小流量气体纯化装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气体纯化装置，具体说是一种小流量气体纯化装置。
【背景技术】
[0002]在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的气体。而工业制备出的气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水、空气中的氧气等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂纯化。
[0003]在某些气体用量较小的工业中，会使用到小流量气体纯化装置。小流量气体纯化装置的体积小，重量轻。但是由于纯化装置的体积问题，也会造成其纯化材料的填量减少，持续纯化时间缩短。例如一般氢气气体纯化材料为锆-铝-钛等合金粉末，而小流量纯化装置多数采用上下直流式的纯化结构。但是由于其内部流量小，位于纯化装置内气体纯化材料吸附杂质量从中间到四周依次减小，纯化装置内壁的气体纯化材料利用率低，造成资源浪费。
【发明内容】
[0004]针对上述情况，本实用新型提供一种小流量气体纯化装置，通过设置若干隔板，使气体纯化装置内部成为S型弯曲的流道，减小了纯化通道的内径，同时增大了纯化通道的长度，这样的结构可以提高纯化装置内气体纯化材料的利用率，在同等纯化材料重量的情况下，延长持续纯化时间。并且外形简单小巧，适合安装与存放。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0006]小流量气体纯化装置，包括纯化装置本体，纯化装置本体上设有一个进气端和一个出气端，纯化装置本体内设有颗粒状的气体纯化材料，其特征在于，还包括若干隔板，隔板间隔设置在纯化装置本体内并将纯化装置本体分隔成S型结构的纯化通道，纯化通道的一端与进气端连通，纯化通道的另一端延伸至出气端。
[0007]还包括加温区域、加热装置和控制器，加温区域内设置有加热装置，加热装置与控制器连接。
[0008]还包括过滤器，过滤器设置在纯化装置本体内的进气端和/或出气端。
[0009]所述过滤器为I微米过滤器。
[0010]所述加热装置为带数字PID控温的加热器。
[0011]本实用新型的优点是:通过设置若干隔板，使气体纯化装置内部成为S型弯曲的流道，减小了纯化通道的内径，同时增大了纯化通道的长度，这样的结构可以提高纯化装置内气体纯化材料的利用率，在同等纯化材料重量的情况下，延长持续纯化时间。并且外形简单小巧，适合安装与存放。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型一实施例的结构示意图。
[0013]在图中:1-纯化装置本体，2-进气端，3-出气端，4-气体纯化材料，5-隔板，6-纯化通道，7-加温区域，8-加热装置，9-过滤器。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0015]参见图1，小流量气体纯化装置，包括纯化装置本体，纯化装置本体上设有一个进气端和一个出气端，纯化装置本体内设有颗粒状的气体纯化材料，其特征在于，还包括若干隔板，隔板间隔设置在纯化装置本体内并将纯化装置本体分隔成S型结构的纯化通道，纯化通道的一端与进气端连通，纯化通道的另一端延伸至出气端。
[0016]还包括加温区域、加热装置和控制器，加温区域内设置有加热装置，加热装置与控制器连接。
[0017]还包括过滤器，过滤器设置在纯化装置本体内的进气端和/或出气端。
[0018]所述过滤器为I微米过滤器。
[0019]所述加热装置为带数字PID控温的加热器。
[0020]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.小流量气体纯化装置，包括纯化装置本体，纯化装置本体上设有一个进气端和一个出气端，纯化装置本体内设有颗粒状的气体纯化材料，其特征在于，还包括若干隔板，隔板间隔设置在纯化装置本体内并将纯化装置本体分隔成S型结构的纯化通道，纯化通道的一端与进气端连通，纯化通道的另一端延伸至出气端。2.根据权利要求1所述的小流量气体纯化装置，其特征在于，还包括加温区域、加热装置和控制器，加温区域内设置有加热装置，加热装置与控制器连接。3.根据权利要求1所述的小流量气体纯化装置，其特征在于，还包括过滤器，过滤器设置在纯化装置本体内的进气端和/或出气端。
【专利摘要】本实用新型涉及一种小流量气体纯化装置，包括纯化装置本体，纯化装置本体上设有一个进气端和一个出气端，纯化装置本体内设有颗粒状的气体纯化材料，还包括若干隔板，隔板间隔设置在纯化装置本体内并将纯化装置本体分隔成S型结构的纯化通道，纯化通道的一端与进气端连通，纯化通道的另一端延伸至出气端。本实用新型通过设置若干隔板，使气体纯化装置内部成为S型弯曲的流道，减小了纯化通道的内径，同时增大了纯化通道的长度，这样的结构可以提高纯化装置内气体纯化材料的利用率，在同等纯化材料重量的情况下，延长持续纯化时间。并且外形简单小巧，适合安装与存放。
【IPC分类】B01D46/00
【公开号】CN204911036
【申请号】CN201520634460
【发明人】江晓松
【申请人】先普半导体技术(上海)有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月21日