技术总结
本实用新型公开了一种多频率的压电超声发生器，是一种体积小、重量轻、操作简单、频率可调，且便于与其它器件集成的新型超声发生器。该多频率的压电超声发生器以高阻硅为衬底，在衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极，在MEMS悬臂梁下拉电极上设有MEMS悬臂梁桥墩，在MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁，在MEMS悬臂梁与MEMS悬臂梁下拉电极之间设有压电材料ZnO。本实用新型由于MEMS悬臂梁阵列中具有不同的长度，特征频率不同，从而实现多频率的超声波。
技术研发人员：王德波;李江南;张焕卿
受保护的技术使用者：南京邮电大学
文档号码：201720717544
技术研发日：2017.06.20
技术公布日：2018.02.13