状的固定块1112的脚部1112b的上表面，在X轴方向上延伸;和一对滑块1114b，其被安装于可动块1118的下表面，与轨道1114a卡合。另外，在固定块1112的脚部1112b的X轴正方向侧面固定有向上方延伸的支部1112a。可动块1118的X轴正方向侧面，经由上下排列的一对空气弹簧1116与固定块1112的支部1112a连结。如上所述，X轴致动器的固定部1120，利用由直线引导件1114和空气弹簧1116所构成的固定部支承机构，相对于固定块1112(还有装置基座1050)在驱动方向(X轴方向)上被柔软地支承。因此，当X轴致动器1100被驱动时，施加于固定部1120的X轴方向的较强的反作用力(激振力)，不被直接传递至装置基座1050，而被空气弹簧1116特别地大幅衰减高频成分后传递至装置基座1050。因此，被传递至振动台1400的振动干扰会被大幅降低。
[0072]Z轴致动器1300被配置在其Y轴方向两侧的一对支承单元1310固定在装置基座1050的顶板1056上。另外，Z轴致动器1300下部，通过在装置基座1050的顶板1056设置的开口 1057，被收容于装置基座1050内。各支承单元1310包括可动块1318、一对角钢1312和一对直线引导件1314。可动块1318是安装于Z轴致动器的固定部1320的侧面的支承部件。一对角钢1312分别与可动块1318的X轴方向两端面相对地配置，被安装于顶板1056上。可动块1318的X轴方向两端和各角钢1312，被一对直线引导件1314分别连接成在Z轴方向上自由滑动。可动块1318具有角钢块1318a、平板块1318b和一对T字块1318C(3L字状的角钢块1318a的一方的安装面，被固定于Z轴致动器的固定部1320的侧面。在角钢块1318a的朝向上方的另一方的安装面，在长度方向大致中央固定有在X轴方向上延伸的大致矩形板状的平板块1318b。在平板块1318b的X轴方向两端部的上表面，安装有T字块1318c的脚部1318d。在T字块1318c的安装面(可动块1318的X轴方向两端面)，安装有在Z轴方向上延伸的直线引导件1314的轨道1314a。另外，在各角钢1312安装有与相对的轨道1314a卡合的滑块1314b。另外，在角钢块1318a的X轴方向两侧配置有被装置基座1050的顶板1056和平板块1318b夹持的一对空气弹簧1316，可动块1318经由一对空气弹簧1316被支承于顶板1056。如上所述，Z轴致动器1300也与X轴致动器1100同样，固定部1320被由直线引导件1314和空气弹簧1316所构成的固定部支承机构，相对于装置基座1050在驱动方向(Z轴方向)上被柔软地支承。因此，当Z轴致动器1300被驱动时，施加于固定部1320的Z轴方向的较强的反作用力(激振力)不被直接传递至装置基座1050，而被空气弹簧1316特别地大幅衰减高频成分，所以被传递至振动台1400的振动干扰会被大幅降低。
[0073]以上是本发明实施方式的说明。本发明的实施方式，并不受限于上述说明，在由专利申请的范围的记载所表现的技术的思想范围内能够任意变更。
[0074]例如，上述第一实施方式的激振装置I和第二实施方式的激振装置1000，是将本发明分别适用于三轴和双轴电动激振装置的各致动器的实施例，但本发明当然可以适用于单轴电动激振装置。
[0075]另外，在上述第一实施方式中，电动致动器300的可动部350，被在筒状体322的轴线周围大致等间隔地配置的四个可动部支承机构340从侧方支承，但本发明的实施方式的结构不限于此。在其它实施方式中，可动部也可以是被在筒状体的轴线周围大致等间隔地配置的两个以上(更优选为三个以上)的任意数量的可动部支承机构从侧方支承的结构。
[0076]另外，在上述第一实施方式中，虽然经由固定于筒状体322的上表面的导承框342固定滑块，但也可以在筒状体322的内周面直接固定滑块。
[0077]另外，在上述第二实施方式中，虽然作为使固定部支承机构的振动衰减的缓冲部件使用空气弹簧1116、1316，但也可以使用具有防振效果的其它种类的弹簧(例如钢制的线圈弹簧)、弹性体(防振橡胶等)、利用电磁力的斥力的阻尼机构等。
[0078]另外，本发明的实施方式的线性致动器也能够用于激振装置以外的装置。例如能够用作进行试样的拉伸/压缩试验的万能试验装置(材料试验装置)、精密定位装置、顶起装置(起重机)的致动器。
