储存装置260与预加热腔室280之间提供与传送腔室140和自动机141相同或类似的其它单元(未示出)，并且因此可以通过所述单元传送源材料容器120。随后，如上文所描述，在预加热腔室280中进行含有源材料的源材料容器120的预加热过程。
[0055]当在处理腔室110中完成前一个纯化过程时，源材料储存装置260移置并且与传送腔室140连接，并且自动机141将纯化过程之后空的源材料容器120传送到传送腔室140中并且随后传送源材料储存装置260，并且将空的源材料容器120堆叠在源材料储存装置260中。此时，可以在预加热腔室280中同时进行预加热过程。
[0056]当预加热过程完成时，自动机141将含有经预加热源材料的源材料容器120从预加热腔室280传送到传送腔室140中。当处理腔室110的闸门打开时，自动机141再次将含有源材料的源材料容器120装载到处理腔室110中，并且在处理腔室110中进行纯化过程。
[0057]在图2a的升华纯化设备200中，传送腔室150经由闸门114与处理腔室110的末端连接。冷却腔室290经由传送腔室150的闸门与传送腔室150连接，并且经纯化材料储存装置270经由冷却腔室290的闸门与冷却腔室290连接。在过程中视需要，处理腔室110、传送腔室150、经纯化材料储存装置270以及冷却腔室290可以彼此分离。
[0058]一或多个空的含有经纯化材料的经纯化材料收集器130堆叠在经纯化材料储存装置270中。替代地，经纯化材料储存装置270可以进一步包含与经纯化材料储存装置270连接的真空泵或阀门(未示出)。为了在处理腔室110的纯化过程之前将空的经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中，将与冷却腔室290连接的经纯化材料储存装置270移置到传送腔室150中。当传送腔室150与经纯化材料储存装置270之间的闸门打开时，自动机151将多个空的经纯化材料收集器130中的一者从经纯化材料储存装置270传送到传送腔室150中。当处理腔室110的闸门打开时，自动机151将含有经纯化材料的经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中。
[0059]当在处理腔室110中完成纯化过程时，处理腔室110的闸门114再次打开，并且自动机151将含有经纯化材料的经纯化材料收集器130卸载到传送腔室150中。当连接传送腔室150和冷却腔室290的闸门打开时，自动机151将经纯化材料收集器130传送到冷却腔室290中。关闭冷却腔室290的闸门，冷却腔室290冷却经纯化材料收集器130中所含有的经纯化材料。
[0060]另外，自动机151将待用于下一个纯化过程的空的经纯化材料收集器130从经纯化材料储存装置270传送到传送腔室150中，并且将空的经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中，并且随后进行下一个纯化过程。此时，可以在冷却腔室290中同时进行冷却过程。
[0061]当在冷却腔室290中完成冷却过程时，将经纯化材料储存装置270移置并且与冷却腔室290连接，如图2a中所示。当冷却腔室290与经纯化材料储存装置270之间的闸门打开时，含有经纯化材料的经纯化材料收集器130从冷却腔室290被卸载到经纯化材料储存装置270中。在此情况下，传送腔室150的自动机151的臂可以具有足以穿过冷却腔室290的两个闸门的长度，并且所述臂可以将经纯化材料收集器130从冷却腔室290传送到经纯化材料储存装置270中。替代地，可以进一步在经纯化材料储存装置270与冷却腔室290之间提供与传送腔室150和自动机151相同或类似的其它单元(未示出)，并且因此可以通过所述单元传送经纯化材料收集器130。
[0062]图2b示出了升华纯化设备20(V，其部分修改了图2a中示出的设备。图2b的升华纯化设备20(V进一步包含在纯化过程之后储存空的源材料容器120的单独的储存装置261。在图2a中，为了将纯化过程之前含有源材料的源材料容器120和纯化过程之后空的源材料容器120都储存在源材料储存装置260中，将源材料储存装置260移置到传送腔室140的闸门或预加热腔室280的闸门，并且根据相对应的过程选择性地与传送腔室140和预加热腔室280连接。在图2b中示出的升华纯化设备20(V中，源材料储存装置260与预加热腔室280连接。将含有源材料的源材料容器120从源材料储存装置260装载到预加热腔室280中，并且纯化过程之后空的源材料容器120储存在与传送腔室140连接的单独的储存装置261中。
