1.一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:包括粉碎腔(1)与配气盘(2),所述粉碎腔(1)上部设有进料口(6),所述粉碎腔(1)下部设有出料口(7),所述配气盘(2)上连接有弯管(3),所述弯管(3)上设有喷嘴(4),所述弯管(3)通过喷嘴(4)连接于粉碎腔(1)的内腔。
2.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述配气盘(2)包括储存气体、分配气体压力以及流量的圆盘结构,所述配气盘(2)上设有进气口(8)。
3.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述配气盘(2)通过弯管接口(9)连接有四个弯管(3),且四个弯管(3)均匀对称设于配气盘(2)上。
4.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述喷嘴(4)包括拉瓦尔式喷管,所述喷嘴(4)采用W18Cr4V材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述粉碎腔(1)侧壁上设有观察窗(5)。
6.根据权利要求1所述的一种纳米技术设备的粉碎室,其特征在于:所述粉碎腔(1)包括不锈钢材料制成的圆柱体结构。