专利名称：利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及低温技术领域，特别涉及一种结构简单、价格低廉的可用于驱动微电子机械系统尤其是脱离基地工作的微飞行器、微运动装置的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置。
近几年来自然科学与工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进，人们的注意力逐渐从宏观物体转向那些发生在小尺度的现象及其相应器件上(刘静，微米/纳米尺度传热学，北京科学出版社，2000)，其中，微电子机械系统(microelectromechanical systems---MEMS)尤其取得了巨大成功并正被拓展应用于工业、民用、军事等领域，它集电子与机械元件于一身，采用批量加工方法制成。由于现代制造与应用技术的持续进展，“微机械”的尺寸正以超乎寻常的速度降低，而同时其性能却得到了保持甚至更好。借助于微机械加工技术，人们制造了许多极微小的机械器件，如尺寸小于1mm的压力传感器、流动传感器和加速计，具有类似尺寸的换热器、空气透平、微型燃烧室和电子马达，以及制作在一个硅片上的一整套气体胶版复制器、微飞行器、微动力系统等，这些微系统在多个领域展示了广阔的应用前景。
在所有的微电子机械系统中，无一例外地要用到其基能源驱动装置。然而令人遗憾的是，在发展MEMS系统的同时，高效MEMS基能源研制方面的进展十分缓慢。高效基能源驱动装置在一些微系统应用场合占有至关重要的地位，比如对于脱离基地执行任务的微型飞行器、微动力系统而言，其所采用的供能装置应具备输出功率尽可能高、使用时间尽可能长的特点，而同时为减小能量消耗和运动阻力，其体积和重量则应尽可能小。可以认为，高效基能源驱动装置是MEMS充分实现其功能，进入实用和扩大应用范围的关键技术之一。目前，几种比较有前景的基能源驱动装置有(1)微燃料发动机；(2)微型燃料电池；(3)微型太阳能电池；及(4)薄膜锂电池等(解晶莹，刘路，MEMS基能源技术的研究和现状，2000年微系统技术研讨会资料，上海)。
其中，微燃料发动机的制作是微制造技术中极富挑战性的尝试之一。此方面，美国麻省理工学院的Waitz等(Waitz I.A.，G.Gauba，and Y.S.Tzeng，Combustors for micro-gas turbineengines，ASME J.of Fluid Engineering，vol.120，pp.109-117，1998；微燃气透平用燃烧室，美国机械工程师学会会刊流体力学学报，第120卷，109-117页，1998)新近研制了一种针对微燃气透平的燃烧室。其初衷在于若能成功设计出一种能产生10-100W电能，而体积仅在1cm3以下且每小时消耗的喷气燃料仅约7g的微燃气透平发电机，则其将拥有10倍于现行最好的电池所能提供的能量密度。但该类装置的研制上存在很多不足之处，如结构复杂的发动机的微加工十分困难，其内燃料的供应十分复杂，并且其较大的比表面积会导致产生较高的附加能量损失，特别困难的地方还在于所选用材料必须具有适应恶劣环境的优异的机械、热学及化学性质，目前主要采用难熔的结构陶瓷如氮化硅(Si3N4)及碳化硅(SiC)等，以避免因燃烧而引起高温融化，而这类难熔结构陶瓷的微加工十分困难。正是这些不足限制了微燃料发动机的进一步发展。于是，研究者们又转而寻求其他方式的微型动力系统，如微型燃料电池、微型太阳能电池、薄膜锂电池等。但存在的缺陷是要么输出功率偏小，要么工作时间不够长，所以仍处于发展阶段。
