专利名称：用于减弱电子器件制造工具的流出物的方法与设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子器件的制造，特别涉及电子器件制造工具的流出物的减弱 (abatement)。
背景技术：
由电子器件制造工具所排放出的不期望存在的化学物质通常会经过减弱，例如转 变为可释放至大气中的物质，或是可再经由进一步的减弱。 一般来自电子器件制造工具的 流出物流(effluent stream)在进入排气装置(由此释放至大气中)之前，会经过数种减 弱处理。举例来说，流出物流可通过一或多个热单元、燃烧单元、电子加热氧化单元、等离子 体单元、水洗涤器、催化单元等。 —种减弱形式包括将不期望存在的物质氧化成为可释放至大气中的物质，或是成 为可由下游减弱处理而进行减弱的物质。虽然氧化减弱法非常有效，但是对于不期望存在 的物质进行氧化会产生微粒物质，其无法释放至大气中，或是会使效率降低，或是会对下游 的减弱设备造成伤害。因此，希望在微粒物质进入大气、下游减弱设备及/或处理之前，能 将微粒物质从流出物流中移除，否则，该些微粒物质会对下游减弱设备及/或处理造成伤 害或不良影响。
发明内容
在一实施态样中，提供一种电子器件制造工具流出物减弱(abatement)系统，该 系统包括热减弱反应器，适于减弱流出物流(effluent stream);以及喷射器(eductor)， 适于接收来自该热减弱反应器的流出物流。 在另一实施态样中，提供一种用于减弱来自电子器件制造工具的流出物的方法， 包括在热氧化减弱反应器中氧化该流出物；以及在喷射器中洗涤来自该热减弱反应器的 流出物。 根据本发明的该些及其它实施态样可提供数种其它的实施态样。根据下文的详细 说明、权利要求及所附图式，本发明的其它特征及实施态样变得完全明显。
图1绘示根据本发明所提供的喷射器减弱设备的剖面侧视图。
图2绘示根据本发明所提供的氧化/喷射器减弱系统的概要侧视图。
图3绘示根据本发明所提供的另一氧化/喷射器减弱系统的概要视图。
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图4绘示根据本发明所提供的另一氧化/喷射器减弱系统的概要视图。 图5绘示根据本发明而在氧化/喷射器减弱系统中对电子器件制造工具的流出物
进行减弱的方法的流程图。 图6绘示根据本发明而在氧化/喷射器减弱系统中对电子器件制造工具的流出物 进行减弱的另 一方法的流程图。
具体实施例方式
可通过氧化不期望存在的物质而将其从电子器件制造工具的流出物中移除，以形 成可释放至大气中的物质，或是形成可由下游减弱设备进行处理及/或从流出物流中移除 的物质。非氧化的减弱系统包括湿式洗涤器、干树脂床(dry resin bed)、催化减弱反应器 及/或其它系统。 如上所述，与氧化反应器相关的问题在于氧化反应可能产生微粒物质，其会超过 当地排放限值、阻塞或降低下游减弱系统(例如湿式洗涤器、干树脂床、催化单元等)的效 率。因此期望将微粒物质自氧化反应器的流出物流中移除。 在一实施态样中，本发明提供一种喷射器(eductor)减弱设备(后简称为"喷射 器")，其可非常有效率地自流出物流中移除微粒物质。喷射器的操作通过在喷射器内部产 生低压区域，以使流出物流可推动或吸引至喷射器中。喷射器内的低压可由进入喷射器的 强而有力的流体喷雾来产生，例如喷射器可以为包括细窄腰部及钟状的管。喷射器内的流 体喷雾会产生文丘里效应(VenturiEffect)，而其会将流出物流吸引至喷射器中(例如吸 引流出物流至喷射器中，或是将流出物流推入喷射器中)。在喷射器中，流出物流会与流体 喷雾混合，并且喷射通过喷射器的排出孔。