一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备的制作方法

技术总结
本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备，依次包括同轴密封连接的等离子发生器、反应腔、冷却腔，所述等离子发生器包括射频电源、中频电源、等离子体管、螺旋感应圈、气体分布头。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。

技术研发人员：郑小勇
受保护的技术使用者：张家港衡德新材料科技有限公司
技术研发日：2018.10.03
技术公布日：2020.01.31