利用高压氮气作动力的思想实际上很早就被提出，但这种想法直到最近才被付诸实施。美国两个研究组新近成功地实现了利用液氮作动力的实验性无污染机动车[C.Knowlen，A.T.Mattick，A.P.Bruckner，A.Hertzberg，High efficiency energy systems for liquid nitrogenautomobiles，SAE Technical Paper Series 981898，Future Transportation Technology Conferenceand Exposition，Costa Mesa，CA，Aug.11-13，1998(液氮汽车的高效能量系统，汽车学会系列技术论文981898号，未来运输技术及展示会议，加州，Costa Mesa，8月11-13，1998)；C.A.Ordonez，Liquid nitrogen fueled，closed Brayton cycle cryogenic heat engine，EnergyConversion & Management，vol.41，pp.331-341，2000(利用液氮作燃料的闭式Brayton循环低温热机，能源转换与管理，第41卷，页码331-341，2000)]，其动力来自于液氮转变为气体的过程中，冰冷的液氮沸点为-196℃，受热于外界空气后转变成蒸汽，这个过程所释放出来的压力便能驱动车辆。其核心结构主要包括液氮容器即杜瓦瓶、用于氮气与空气进行热交换的复合换热器及动力输出装置等，但机构相当庞大、复杂。
应该指出，尽管利用低温工质膨胀作功在一些宏观上的应用已获成功，如上述将其用作汽车动力等，但其实施于MEMS时会带来一系列挑战性课题，比如低温工质是否会对MEMS的其它部件造成损坏，以及由于工质喷发所形成的环境是否会降低MEMS的工作性能，以及如何以最少的工质获取最大的输出功率，乃至如何延长使用时间等。
本发明的目的是提供一种结构简单、价格低廉的可用于驱动微电子机械系统特别是脱离基地工作的微飞行器、微运动机构的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置。
本发明的实施方案如下本发明提供的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于，包括盛装高压低温工质的微型不锈钢容器(1)及与其同轴放置的微涡轮(6)，不锈钢容器(1)由圆形薄壁桶(16)和圆锥形薄壁桶(17)组合而成，其前端设有端盖(2)，端盖(2)上安装与微型不锈钢容器(1)内腔相通的微管(21)，微管(21)与缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)相连通，微型不锈钢容器(1)与位于其后端同轴放置的微涡轮(6)之间设有隔热片4，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)的径向出口与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角；缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)为1-5根，其间距为1-2mm，直径为1-2mm，每根薄壁金属细管(3)的径向出口均与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角；所述的微涡轮(6)的材质为耐腐蚀、耐冲击的轻金属，比如钛合金；所述的微管(21)与薄壁细管(3)可为相连通的一体结构；所述的绝热材料4的材质为聚四氟乙烯或泡沫塑料；绝热材料(4)端部连接在用于保护微涡轮(6)并将氮蒸汽限制在小空间内的金属薄壁圆环(5)上，圆环上开有小孔(15)，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)末端由小孔(15)中穿过，其径向出口与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角；
所述的微涡轮(6)由一对微轴承(8)固定支撑，并通过用以支撑固定微轴承(8)的轴承支架(9)和用以支撑固定微型不锈钢容器(1)的基底支架(13)焊接或螺钉固定在基底桁架10上，基底支架(13)与基底桁架(10)之间采用地脚螺钉(11)固定。
所述的微型不锈钢容器(1)的长度为1-10cm，组成微型不锈钢容器(1)的圆形薄壁桶(16)的直径为1-5cm，壁厚为0.1-1mm。
