的槽部分和形成为沿密闭空间形成体132的圆周方向延伸的槽部分相连而成的槽。因此，通过在使钩槽144与吐出装置20的吐出侧装卸部26上设置的销84对位的状态下，将吐出侧装卸部26插入密闭空间形成体132内并使吐出侧装卸部26沿圆周方向旋转，从而能够使销84以不会从钩槽144中脱落的方式与钩槽144卡合。
[0075]在密闭空间形成体132的外周部上设有排气孔(未图示)。排气孔被连接为将密闭空间形成体132的内外部连通。如图1所示，密闭空间形成体132通过排气孔而与真空栗等的减压装置148连接。
[0076]流体供给装置160能够从贮存有流体的贮存槽162中汲取流体并将流体加压输送至补充装置100。流体供给装置160以管道连接的方式与补充装置100上所设置的阀106连接。因此，通过适当地打开或关闭阀106，能够控制对补充装置100的流体供给。
[0077]控制装置170是用于对构成吐出系统10的吐出装置20、机械手90、补充装置100、流体供给装置160等各部的动作实施控制的装置。控制装置170能够对吐出装置20所进行的流体吐出动作、机械手90的动作、以吐出装置20和补充装置100为中心实施的流体补充动作等的动作进行控制。
[0078]《关于吐出系统10的动作》
[0079]以下，参照图7所示的流程图及图8所示的时间图，以向吐出装置20补充流体的动作为重点对上述吐出系统10的动作进行说明。
[0080]吐出系统10在步骤I中使吐出装置20工作并实施流体吐出动作。在吐出装置20工作后，当在步骤2中由控制装置170作出如下判断时，控制流程进入步骤3，该判断是指:判断为输出了应对吐出装置20补充流体这一要求。
[0081]在此，关于有无向吐出装置20补充流体的要求的判断，可以根据各种判断基准进行实施，例如，可以以能够检测设置于吐出装置20的吐出侧缓冲部22的内压的压力传感器(未图示)变为规定压力以下这一情况作为条件，而判断为:在吐出侧缓冲部22内活塞34到达下限位置、流体的补充要求变为“0N”状态。另外，在采用根据活塞34的位置进行“0N/0FF”的自动开关来作为补充量检测部件的情况下，能够在根据该自动开关的检测结果得出活塞34到达下限位置这一判断时，判断为流体的补充要求变为“0N”状态。
[0082]当在步骤2中判断出存在流体补充要求且控制流程进入步骤3时，如图9中(a)、(c)所示，利用机械手90将吐出装置20移动至补充装置100侧。然后，吐出装置20侧所设置的吐出侧装卸部主体80的筒部80a从补充装置100侧所设置的筒状的密闭空间形成体132的上端部插入。
[0083]在本阶段(步骤3)中，补充侧连接件134与吐出装置20侧的吐出侧连接件82呈未连接的状态。该状态下，在密闭空间形成体132的上端侧形成为:通过安装在筒部80a外周的密封部件86将筒部80a的外周面与密闭空间形成体132的内周面之间的间隙密封的状态。另一方面，在密闭空间形成体132的下端侧形成为:通过安装在连接部130b外周的密封部件136将连接部130b的外周面与密闭空间形成体132的内周面之间的间隙密封的状态。因此，在步骤3的状态下，在密闭空间形成体132的内侧形成密闭空间135，并且，成为吐出侧连接件82和补充侧连接件134以非连接状态被配置于该密闭空间135内的状态。
[0084]当如上所述在密闭空间形成体132内形成密闭空间135时，控制流程进入步骤4。在步骤4中，使以管道连接的方式与密闭空间形成体132的排气孔146连接的减压装置148工作而开始进行抽真空，以使密闭空间135成为大致真空状态。
[0085]另外，关于作为抽真空开始的契机的、筒部80a与密闭空间形成体132的连接状态的检测，可以利用各种方法实施。具体而言，能够以如下方式实施，即:将用于检测筒部80a已被插入密闭空间形成体132内的真空限位开关(未图示)预先设置在与补充装置100相邻的位置处，并根据从该真空限位开关输出的信号，由控制装置170判断筒部80a被插入密闭空间形成体132中且形成密闭空间135。
