和雾化喷头相互配合对基片上的待喷涂样品进行喷涂。
[0009]优选地，进一步包括清洗机构，所述清洗机构包括第一清洗机构和第二清洗机构，所述第一清洗机设置于混液器旋转的方向上，所述第二清洗机构设置于洗雾化喷头旋转的方向上。
[0010]优选地，进一步包括烘干机构，所述烘干机构包括第一烘干机构和第二烘干机构，所述第一烘干构设置于混液器旋转的方向上，所述第二烘干构设置于雾化喷头旋转的方向上。
[0011]优选地，所述第一转动机构包括一第一支架组，所述第一支架组包括大小相同且相互平行设置的驱动栗支架和混液器支架。
[0012]优选地，所述驱动栗支架形状为正N边形，N大于或等于4，且每一条边上均设置有至少两个驱动栗。
[0013]优选地，所述混液器支架上设置有混液器，所述混液器与所述驱动栗一一对应连接。
[0014]优选地，所述第二转动机构包括一第二支架组，所述第二支架组包括雾化支架，所述雾化支架形状大小与混液器支架相匹配，雾化支架上设置有雾化喷头，所述雾化喷头与混液器--匹配对应。
[0015]优选地，所述第一清洗机构和第二清洗机构内均设置有废液槽，所述废液槽呈锥形。
[0016]优选地，所述第一转动机构进一步包括第一驱动杆，所述第一驱动杆垂直连接于所述第一支架组的平衡中心处。
[0017]优选地，所述第二转动机构进一步包括第二驱动杆，所述第二驱动杆垂直连接于所述第二支架组的平衡中心处。
[0018]与现有技术相比，本实用新型的超声雾化热解喷涂装置是具有以下优点:
[0019]1、转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，第一转动机构上设置有混液器，混液器内装有前驱溶液，第二转动机构上设置有雾化喷头，第一转动机构和第二转动机构周期性旋转，并可同步到达基片上的喷涂区域时，使混液器和雾化喷头配合对基片上的样品进行喷涂作业，本实用新型的第一转动机构和第二转动机构周期性旋转可以实现高通量薄膜制备的流水线式连续喷涂。
[0020]2、该超声雾化热解喷涂装置还进一步设置有清洗机构以及烘干机构，在混液器与雾化喷头在每次喷涂作业结束后都会进行清洗烘干，防止混入或喷涂其他前驱溶液时造成交叉污染，保证每个样品喷涂薄膜的纯度，提高产品的质量。
[0021]3、第一转动机构的驱动栗支架以及混液器支架为平行设置的多边形且边数大于等于4，驱动栗支架以及混液器支架大小相等，驱动栗支架的每一条边上等量设置有至少两个驱动栗，混液器支架上设置有与驱动栗相对应匹配的混液器，使得第一转动机构在转动时可以达到力的平衡，防止抖动保证与第二转动机构衔接的平稳;第二转动机构与第一转动机构匹配设置，使得在雾化喷头可以与对应的混液器以及驱动栗配合完成对样品的喷涂作业。
【【附图说明】
】
[0022]图1是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置整体结构第一视角示意图。
[0023]图2是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置整体结构第二视角示意图。
[0024]图3是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的转动机构第一视角示意图。
[0025]图4是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的转动机构第二视角示意图。
[0026]图5是图4在A处的结构放大示意图。
[0027]图6是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的清洗机构示意图。
[0028]图7是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的烘干机构示意图。
[0029]图8是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的第二实施例转动机构第一视角示意图。
[0030]图9是本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置的使用方法示意图。
【【具体实施方式】】