以往用于驱动车辆的液氮容器采用杜瓦瓶，与此不同的是，本发明所用容器直接采用无真空隔热的不锈钢瓶，这是因为微型飞行器要求重量越小越好，且由于不锈钢瓶直接与大气接触，传热更好，产生的氮蒸汽压更高，且大大简化了其设计与加工。由于脱离基地工作的微飞行器、微动力系统等对动力的需求是即时的，所以，本发明采用的液氮容器无需保温，其恰恰需要外界大气对之进行迅速而充分的加热。本发明的总体特征是微型、轻型。
一般说来，氮呈惰性，很难与其他物质反应，且无毒性，因而使用方便。为了获得动力，将大量的液氮加压灌装到不锈钢容器中，一般灌装的液氮压力可达5、6个大气压甚至更高，而一旦将容器取出放到环境中，则由于外界空气温度要比液氮温度(-196℃)高得多，因而对液氮容器加热，促使其内部液氮汽化，进一步提高了其内部的压强，从而增大输出功。所以，本方法的原理是通过预先作功获得液氮后再利用外界大气的加热来输出功的，因而利用了一切可以利用的能量来源。液氮的灌装在低温下进行，加压并与MEMS连接后即可开始工作，受外界的大温差加热，不锈钢容器内部分液氮转为蒸汽，具有相当高的压强，于是这部分高压蒸汽将由缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)的径向出口喷出，冲击微涡轮(6)的涡轮叶片，驱动微涡轮乃至整个微系统；微型不锈钢容器(1)内的液氮蒸汽进行剧烈的膨胀作功，由此实现持续的动力输出。
通过选择不同的低温工质流体及对该工质予以加压等预处理后，可实现不同的输出功率。本发明结构简单，可与几乎所有微电子机械系统配套使用，功率范围广，使用方便，而且价格十分便宜，能较好地满足不同微电子机械系统的要求。本发明最显著的一个特点是利用压缩封装在微小空间内的低温工质液体受大气加热发生汽化而释放后可获得很高的膨胀功来实现的。
本发明的整个装置结构简单，工质灌装方便，无复杂结构，对材料的限制较少，且制作相对容易因而价格趋于低廉，而且性能可满足要求，与以往结构复杂、价格昂贵的微燃烧发动机所实现的功能相当甚至更好，并可直接与现有MEMS尤其是微型飞行器、微动力系统配套使用，其输出功率及工作时间长短可根据需要加以设计，因而适宜于不同的微电子机械系统。
下面结合附图和具体实施方式
进一步描述本发明
图1a为本发明的结构示意图；图1b为盛装高压低温工质的微型不锈钢容器(1)的横截面示意图；图1c为微涡轮(6)的涡轮轴(7)及微轴承(8)横截面示意图；图2为本发明的分解示意图；图3为基底桁架(10)的结构示意图；图4为微涡轮(6)的结构示意图。
其中微型不锈钢容器1端盖2 薄壁金属细管3隔热片4薄壁金属圆环5 微涡轮6涡轮轴7微轴承8轴承支架9基底桁架10 地脚螺钉11 高压低温工质12基底支架13 焊接点14 小孔15圆形薄壁桶16 圆锥形薄壁桶17 微管21由图可知，本发明提供的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于，包括盛装高压低温工质(12)的微型不锈钢容器(1)及与其同轴放置的微涡轮(6)，微型不锈钢容器(1)由圆形薄壁桶(16)和圆锥形薄壁桶(17)组合而成，其前端设有端盖(2)，端盖(2)上安装有与微型不锈钢容器(1)内腔相通的微管(21)，微管(21)与缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)相连通，微型不锈钢容器(1)与位于其后端同轴放置的微涡轮(6)之间设有隔热片4，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)的径向出口与微涡轮(6)的涡轮片相对；缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)为1-5根，每根薄壁金属细管(3)的出口均与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角；
