一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法
【专利摘要】本发明涉及一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法，属于新材料与纳米材料【技术领域】。本发明将金属催化硅腐蚀技术与原电池腐蚀技术有效结合，直接利用溶解于氢氟酸溶液中的氧气作为促进硅腐蚀的氧化剂，不需要添加其它氧化剂如双氧水、硝酸铁等。该技术简单易行，可以实现多种形貌硅微纳米结构材料的规模化制备。所制备的硅微纳米结构材料在太阳能电池、锂离子电池、热电器件、气敏元件以及活性表面增强拉曼光谱术衬底等领域具有广泛的应用前景。
【专利说明】一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法，属于新材料技术与纳米材料领域。
【背景技术】
[0002]硅微纳米结构材料由于其独特的物理性能及其在纳米光电子、生物【技术领域】的巨大应用潜力近年引起科学界的广泛关注。目前国内外研究制备多孔硅、硅量子点、硅纳米线阵列等微纳米结构材料的方法多种多样，主要有化学气相沉积和氧化物辅助生长技术。然而这些方法由于制备机制的限制，往往需要较高的温度，对实验设备的要求也很高，从而造成较高的生产成本。如专利200610117576.1中在卧式石英管式炉中制备硅纳米线，要求反应在温度1050-1250°C下，保持腔内压强4500Pa[参见:中国专利200610117576.1，
【发明者】彭奎庆, 胡雅 申请人:北京师范大学