[0031]为了使本实用新型的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0032]请参阅图1和图2，本实用新型一种超声雾化热解喷涂装置10包括机壳100，转动机构101，清洗机构103，烘干机构105，移动机构107以及进料机构108。其中移动机构107包括有移动电机1071以及载物台1073，载物台1073上设置有基片102，基片102上设置有多个样品，移动电机1071可以控制载物台1073在X轴和Y轴方向上进行精确移动，确保基片102上的多个样品可以被精确雾化喷涂。同时为了雾化喷涂的精确性，避免不同雾化源对被喷涂样品造成污染，确保被喷涂样品的纯度，在基片102上方设置有掩膜板104。在载物台1073的下方设置有激光发生器109，激光发生器109发射激光束对基片102上的样品精确定位加热，使样品上的雾化液热解成所需的薄膜，为了精确控制热解温度，在基片102的上方设置有温度探测器106，温度探测器106精确感测基片102的样品热解点的温度，同时将感测到的温度反馈到激光发生器109，激光发生器109对激光束的温度进行修正，确保雾化液热解成薄膜性质的稳定。
[0033]转动机构1I固定于机壳100，转动机构1I上设置有多组盛放前驱溶液的装置以及多组雾化喷涂的装置，盛放前驱溶液的装置在进料机构108处填装前驱溶液，该前驱溶液具有多种不同组分，转动机构101在旋转到进料机构108处后可以根据需要装入所需的前驱溶液，然后转动机构101旋转使盛放前驱溶液的装置、雾化喷涂装置以及被喷涂的样品在同一竖直方向上，此时前驱溶液进入雾化喷涂装置，雾化喷涂装置将前驱溶液雾化，同时对基片102上的样品进行喷涂。喷涂完毕后盛放前驱溶液的装置和雾化喷涂装置先进入清洗机构103进行清洗工序，然后再进入烘干机构105进行烘干备用，若先进入烘干机构105进行烘干，再进入清洗机构103进行清洗则会造成清洗后的设备无法烘干，清洗残留的液体会对，保证盛放前驱溶液的装置和雾化喷涂装置的洁净度，防止在喷涂不同前驱溶液时造成前驱溶液的交叉污染，从而影响热解的薄膜成品性能的稳定。多组盛放前驱溶液的装置以及多组雾化喷涂的装置同时有序配合工作，实现连续热解喷涂，提高组合材料芯片的制备效率。
[0034]请参阅图3、图4和图5，转动机构1I包括有第一转动机构1011和第二转动机构1013，第一转动机构1011和第二转动机构1013周期性同步反向转动，同步到达基片102上方的喷涂区域以实现对基片102上的样品连续喷涂作业，提高组合材料芯片的制备效率。
[0035]第一转动机构1011包括第一驱动电机1010，第一驱动杆1012，驱动栗支架1016以及混液器支架1017。驱动栗支架1016和混液器支架1017平行设置，且混液器支架1017设置于驱动栗支架1016的正下方，进一步，驱动栗支架1016和混液器支架1017为大小等同的正方形支架，驱动栗支架1016和混液器支架1017在竖直方向上的投影完全重合。驱动栗支架1016和混液器支架1017形成叠放设置的第一支架组。驱动栗支架1016的每一条边上设置有至少两个驱动栗1014，驱动栗1014数量可以优选为2个，3个，4个或5个，且每一条边上的驱动栗1014将驱动栗支架1016的每一条边等分。混液器支架1017上设置有混液器1018，混液器1018和驱动栗1014—一对应设置，并通过连接管1015垂直导通连接，驱动栗1014通过连接管1015将混液器1018内的前驱体液充分混合，第一驱动杆1012的一端垂直连接于驱动栗支架1016和混液器支架1017的正方形中心点位置，即第一支架组的平衡中心位置，另一端与第一驱动电机1010连接。第一驱动电机1010通过第一驱动杆1012带动驱动栗支架1016和混液器支架1017旋转。这样设置确保驱动栗支架1016以及混液器支架1017在旋转时达到力的平衡，使得第一转动机构1011平稳运行，与第二转动机构1013可以平稳衔接。第一转动机构1011的每一侧都设置有由至少两个混液器1018和至少两个驱动栗1014组成的混液组，混液器1018个数驱动栗1014个数相匹配，第一转动机构1011周期性转动，使每一混液组都在进料机构108装入前驱溶液，然后在基片102上方的喷涂区域与第二转动机构1013配合对待喷涂样品进行喷涂作业，喷涂完毕后第一转动机构1011将混液组旋转至清洗机构103对混液组进行清洗，防止下次装入不同前驱溶液造成溶液的交叉污染，清洗完成后混液组再经烘干机构105烘干处理，防止清洗液对将装入的前驱溶液浓度造成影响，烘干完成后第一转动机构1011转动将混液组再次送入进料机构108准备下一次的进料喷涂循环。