所述的微涡轮(6)的材质为耐腐蚀、耐冲击的轻金属，比如钛合金；所述的微管(21)与薄壁细管(3)为相连通的一体结构；所述的绝热材料4的材质为聚四氟乙烯或泡沫塑料；绝热材料(4)端部连接在用于保护微涡轮(6)并将氮蒸汽限制在小空间内的薄壁金属圆环(5)上，圆环上开有小孔(15)，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)的末端由(15)穿过，与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角；所述的微涡轮(6)由一对微轴承(8)固定支撑，并通过用以支撑固定微轴承(8)轴承支架(9)和用以支撑固定微型不锈钢容器(1)的基底支架(13)焊接或螺钉固定在基底桁架10上，基底支架(13)与基底桁架(10)之间采用地脚螺钉(11)固定。
微型不锈钢容器(1)采用耐高压、耐腐蚀和耐低温的不锈钢材料制做，其形状和结构如图1a，1b所示，主要部分为圆形薄壁桶(16)，在保证耐压的情况下采用薄壁，以减轻整套装置的重量，其壁厚一般0.1-1mm，圆形薄壁桶(16)外径尺寸依据所驱动MEMS的要求可在1～5cm范围；其端部设置的微管(21)的外径与薄壁金属细管(3)大致相同，为1-5mm，圆形薄壁桶(16)和圆锥形薄壁桶(17)及端部之间光滑过渡，这样的结构一方面是出于能耐受高压的考虑，另一方面其流线形结构保证了在用于驱动微型飞行器时能相当有效地减少空气阻力；微型不锈钢容器(1)的长度可根据所驱动MEMS的工作需求确定，一般应小于1-10cm；薄壁金属细管(3)和圆形薄壁桶(16)的长度可由此进行调节，显然，圆形薄壁桶(16)和圆锥形薄壁桶(17)越长，所灌装的液氮量越多，输出功也越多，但微管(21)的长度不能太短，应保证一定长度，以确保由此喷发出的主要为氮蒸汽而非液氮或液氮-氮蒸汽的两相混合物，从而获得尽可能多的输出功，因为液氮喷射所产生的动量显然远远小于氮蒸汽，而且，一定的微管(21)的长度还使得外界对该部分流体能进行更好的加热，从而最大限度地使得聚集在管口处的液体变为蒸汽而非液氮。为确保最后冲击微涡轮(6)涡轮叶片的流体是氮蒸汽，薄壁金属细管(3)作为氮蒸汽的喷射流道，按图1a所示缠绕在微型不锈钢容器(1)外表面，其末端开口焊接固定在用于保护微涡轮(6)的薄壁金属圆环(5)的内侧，以这种方式作成的薄壁金属细管(3)足够长到能保证到达最后喷口的流体完全转化为蒸汽，这是因为在如此长程内的外界加热已足够将液氮变为蒸汽(即使从小口径薄壁管喷出的仍为液氮)，而且沿程的加热还大大地提升了氮蒸汽的压力，这种释放到外界大气的高压(甚至超高压)的氮蒸汽将以相当可观的动量冲击涡轮叶片，从而获得较大的输出功，以满足微型飞行器或微动力系统的能量需求。另外，平行绕制在不锈钢瓶外壁的薄壁金属细管(3)之间应保持一定间距(一般为1-2mm)，以便外界大气也能与微型不锈钢容器(1)有充分接触，从而较好地加热微型不锈钢容器(1)内的高压低温工质(12)蒸发，并加压。所以，本发明的装置充分地利用外界环境的作功行为，其突出点在于预先通过作功获得高压低温工质(12)，再利用该工质与外界环境之间的巨大温差而造成的作功行为，来获取能量，这对于脱离基地工作而不易补充能量的微电子机械系统具有十分重要的意义。
微型不锈钢容器(1)底部固结有绝热轻型材料制做的隔热片(4)，如材质为聚四氟乙烯(或泡沫塑料)的隔热片(4)，以避免微型不锈钢容器(1)内高压低温工质对微涡轮(6)的工作状态造成影响；隔热片(4)上按图1a所示连接有轻型薄壁金属圆环(5)(可采用铝材或聚四氟乙烯)，薄壁金属圆环(5)上沿径向开有打通的小孔(15)，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁金属细管(3)沿此口插入并与薄壁金属圆环(5)紧密接触(通过焊接密封)，从而氮蒸汽可由此冲击涡轮(6)的叶片作功。这样的小孔(15)也可根据需要为多个，以便设置多路氮蒸汽薄壁金属细管(3)。应该说明的是，薄壁金属细管(3)与薄壁金属圆环(5)间应避免有缝隙。薄壁金属细管(3)起始端固定在微型不锈钢容器(1)的端盖2上。由微型不锈钢容器(1)输出的氮蒸汽即可沿此顺薄壁金属细管(3)流动，直至冲击涡轮(6)的叶片作功。