[0063]再次参考图2b，本发明的升华纯化设备200'进一步包含单独的储存装置271，其中储存待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130。在图2a的升华纯化设备200中，为了将待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130和纯化过程之后含有经纯化材料的经纯化材料收集器130都储存在经纯化材料储存装置270中，将经纯化材料储存装置270移置到传送腔室150的闸门或冷却腔室290的闸门，并且根据相对应的过程选择性地与传送腔室150和冷却腔室290连接。在图2b中示出的升华纯化设备20(V中，将经纯化材料储存装置270与冷却腔室290连接，并且将含有经纯化材料的冷却的经纯化材料收集器130从冷却腔室290卸载到经纯化材料储存装置270中并且储存在经纯化材料储存装置270中。待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130储存在与传送腔室150连接的单独的储存装置271中，并且随后传送到传送腔室150中以用于纯化过程。
[0064]图3a示出了根据本发明的其它实施例的升华纯化设备300。在图3a的升华纯化设备300中，传送腔室140经由闸门113与处理腔室110的一端连接，并且源材料储存装置360经由传送腔室140的另一个闸门与传送腔室140连接。预加热腔室380经由源材料储存装置360的闸门与源材料储存装置360连接.在过程中视需要，处理腔室110、传送腔室140、源材料储存装置360以及预加热腔室380可以彼此分离。
[0065]纯化过程之前含有源材料的源材料容器120和纯化过程之后空的源材料容器120都储存在源材料储存装置360中。替代地，源材料储存装置360可以进一步包含与源材料储存装置360连接的真空泵或阀门(未示出)。
[0066]多个源材料容器120中的一者通过自动机141从源材料储存装置360被传送到预加热腔室380中，并且在预加热腔室380中进行含有源材料的源材料容器120的预加热过程。当预加热过程完成时，自动机141将含有预加热源材料的源材料容器120从预加热腔室380经由源材料储存装置360传送到传送腔室140中，并且随后将源材料容器120再次装载到处理腔室110中。在处理腔室110中进行纯化过程。
[0067]当在处理腔室110中完成纯化过程时，自动机141将纯化过程之后空的源材料容器120传送到传送腔室140中，并且随后将空的源材料容器120传送到源材料储存装置360中并且将空的源材料容器120堆叠在源材料储存装置360中。此时，可以在预加热腔室380中同时进行下一个预加热过程。
[0068]此处，已经描述了通过自动机141在源材料储存装置360与预加热腔室380之间传送源材料容器120。替代地，可以进一步在源材料储存装置360与预加热腔室380之间提供与传送腔室140和自动机141相同或类似的其它单元(未示出)，并且因此可以通过所述传送单元传送源材料容器120。
[0069]在图3a的升华纯化设备300中，传送腔室150经由闸门114与处理腔室110的末端连接。经纯化材料储存装置370经由传送腔室150的另一个闸门与传送腔室150连接，并且冷却腔室390经由经纯化材料储存装置370的闸门与经纯化材料储存装置370连接。在过程中视需要，处理腔室110、传送腔室150、经纯化材料储存装置370以及冷却腔室390可以彼此分离。
[0070]待用于纯化过程的空的经纯化材料收集器130和纯化过程之后含有经纯化材料的经纯化材料收集器130都储存在经纯化材料储存装置370中。替代地，经纯化材料储存装置370可以进一步包含与经纯化材料储存装置370连接的真空泵或阀门(未示出)。
[0071]当在处理腔室110中完成纯化过程时，自动机151将含有经纯化材料的经纯化材料收集器130从处理腔室110卸载到传送腔室150中，并且随后将经纯化材料收集器130从传送腔室150经由经纯化材料储存装置370传送到冷却腔室390中。冷却腔室390冷却经纯化材料收集器130中所含有的经纯化材料。当在冷却腔室390中完成冷却过程时，自动机151将含有经纯化材料的冷却的经纯化材料收集器130从冷却腔室390卸载到经纯化材料储存装置370中，并且随后将经纯化材料收集器130储存在经纯化材料储存装置370中。
[0072]另外，自动机151将待用于下一个纯化过程的空的经纯化材料收集器130从经纯化材料储存装置370传送到传送腔室150中，并且将经纯化材料收集器130传送到处理腔室110中，并且随后进行下一个纯化过程。此时，可以在冷却腔室390中进行冷却过程。
[0073]此处，已经描述了通过安装于传送腔室150中的自动机151在经纯化材料储存装置370与冷却腔室390之间传送经纯化材料收集器130。替代地，可以进一步在经纯化材料储存装置370与冷却腔室390之间提供与传送腔室150和自动机151相同或类似的其它单元(未示出)。
[0074]图3b示出了升华纯化设备30(V，其部分修改了图3a中示出的设备。在图3b的升华纯化设备