一种纳米技术设备的粉碎室的制作方法

文档序号:16773488发布日期:2019-01-29 18:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:包括粉碎腔(1)与配气盘(2),所述粉碎腔(1)上部设有进料口(6),所述粉碎腔(1)下部设有出料口(7),所述配气盘(2)上连接有弯管(3),所述弯管(3)上设有喷嘴(4),所述弯管(3)通过喷嘴(4)连接于粉碎腔(1)的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述配气盘(2)包括储存气体、分配气体压力以及流量的圆盘结构,所述配气盘(2)上设有进气口(8)。

3.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述配气盘(2)通过弯管接口(9)连接有四个弯管(3),且四个弯管(3)均匀对称设于配气盘(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述喷嘴(4)包括拉瓦尔式喷管,所述喷嘴(4)采用W18Cr4V材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述粉碎腔(1)侧壁上设有观察窗(5)。

6.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述粉碎腔(1)包括不锈钢材料制成的圆柱体结构。

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