灌装液氮时，可将整个微型不锈钢容器(1)置于液氮罐内，然后将端盖(2)打开，液氮即被加入微型不锈钢容器(1)，待灌装完后，将端盖(2)盖上，由于端盖(2)上连有薄壁金属细管(3)，因而蒸汽即可由此逸出。此后，将灌满高压低温工质(12)的微型不锈钢容器(1)取出，并迅速连接到基底衍架(10)上，于是，微型不锈钢容器(1)与微涡轮(6)即由基底衍架(10)联成一体。此时，由于外界大气的加热，已使得微型不锈钢容器(1)内的氮蒸汽压力越来越大，从而开始正常作功。这里，出于方便灌装液氮的需要，微型不锈钢容器(1)与基底衍架(10)是可拆卸的，二者之间由地脚螺钉11连接。因而微型不锈钢容器(1)灌装液氮的过程不影响微涡轮(6)的正常工作。根据微型不锈钢容器(1)的尺寸，基底衍架(10)上的螺栓位置精确确定，以确保微型不锈钢容器(1)与微涡轮(6)之间的配合。整个系统稳定，外界需要驱动的装置可直接连接到微涡轮(6)的涡轮轴7上，以获得输出功。
薄壁金属细管(3)焊接在微型不锈钢容器(1)的端盖(2)上，且在端盖(2)内侧是开口的，以保证氮蒸汽由此处输出。端盖(2)应设计成能紧密扣盖在微型不锈钢容器(1)端口上，且能充分密封，以免氮蒸汽由此处逸出。
在图3所示基底衍架(10)的上方四个方框处(14)为微轴承(8)的轴承支架(9)的焊接部位，微涡轮(6)通过此处的焊接与基底衍架(10)连成一体，且不可拆卸，而下方四个方框处为固定微型不锈钢容器(1)的地脚螺钉11(采用轻型合金如钛合金等作成)，其为可拆卸，以便于微型不锈钢容器(1)单独灌装高压低温工质(12)后再迅速连接到基底衍架(10)上。基底衍架(10)上焊接点以及地脚螺钉11的部位可根据微型不锈钢容器(1)和微涡轮(6)的尺寸及相互配合而确定，基底桁架(10)的长度、厚度乃至宽度等可据需要确定，但以保证轻量和坚固性为前提。
微涡轮(6)的叶片应采用径向结构，且基底为封闭轮盘，如图4所示，以保证从薄壁金属细管(3)喷出的氮蒸汽尽可能全部冲击到涡轮盘上，从而获得尽可能大的输出功。叶片形状的选择原则也应尽量保证其流道能获得最大的能量转换效率，作为实施例，可采用图4给出的结构。当然，也可采用其它的叶片结构。涡轮轮盘直径根据所驱动MEMS的要求可在0.5-5cm范围，轮盘厚度在保证耐冲击的前提下应越薄越好，以减轻重量，其厚度尺寸应在≤0.5cm范围。每一枚叶片尺寸应在0.1cm×0.05cm×0.05cm到1cm×0.5cm×0.5cm范围。一般情况下，空气中含有水蒸汽，因而由于氮蒸汽的冷却会导致水份析出，并且由于小重量原则，叶片材料应选用轻型耐腐蚀、耐冲击的材料，比如钛合金等。
涡轮盘背面的涡轮轴(7)，其输出功用于带动有关动力装置(如微飞行器风扇或螺旋桨、微型车转轴等)，涡轮轴(7)直径根据MEMS系统的要求可在0.1-1cm范围，涡轮轴(7)的轴向长度可根据需要设定。涡轮轴(7)由两个微轴承(8)固定，如图1a所示。两个微轴承(8)外壁分别与轴承支架(9)焊接，该金属轴承支架(9)再焊接固定于基底衍架(10)，由此微涡轮(6)实际上与基底衍架(10)是连成一体而不可拆卸的。
基底衍架(10)在保证坚固的条件下应尽可能采用最小重量结构，如为图3所示的中空型桁架。
使用时，将高压低温工质(12)灌装到微型不锈钢容器(1)内，待微型不锈钢容器(1)降温并达均匀后，对微型不锈钢容器(1)内低温工质(12)作适当加压，然后盖上端盖(2)，取出微型不锈钢容器(1)并与微型涡轮(6)同轴设置好，再与微电子机械系统组装在一起，由于微型不锈钢容器(1)内低温工质流体(12)受外界空气的加热，加之其压强较高，液体将迅速蒸发并沿小孔15出的薄壁金属细管(3)的径向出口喷射而出，推动微涡轮(6)转动，由此驱动微电子机械系统的运动。若需改变驱动功率，可将不同压力的低温工质(12)灌装到微型不锈钢容器(1)来实现，也可通过设计不同直径的薄壁金属细管(3)来实现。由此，即实现不同驱动功率的要求。一般，还可根据微电子机械系统的大小及工作时间的长短，选择设计尺寸不同的微型不锈钢容器(1)。
权利要求