[0036]做为一种变形驱动栗支架1016和混液器支架1017都为正五边形、正六边形或正七边形等规则的等边型结构。
[0037]第二转动机构1013包括第二驱动电机1021，第二驱动杆1023以及雾化支架1025。雾化支架1025形成第二支架组，雾化支架1025为与混液器支架1017平行设置且等同大小，雾化支架1025的每一条边上设置有与混液器1018——对应匹配设置的雾化喷头1027。第二驱动杆1023—端垂直连接于雾化支架1025的正方形中心点位置，即第二支架组的平衡中心位置，另一端与第二驱动电机1021连接。混液器1018设置有出液口 1019，雾化喷头1027设置有入液口 1029和超声雾化模块1020。第一转动机构1011和第二转动机构1013在同步反向旋转时，设置在第一支架组的驱动栗支架1016上的每一个驱动栗1014和设置在混液器支架1017上的每一个混液器1018时刻保持在同一竖直方向上，同时位于基片102正上方位置处时刻有至少两个驱动栗1014，两个混液器1018和两个雾化喷头1027处于同一竖向直线方向上。处于同一竖直方向上混液器1018通过出液口 1019与雾化喷头1027的入液口 1029连接，混液器1018内的混合均匀的前驱体液在驱动栗1014驱动下可以充分的进入雾化喷头1027，雾化喷头1027内的超声雾化模块1020将前驱体液充分雾化，雾化后的前驱体液在喷涂到基片102的样品上时，驱动栗1014再给雾化喷头1027—个喷涂动力使得雾化后的前驱体液快速准确的喷涂到基片102的样品上。
[0038]雾化支架1025也可以配合驱动栗支架1016和混液器支架1017做相应的形状匹配改变，保证在该超声雾化热解喷涂装置10运行时在基片102上方第一支架组和第二支架组时刻有至少两个驱动栗1014，两个混液器1018和两个雾化喷头1027处于同一竖向直线方向上对基片102上的样品进行喷涂作业。第二转动机构1013跟随第一转动机构1011同步旋转，第二转动机构1013的每一侧都设置有一组雾化喷头1027，第二转动机构1011在基片102上方的喷涂区域雾化喷头1027与第一转动机构1011的混液组配合对基片102上的样品进行喷涂，喷涂完毕后第二转动机构1013经过清洗机构103对设备进行清洗，防止下次喷涂不同前驱溶液造成溶液的交叉污染，清洗完成后再经烘干机构105烘干处理，防止清洗液对将喷涂的前驱溶液浓度造成影响，烘干完成后第二转动机构1013进入等待区准备下一次的喷涂循环。
[0039]请参阅图6，清洗机构103包括第一清洗机构1031和第二清洗机构1033，第一清洗机构1031设置于混液器1018旋转方向的机壳100上，用于清洗混液器1018;第二清洗机构1033设置于与雾化喷头1027旋转方向的机壳100上，用于清洗雾化喷头1027。进一步，第一清洗机构1031底部设置有第一废液槽1035，废液槽1035为锥形状，便于从混液器1018中清洗出来的废液流落在锥形面时，废液可以从锥形面回流到废液回收装置中；第二清洗机构1033底部设置有与第一废液槽1035具有相同结构和功能的第二废液槽1037。在进行喷涂完毕后，混液器1018和雾化喷头1027进入到相应的清洗机构103进行清洗备用，防止同一混液器1018或雾化喷头1027混合或喷涂不同前驱体液造成交叉污染。
[0040]请参阅图7，从清洗烘干机构103出来的混液器1018和雾化喷头1027进入到烘干机构105，烘干机构105包括第一烘干机构1051和第二烘干机构1053，第一烘干机构1051设置于混液器1018旋转方向的机壳100上，用于烘干混液器1018;第二烘干机构1053设置设置于与雾化喷头1027旋转方向的机壳100上，用于烘干雾化喷头1027。进一步，为了使烘干效果更为彻底，第一烘干机构1051内三面环绕设置有平面设置的第一热电阻1055，使得烘干加热变为面加热烘干，烘干效率更快，效果更明显;第二烘干机构1053与第一烘干机构1051设置有相同结构和功能的第二热电阻1057。这样无论何时，在进料机构108，喷涂区域、清洗机构103以及烘干机构105都会有一组混液器1018和雾化喷头1027，即在该超声雾化热解喷涂装置10内至少有四组混液器1018和雾化喷头1027，转动机构1I周期性旋转使得每一组混液器1018和雾化喷头1027周期性进入进料机构108，喷涂区域、清洗机构103以及烘干机构105，实现雾化喷涂的流水性作业。
