热腔室180可以进一步包含与预加热腔室180连接的真空泵和阀门(未示出)。
[0040]为了实施连续过程并且提高处理效率，当进行上述升华纯化过程时，自动机141将下一个含有源材料的源材料容器120从源材料储存装置160传送到传送腔室140中，并且随后将源材料容器120装载到预加热腔室180中。同样以与上文所描述相同的方式在预加热腔室180中进行下一次预加热过程。因为本发明在预加热腔室中独立地采取预加热过程，所以处理腔室110中的加热时间得以缩短。常规地，预加热过程和升华纯化过程都是在处理腔室中进行的。然而，本发明的升华纯化设备可以通过采用独立于处理腔室110的预加热腔室180来缩短在处理腔室110中进行预加热过程的时间，并且从而由于处理腔室110中的预加热时间缩短，处理腔室110可以操作更多次。因此，整体上提高了升华纯化过程的生产率。
[0041]同时，当在处理腔室110中完成前一个纯化过程时，自动机141用自动机141的臂将纯化过程完成后留下的空的源材料容器120提升并且传送到传送腔室140中，并且随后将空的源材料容器120传送到源材料储存装置160中并且将空的源材料容器120堆叠在源材料储存装置160中。此时，可以在预加热腔室180中同时进行预加热过程。
[0042]再次参考图la，本发明的升华纯化设备100进一步包含传送腔室150、经纯化材料储存装置170以及冷却腔室190，其用于从处理腔室110卸载含有经纯化材料的经纯化材料收集器130的自动化过程。传送腔室150具有自动机151，其用于自动地传送经纯化材料收集器130。自动机151用自动机151的臂传送经纯化材料收集器130。替代地，本发明的传送腔室150可以进一步包含与传送腔室150连接的真空泵或阀门(未示出)。
[0043]在本发明的实施例的升华纯化设备100中，传送腔室150经由位于处理腔室110的另一端的闸门114与处理腔室110连接.经纯化材料储存装置170经由传送腔室150的另一个闸门与传送腔室150连接，并且冷却腔室190经由传送腔室150的另一个闸门与传送腔室150连接。在过程中视需要，处理腔室110、传送腔室150、经纯化材料储存装置170以及冷却腔室190可以彼此分离。
[0044]经纯化材料储存装置170可以是腔室，其中储存一或多个空的含有经纯化材料的经纯化材料收集器130。替代地，经纯化材料储存装置170可以进一步包含与经纯化材料储存装置170连接的真空泵或阀门(未示出)。在处理腔室110中进行纯化过程之前，当传送腔室150与经纯化材料储存装置170之间的闸门打开时，自动机151用自动机151的臂将多个空的经纯化材料收集器130中的一者从经纯化材料储存装置170提升并且传送到传送腔室150中。当处理腔室110的闸门114打开时，自动机151用自动机151的臂将空的经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中。
[0045]当在处理腔室110中完成纯化过程时，处理腔室110的闸门114再次打开，自动机151用自动机151的臂将含有经纯化材料的经纯化材料收集器130卸载到传送腔室150中。当传送腔室150与冷却腔室190之间的闸门打开时，自动机151用自动机151的臂将经纯化材料收集器130传送到冷却腔室190中。关闭冷却腔室190的闸门，并且冷却腔室190冷却经纯化材料收集器130中所含有的经纯化材料。冷却腔室190的温度低于经纯化材料收集器130在处理腔室中加热的温度并且高于室温。同时，冷却腔室190可以进一步包含与冷却腔室190连接的真空泵和阀门(未示出)。
[0046]此外，自动机151将待用于下一个纯化过程的空的经纯化材料收集器130从经纯化材料储存装置170传送到传送腔室150中，并且将经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中，并且随后进行升华纯化过程。冷却过程可以在冷却腔室190中与升华纯化过程同时进行。常规地，升华纯化过程和冷却过程都是在处理腔室中进行的。然而，本发明的升华纯化设备可以通过采用独立于处理腔室110的冷却腔室190来缩短在处理腔室中进行冷却过程的时间，并且从而由于处理腔室110中的冷却时间缩短，处理腔室110可以操作更多次。因此，整体上提高了升华纯化过程的生产率。
[0047]在传统升华纯化设备中，假定在处理腔室中典型地需要大约一小时三十分钟到两小时三十分钟来进行预加热过程，大约六到七小时来进行升华纯化过程，并且大约一小时三十分钟到两小时三十分钟来进行冷却过程。即，在处理腔室中总共需要大约九到十二小时。然而，根据本发明的升华纯化设备，所述过程在预加热腔室180、处理腔室110以及冷却腔室190中独立地进行，并且因此总共需要约六到七小时来进行处理腔室110中的过程。因此，缩短了升华纯化过程的总时间。