1.一种利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于，包括盛装高压低温工质的微型不锈钢容器(1)及与其同轴放置的微涡轮(6)，不锈钢容器(1)由圆形薄壁桶(16)和圆锥形薄壁桶(17)组合而成，其前端设有端盖(2)，端盖上安装有与微型不锈钢容器(1)内腔相通的微管(21)，微管(21)与缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁细管(3)相连通，微型不锈钢容器(1)与位于其后端同轴放置的微涡(6)之间设有隔热片(4)，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁细管(3)的径向出口与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角。
2.按权利要求1所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于平行缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁细管(3)为1-5根，其间距为1-2mm，直径为1-2mm，每根薄壁细管(3)的出口均与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角。
3.按权利要求1所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于微涡轮(6)的材质为耐腐蚀、耐冲击的轻金属。
4.按权利要求1所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于所述的微管(21)与薄壁细管(3)为相连通一体的结构。
5.按权利要求1所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于所述的绝热材料4的材质为聚四氟乙烯或泡沫塑料。
6.按权利要求5所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于所述的绝热材料(4)端部连接在用于保护微涡轮(6)并将氮蒸汽限制在小空间内的金属薄壁圆环(5)上，圆环上开有小孔(15)，缠绕在微型不锈钢容器(1)外壁上的薄壁细管(3)末端由(15)穿过，其径向出口与微涡轮(6)的涡轮片的攻角呈2-85度角。
7.按权利要求5所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于微涡轮(6)由一对微轴承(8)固定支撑，并通过用以支撑固定微轴承(8)轴承支架(9)和用以支撑固定微型不锈钢容器(1)的基底支架(13)焊接或螺钉固定在基底衍架(10)上，基底支架(13)与衍架基底(10)之间采用地脚螺钉(11)固定。
8.按权利要求3所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于微涡轮(6)的材质为钛合金。
9.按权利要求1所述的利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置，其特征在于微型不锈钢容器(1)的长度为1-10cm，组成微型不锈钢容器(1)的圆形薄壁桶(16)的直径为1-5cm，壁厚为0.1-1mm
全文摘要
本发明涉及利用低温工质膨胀作功的微系统能源驱动装置,包括:盛装高压低温工质的微型不锈钢容器及与其同轴放置的微涡轮,容器前端设置的端盖上安装与容器内腔相通的微管,微管与缠绕在容器外壁上的薄壁细管相连通,容器与位于其后端同轴放置的微涡之间设隔热片,缠绕在容器外壁上的薄壁细管的径向出口与微涡轮的涡轮片的攻角呈2－85度角,其结构简单,工质灌装方便,价格低廉,适用于驱动微电子机械系统的飞行运动。
文档编号F01K25/10GK1355376SQ0013229
公开日2002年6月26日 申请日期2000年11月28日 优先权日2000年11月28日
发明者刘静, 周一欣, 周远 申请人:中国科学院低温技术实验中心