[0086]步骤4的抽真空开始后，当在步骤5中通过用于检测密闭空间135的真空度的真空传感器(未图示)确认为已达到目标真空度时，控制流程进入步骤6。
[0087]在步骤6中，通过利用控制装置170对机械手90的动作进行控制，从而使吐出装置20沿吐出侧连接件82的轴线方向移动并接近补充装置100。此时，从控制装置170向机械手90输出控制动作速度的信号(动作速度控制信号)，根据该信号使吐出装置20以规定的速度Vl接近补充装置100。由此，如图9中的(b)、( d)所示，在密闭空间135内，吐出侧连接件82与补充侧连接件134以速度Vl接近，使得两个连接件82、134(连接装置140)呈连接状态。
[0088]当连接装置140成为连接状态时，在步骤7中使防止分离机构150成为锁定状态。具体而言，当在步骤6中吐出侧连接件82和补充侧连接件134连接时，成为下述状态，S卩:如图10中的(a)所示，吐出侧装卸部主体80的外周部上所设置的销84也沿着密闭空间形成体132的轴线方向前进并进入到密闭空间形成体132上所设置的钩槽144中这一状态。在步骤7中，通过利用机械手90使吐出装置20沿密闭空间形成体132的圆周方向旋转，从而成为吐出装置20进行旋转并且销84如图10中的(b)所示沿钩槽144内部移动并卡合于钩槽144中的状态。由此，防止分离机构150变为锁定状态，从而成为吐出装置20与补充装置100被连接的状
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[0089]关于销84到达钩槽144的终端部附近处而防止分离机构150变为锁定状态的检测，可以利用各种方法实施。具体而言，将用于检测吐出装置20已转动至使销84到达钩槽144终端部附近的位置处的对接(docking)完成限位开关(连接状态检测部件、未图示)预先设置在与补充装置100相邻的位置处，并能够根据从该对接完成限位开关输出的信号检测是否呈如下状态，即:吐出装置20与补充装置100已被连接且防止分离机构150呈锁定状态。
[0090]当如上所述连接装置140的连接完成且防止分离机构150呈锁定状态时，在步骤8中使减压装置148停止并结束抽真空。然后，控制流程进入步骤9，开始从补充装置100向吐出装置20补充流体。
[0091]具体而言，在步骤9中，使设置于补充装置100上的阀106呈打开状态，由此使从流体供给装置160加压输送来的流体经由由吐出侧连接件80和补充侧连接件134构成的连接装置140而被加压输送至吐出装置20侧。即，在本实施方式中，以在上述步骤7中通过对接完成限位开关检测出吐出装置20与补充装置100的连接作为一个条件，进而以在步骤8中抽真空结束作为条件，而使阀106呈打开状态。
[0092 ] 被加压输送至吐出装置20侧的流体经由吐出侧装卸部26被补充至吐出部24的壳体50内。在此，如上所述，在吐出装置20和补充装置100中分别设置有吐出侧缓冲部22和补充侧缓冲部102。由此，随着流体从补充装置100向吐出装置20的补充而产生的内压变动得到缓冲，从而将吐出装置20和补充装置100的内压维持在大气压附近的低压水平上。
[0093]当如上所述开始流体的补充时，控制流程进入步骤10，由控制装置170确认被补充到吐出装置20侧的流体是否已变为充满状态。
[0094]在此，关于流体已充分补充至吐出装置20的检测方法等，可以采用各种方法。具体而言，可以以用于检测吐出装置20的吐出侧缓冲部22内压的压力传感器(未图示)检测出规定压力以上的压力这一情况作为条件，而判断为:流体已被充分补充、从而补充要求变为“OFF”状态。另外，在采用根据活塞34的位置进行“ON/OFF^’的自动开关来作为补充量检测部件的情况下，当活塞34到达设置于上限位置的自动开关的检测区域且上限位置的自动开关变为“ON”状态时，能够判断为流体的补充要求变为“OFF1’状态。