[0048]自动机151用自动机151的臂提升含有冷却的经纯化材料的经纯化材料收集器130，将经纯化材料收集器130从冷却腔室190传送到传送腔室150中，并且将经纯化材料收集器130传送到经纯化材料储存装置170中。连续重复如上文所描述的升华纯化过程。因此，一或多个含有冷却的经纯化材料的经纯化材料收集器130储存在经纯化材料储存装置170中。然后，经纯化材料储存装置170的内部转到大气压并且随后收集每一经纯化材料收集器130中所含有的经纯化材料。
[0049]同时，如上文所描述，因为分别通过不同的自动机141和自动机151传送源材料容器120和经纯化材料收集器130，所以可以防止在传送期间将源材料添加到经纯化材料中并且从而防止经纯化材料被污染。因此，可以提高经纯化材料的纯度。此外，在卸载源材料容器120和经纯化材料收集器130之后，并不需要进行源材料容器120和经纯化材料收集器130的额外分离过程，因为源材料容器120和经纯化材料收集器130分别从处理腔室110中卸载了。因此，可以缩短整个处理时间。此外，因为分别通过不同的自动机141和自动机151传送源材料容器120和经纯化材料收集器130，所以并不需要拉长自动机141和自动机151的臂，可以减轻自动机141和自动机151将承受的重量，并且从而可以提高自动机141和自动机151的臂的耐用性。
[0050]然而，本申请应不限于上述内容，并且一个自动机可以传送源材料容器120和经纯化材料收集器130两者。即，一个自动机可以同时提升并且传送源材料容器120和经纯化材料收集器130两者，或可以依次提升并且传送源材料容器120和经纯化材料收集器130。在此情况下，包括一个自动机的一个传送腔室可以与处理腔室连接。所有预加热腔室、冷却腔室、源材料储存装置以及经纯化材料储存装置都可以与传送腔室连接。另外，预加热腔室、冷却腔室、源材料储存装置以及经纯化材料储存装置可以根据相对应的过程分别与传送腔室连接和与传送腔室分离。此外，其它各种修改或变化是可能的。
[0051]图1b示出了升华纯化设备10(V，其部分修改了图1a中示出的设备。图1b的升华纯化设备100'进一步包含单独的储存装置161，在其中在纯化过程之后储存空的源材料容器120。在图1a中，纯化过程之前含有源材料的源材料容器120和纯化过程之后空的源材料容器120都储存在源材料储存装置160中。然而，在图1b中示出的升华纯化设备10r中，储存在源材料储存装置160中的含有源材料的源材料容器120通过自动机141经由传送腔室140被传送到预加热腔室180中，经历预加热过程，并且随后被传送到处理腔室110中，而纯化过程之后空的源材料容器120通过自动机141从处理腔室110卸载，经由传送腔室140传送，并且储存在储存装置161中，其中储存空的源材料容器120。
[0052]再次参考图lb，本发明的升华纯化设备100'进一步包含单独的储存装置171，其中储存待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130。在图1a中，纯化过程之前空的经纯化材料收集器130和纯化过程之后含有经纯化材料的经纯化材料收集器130都储存在经纯化材料储存装置170中。然而，在图1b中，含有经纯化材料的经纯化材料收集器130通过自动机151从处理腔室110卸载，经由传送腔室150传送到冷却腔室190，经历冷却过程，并且被传送并且储存在经纯化材料储存装置170中，而待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130被储存在与传送腔室150连接的单独的储存装置171中，并且为了纯化过程而通过自动机151从单独的储存装置171经由传送腔室150被传送到处理腔室110中。
[0053]图2a示出了根据本发明的其它实施例的升华纯化设备200。在图2a的升华纯化设备200中，传送腔室140经由闸门113与处理腔室110的一端连接，并且预加热腔室280经由传送腔室140的另一个闸门与传送腔室140连接。源材料储存装置260经由预加热腔室280的闸门与预加热腔室280连接.在过程中视需要，处理腔室110、传送腔室140、源材料储存装置260以及预加热腔室280可以彼此分离。
[0054]在源材料储存装置260中，一或多个含有源材料的源材料容器120堆叠。替代地，源材料储存装置260可以进一步包含与源材料储存装置260连接的真空泵或阀门(未示出)。当源材料储存装置260与预加热腔室280之间的闸门打开时，多个源材料容器120中的一者从源材料储存装置260被传送到预加热腔室280中。在此情况下，传送腔室140的自动机141的臂可以具有足以穿过预加热腔室280的两个闸门的长度，并且所述臂可以将源材料容器120从源材料储存装置260传送到预加热腔室280中。替代地，可以进一步在源材料