[0041]请参阅图8，做为一种变形，与第一实施例不同的的地方在于第一转动机构2011和第二转动机构2013周期性同向转动，其转动速度可以不同步，只需保证第一转动机构2011从进料机构208出来后先经基片202上方，再进入清洗机构203，然后进入烘干机构205，再次进入进料机构208循环转动；以及第二转动机构2013先经基片202上方，再入清洗机构203再进入烘干机构205;同时第一转动机构2011和第二转动机构2013的周期性同向转动，同步到达基片202上方以相互配合对基片202上的样品进行循环喷涂作业。
[0042]请参阅图9，本实用新型提供一种超声雾化热解喷涂装置的使用方法20，该方法包括:
[0043 ] S1:开启设备，清洗、烘干混液器1018和雾化喷头1027。
[0044]开启超声雾化热解喷涂装置10，对混液器1018和雾化喷头1027用去离子水进行在清洗机构103进行清洗工序，在清洗完毕后进入烘干机构105，在烘干机构105内将混液器1018和雾化喷头1027进行烘干备用，防止混液器1018和雾化喷头1027上有杂物对前驱溶液造成污染，完成上述工作后停机，等待后续步骤。
[0045]S2:配置前驱溶液，设置程序参数。
[0046]按所需浓度用去离子水为溶剂配置好所需的前驱溶液，并将前驱溶液放入进料机构108中，待开启设备时将配置好的前驱溶液在进料机构108中装入混液器1018再次均匀混合。同时设置雾化喷头1027的喷涂速度为0.12ml/min，设置激光发生器109对基片102的加热温度为6000C，设置雾化喷涂时间为1min，每1min轮换一组雾化喷头1027对基片102上的样品进行喷涂作业，防止因混液器1018内的前驱溶液不足影响喷涂效果，从而造成样品良率降低。
[0047]S3:对基片102上的样品进行喷涂作业。
[0048]将配置好的前驱溶液在进料机构108装入清洗干净的混液器1018中，转动机构101的第一转动机构1011和第二转动机构1013周期旋转，同步到达基片102上方的喷涂区域时，转动机构103上的驱动栗1014，混液器1018和雾化喷头1027处于同一竖直方向上，驱动栗1014将混液器1018内的前驱溶液混合均匀。
[0049]在第一转动机构1011的混液器1018与第而转动机构1013的雾化喷头1027对接配合时，混液器1018内的前驱溶液进入雾化喷头1027，在超声雾化模块1020的作用下将前驱溶液雾化。
[0050]雾化后的前驱溶液在雾化喷头1027和驱动栗1014驱动下喷涂到基片102上的样品组，为了使喷涂区域内的每一个样品都可以精确的进行喷涂，放置基片102的载物台1073可以在X轴和Y轴方向进行精确移动，将基片102上待喷涂的样品精确位移，确保雾化喷头1027可以将如驱溶液精确嗔涂到基片102带嗔涂的样品上。进一步，为了提尚雾化嗔涂的效率，第一转动机构1011和第二转动机构1013周期旋转，同步到达基片102上方的喷涂区域时，雾化喷头1027对基片102上的样品进行雾化喷涂，驱动栗1014和混液器1018与雾化喷涂1027一一对应匹配设置。
[0051 ] S4:对混液器1018和雾化喷头1027分别进行清洗，烘干。
[0052]在一组混液器1018和雾化喷头1027对基片102上的样品喷涂作业完毕后，转动机构101在程序设定下周期性旋转，将喷涂完毕的混液器1018和雾化喷头1027分别送入清洗机构103，在清洗机构103内，用清洗栗将去离子水送入混液器1018和雾化喷头1027内进行清洗，充分去除混液器1018和雾化喷头1 2 7内的前驱溶液，防止混液器1018和雾化喷头1027装入不同的前驱溶液造成前驱溶液的交叉污染。
[0053]转动机构101将清洗完毕的混液器1018和雾化喷头1027送入烘干机构105，在烘干机构105内清洗完毕的混液器1018和雾化喷头1027进行烘干备用，烘干结束的混液器1018和雾化喷头1027进入到进料机构108，装入前驱溶液等待进入喷涂区，与此同时转动机构101将下一组混液器1018和雾化喷头1027旋转到基片102上方的喷涂区域，对基片102上的其他样品组进行雾化喷涂，如此周期性循环，直到基片102上的样品全部喷涂完毕。
[0054]S5:结束。
[0055]在对基片102上的所有样品都嗔涂热解完毕后，关闭超声雾化热解嗔涂装置10，取出基片102。
[0056]与现有技术相比，本实用新型提供的一种超声雾化热解喷涂装置10具有以下优占.V.