[0079]另外，在上述实施方式中，虽然将振动台的速度做为控制变量来控制各致动器的驱动，但也能够采用将振动台的位移或加速度做为控制变量来进行控制的结构。另外，也能够采用不使用振动台的位移或加速度，而将各致动器的可动部、试样的位移、速度或加速度做为控制变量来控制各致动器的驱动的结构。
[0080]附图标记说明
[0081 ] 1、1000…电动激振装置(激振装置)
[0082]10…控制部
[0083]20...计测部
[0084]21…三轴振动读取器
[0085]30…电源部
[0086]40…输入部
[0087]50…装置基座
[0088]100、1100...Χ 轴致动器
[0089]160、1160...ΥΖ 滑件
[0090]200、1200...Υ 轴致动器
[0091]260、1260...ΖΧ 滑件
[0092]300、1300...Ζ 轴致动器
[0093]360、1360...ΧΥ 滑件
[0094]400…振动台。
【主权项】
1.一种电动致动器，其特征在于，包括: 大致筒状的固定部； 可动部，其至少一部分被收容于所述固定部的中空部内，在所述固定部的轴线方向上被往复驱动;和 以使所述可动部能够在所述固定部的轴线方向上往复移动的方式从侧方对所述可动部进行支承的多个可动部支承机构， 所述可动部支承机构包括: 轨道，其被安装于所述可动部的侧面，在所述固定部的轴线方向上延伸;和 滑块，其被安装于所述固定部，与所述轨道卡合， 并且，所述可动部支承机构大致等间隔地配置于所述固定部的轴线的周围。2.如权利要求1所述的电动致动器，其特征在于: 包括两对所述可动部支承机构， 所述可动部由两对所述可动部支承机构在正交的两个方向上从两侧夹持。3.如权利要求1所述的电动致动器，其特征在于: 所述电动致动器以所述固定部的轴线朝向水平方向的方式被横置， 所述可动部支承机构中的一个被配置在所述固定部的轴线之下。4.如权利要求1所述的电动致动器，其特征在于: 所述可动部包括:杆，其从所述可动部的一端突出，在所述固定部的轴线上延伸， 所述固定部包括:轴承，其以使所述杆在所述固定部的轴线方向上能自由移动的方式对所述杆进行支承。5.—种电动激振装置，其特征在于，包括: 如权利要求1?4中任一项所述的电动致动器;和 与所述电动致动器的可动部的前端连结的振动台。6.如权利要求5所述的电动激振装置，其特征在于: 包括两个所述电动致动器， 所述电动致动器的一者为在第一方向上具有驱动轴的第一致动器， 所述电动致动器的另一者为在与所述第一方向正交的第二方向上具有驱动轴的第二致动器， 所述电动激振装置还包括: 第一滑件，其以在所述第二方向上可自由滑动的方式将所述振动台与所述第一致动器连结;和 第二滑件，其以在所述第一方向上可自由滑动的方式将所述振动台与所述第二致动器连结。7.如权利要求6所述的电动激振装置，其特征在于，包括: 第三致动器，其是所述电动致动器，在与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上具有驱动轴;和 第三滑件，其以在所述第一方向和所述第二方向上可自由滑动的方式将所述振动台与所述第三致动器连结， 所述第一滑件以在所述第二方向和所述第三方向上可自由滑动的方式将所述振动台与所述第一致动器连结， 所述第二滑件以在所述第一方向和所述第三方向上可自由滑动的方式将所述振动台与所述第二致动器连结。
【专利摘要】本发明提供一种电动致动器，包括：大致筒状的固定部；可动部，其至少一部分被收容于固定部的中空部内，在固定部的轴线方向上被往复驱动；和以使可动部能够在固定部的轴线方向上能往复移动的方式从侧方对可动部进行支承的多个可动部支承机构，可动部支承机构包括：轨道，其被安装于可动部的侧面，在固定部的轴线方向上延伸；和滑块，其被安装于固定部，与轨道卡合，并且可动部支承机构大致等间隔地配置于固定部的轴线的周围。
【IPC分类】G01M7/02, B06B1/04, G01M7/06
【公开号】CN105728305
【申请号】CN201610161778
【发明人】松本繁
【申请人】国际计测器株式会社
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2012年4月19日
【公告号】CN103609009A, CN105743275A, EP2713487A1, EP2713487A4, US20140049122, WO2012147607A1