[0095]当在步骤1中确认到对吐出装置20进行的流体补充已达到充满状态时，控制流程进入步骤11，阀106变为关闭状态。由此，流体从补充装置100向吐出装置20的补充结束。
[0096]当如此完成流体的补充时，控制流程进入步骤12，使防止分离机构150变为解除锁定的状态。具体而言，通过使机械手90工作而使吐出装置20朝向与在步骤7中将防止分离机构150变为锁定状态时相反的方向旋转之后，使吐出装置20沿着轴线方向离开补充装置100。当如此离开而变为将构成防止分离机构150的销84从钩槽144中拔出的状态时，呈防止分离机构150的锁定被解除的状态。
[0097]当防止分离机构150的锁定解除完成时，控制流程进入步骤13。在步骤13中，吐出装置20进一步朝向沿着轴线方向离开补充装置100的方向移动。此时，从控制装置170向机械手90输出控制动作速度的信号(动作速度控制信号)，根据该信号使吐出装置20以规定的速度V2离开补充装置100。该离开速度V2设定为小于等于上述步骤6中的连接速度V1(|V1> I V2 |)。由此，吐出侧连接件82与补充侧连接件134以连接动作时的速度以下的速度V2相分离，由此吐出侧连接件82从补充侧连接件134脱离从而成为两者的连接被解除的状态。通过以上步骤，一连串的动作流程得以完成。
[0098]《关于连接装置140的详细结构》
[0099]如上所述，连接装置140是由吐出侧连接件82和补充侧连接件134的组合而构成。
[0100]以下，对构成连接装置140的吐出侧连接件82和补充侧连接件134各自的结构进行说明，然后对吐出侧连接件82和补充侧连接件134之间形成的间隙的大小进行说明。
[0101]另外，吐出侧连接件82采用如图11所示的插座(socket)。进一步详细而言，吐出侧连接件82具备汽缸部82a、流道构成部82b以及能够沿轴线方向滑动的活塞部82c(动作部)。汽缸部82a是筒状部件，且具有能够供上述补充侧连接件134的插入部134f插入的开口径。流道构成部82b被配置为与汽缸部82a呈大致同心。在流道构成部82b的内部形成有流道82d。流道82d的末端部在流道构成部82b的外表面上开口。
[0102]活塞部82c被配置为与汽缸部82a和流道构成部82b呈大致同心。活塞部82c能够沿流道构成部82b的表面滑动。通过弹簧82e对活塞部82c施加朝向汽缸部82a和流道构成部82b的轴线方向前端侧的力。由此，通常情况下，形成于流道构成部82b的流道82d的末端开口部分通过活塞部82c的内周面而被封闭。另一方面，通过对活塞部82c施加与弹簧82e的施力方向呈相反方向的推动力，能够使活塞部82c朝向轴线方向基端侧滑动。
[0103]在吐出侧连接件82中，通过使活塞部82c对抗弹簧82e的作用力而移动至相比流道82d的末端开口部分更靠基端侧的位置，能够使流道82d呈打开状态。另外，在利用弹簧82e的作用力使活塞部82c移动至前端侧的状态下，流道82d呈关闭状态。活塞部82c并不是在流道82d内进行动作，而是在偏离流道82d的位置处进行动作。因此，即使为了打开或关闭流道82d而使活塞部82c沿轴线方向滑动，流道82d的容积也不会发生变化。
[0104]如图11所示，补充侧连接件134具有能够在汽缸部134a的内部沿轴线方向滑动的活塞部134b(动作部)。汽缸部134a形成为:其剖面形状朝向轴线方向前端侧呈凸形状，并且在前端侧具有插入部134f。在汽缸部134a的内周侧形成有凹部134d，通过该凹部134d在汽缸部134a的内周侧与活塞部134b的外周面之间形成流道134c。该流道13