[0057]1、转动机构103包括第一转动机构1011和第二转动机构1013，第一转动机构1011上设置有混液器1018，混液器1018内装有前驱溶液，第二转动机构1013上设置有雾化喷头1027，第一转动机构1011和第二转动机构1013周期性旋转，并可同步到达基片102上的喷涂区域时，第一转动机构1011和第二转动机构1013配合使混液器1018和雾化喷头1027对正配合对基片102上的样品进行喷涂作业，本实用新型的第一转动机构1011和第二转动机构1013周期性转动可以实现高通量薄膜制备的流水线式连续喷涂。
[0058]2、该超声雾化热解喷涂装置10还进一步设置有清洗机构103以及烘干机构105，在混液器1018与雾化喷头1027在每次喷涂作业结束后都会进行清洗烘干，防止混入或喷涂其他前驱溶液时造成交叉污染，保证每个样品喷涂薄膜的纯度，提高产品的质量。
[0059]3、第一转动机构1011的驱动栗支架1016以及混液器支架1017为平行设置的多边形且边数大于等于4，驱动栗支架1016以及混液器支架1017大小相等，驱动栗支架1016的每一条边上等量设置有至少两个驱动栗1014，混液器支架1017上设置有与驱动栗1014相对应匹配的混液器1018，使得第一转动机构1011在转动时可以达到力的平衡，防止抖动保证与第二转动机构1013衔接的平稳;第二转动机构1013与第一转动机构1011匹配设置，使得在雾化喷头1027可以与对应的混液器1018以及驱动栗1014配合完成对样品的喷涂作业。
[0060]以上所述仅为本实用新型较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于，包括: 基片，所述基片用于放置多组待喷涂样品;及 转动机构，所述转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，所述第一转动机构设置有混液器，所述混液器盛放有待喷涂溶液，所述第二转动机构设置有雾化喷头，所述第一转动机构和第二转动机构周期性旋转并可同步到达基片上方的喷涂区域以使混液器和雾化喷头相互配合对基片上的待喷涂样品进行喷涂。2.如权利要求1所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:进一步包括清洗机构，所述清洗机构包括第一清洗机构和第二清洗机构，所述第一清洗机设置于混液器旋转的方向上，所述第二清洗机构设置于洗雾化喷头旋转的方向上。3.如权利要求1所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:进一步包括烘干机构，所述烘干机构包括第一烘干机构和第二烘干机构，所述第一烘干构设置于混液器旋转的方向上，所述第二烘干构设置于雾化喷头旋转的方向上。4.如权利要求1所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述第一转动机构包括一第一支架组，所述第一支架组包括大小相同且相互平行设置的驱动栗支架和混液器支架。5.如权利要求4所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述驱动栗支架形状为正N边形，N大于或等于4，且每一条边上均设置有至少两个驱动栗。6.如权利要求5所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述混液器支架上设置有混液器，所述混液器与所述驱动栗一一对应连接。7.如权利要求6所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述第二转动机构包括一第二支架组，所述第二支架组包括雾化支架，所述雾化支架形状大小与混液器支架相匹配，雾化支架上设置有雾化喷头，所述雾化喷头与混液器一一匹配对应。8.如权利要求2所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述第一清洗机构和第二清洗机构内均设置有废液槽，所述废液槽呈锥形。9.如权利要求4所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述第一转动机构进一步包括第一驱动杆，所述第一驱动杆垂直连接于所述第一支架组的平衡中心处。10.如权利要求7所述的一种超声雾化热解喷涂装置，其特征在于:所述第二转动机构进一步包括第二驱动杆，所述第二驱动杆垂直连接于所述第二支架组的平衡中心处。
【文档编号】B05B13/04GK205701227SQ201620428642
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年5月11日
【发明人】向勇, 胡杨
【申请人】电子科技大学