一种新型气体分布器的制作方法

文档序号:13487731阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型气体分布器,其特征在于:由依次连接相通的进气管、再分布管、环形分布管、气体喷射管和设备壳体组成,设备外气体通过气体分布器进气管进入到气体分布器内,然后流入到气体再分布管和环形分布管分布的通道内,通过通道下端分布的气体喷射管流出。

2.根据权利要求1所述的一种新型气体分布器,其特征在于:所述的进气管数量为1-10个。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型气体分布器,其特征在于:所述的气体再分布管水平放置或倾斜放置。

4.根据权利要求1或2所述的一种新型气体分布器,其特征在于:所述环形分布管为圆环形或多边形,各环形分布管之间的间距等距离均匀布置或各环形分布管之间的间距不同。

5.根据权利要求1或2所述的一种新型气体分布器,其特征在于:所述气体喷射管里面有圆形孔板,孔板的直径为5-30mm。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1