相对高速、紊流及微细液滴的流体喷雾会增加微 粒物质与洗涤流体流之间接触的可能性。当流出物流与流体混合时，流出物流中的微粒物 质非常可能会变成夹带在流体里，并与流体一同通过(例如被击落)而进入存储容器或流 体管理容器中(后简称为"槽")。其中的微粒物质被击落的流出物可离开流体并进入下一 个减弱设备或至大气中。 在另一实施态样中，本发明提供一种电子器件制造工具流出物的减弱系统，其包 括氧化反应器及喷射器减弱设备。在本发明的此实施例中，喷射器由流出物导管连接至氧 化反应器的流出处，其中流出物导管会倾斜上升(例如非水平)以产生液体及/或微粒物 质的阻碍。流出物导管的倾斜会使得液体及较大或较重的微粒物质更不易通过吸引孔洞或 流出物孔洞而进入喷射器。此为有益的，因其可使喷射器免于阻塞或甚至变得效率较差。如 上所述，喷射器可以在其内部产生低压区域或是吸力，从而吸引流出物向上通过流出物导 管而进入喷射器。取决于吸力的强度、以及流出物导管的倾斜角度、长度及形状，减弱系统 可经设计并操作以预防不超过预定量的流体及不大于预定尺寸的微粒物质进入喷射器。
在其它实施态样中，上述的减弱系统可以与进一步的上游或下游减弱系统结合， 例如填充床水洗涤器及催化单元，以进一步处理流出物流。 图1为根据本发明的实施例而提供的喷射器减弱设备100的剖面侧视图。喷射器 减弱设备100包括喷射器102，喷射器102耦接至加压原动(motive)流体源104以及流出 物源106。喷射器102还可包括喷嘴(图中未示)，则原动流体会被迫使通过喷嘴而形成喷 射器喷雾108。如图所示，喷射器102具有出口或排出口 110，其可将经过喷射器102处理及洗涤的流出物排出。排出口 110可以连接至引出的流出物导管(并未示于图l中)，下将 参照图2、3及4图说明。 图1所示的喷射器102还可包括狭窄部112、腰部114及扩大部/钟状部116。窄 腰形状可获得有效率的喷射器，而此效率通过以喷射器原动流体压力为函数的喷射器吸引 强度以及自流出物流移除微粒物质来测量。也可使用其它适合的喷射器形状，例如简单构 造的管子。来自原动流体源104的原动流体可经过原动流体口 118而进入喷射器。来自流 出物源106的流出物可通过流出物口 120而进入喷射器。 参照图1，喷射器102为水基(water based)喷射器，但也可使用其它适合的装置 (例如喷射设备)。可使用与微粒物质具亲和性的任何流体。喷射器102可例如为美国密 歇根州利沃尼亚市的Elmridge公司所提供的TLGSeries jet-即paratus，但也可使用任何 适用的产品或装置。可根据本发明而使用水基喷射器以处理流出物。 再参照图l，加压原动流体源104可以为加压水源。虽然此处以水来作为说明，但 应了解可使用其它适合的流体。举例来说，在一实施例中，来自喷射器的外部来源的蒸汽可 用做为流体。在部分实施例中，进入喷射器的流出物流的热质量(thermal mass)足以将至 少部分的原动流体转变为蒸汽。加压原动流体源104可以为去离子水源，其压力为约60p. s. i.，但也可采用任何适合的压力。加压水可由制造工厂设施来供应，但也可使用其它适合 的加压水源。 参照图l，流出物源106可以为电子器件制造工具的流出物的来源，但也可使用其 它适合的流出物源。流出物可包括微粒物质(例如足够小而足以悬浮在流出物中的微粒， 以及沉淀在水中的较大微粒等)、液体及气体等。部分或全部的此种流出物可由喷射器102 进行处理，其将于下方详细讨论。 再参照图l，喷射器喷雾108可以为加压原动水喷雾，但也可使用其它适合流体。 举例来说，流体可以为化学物质及水的混合物，其对于本发明的部分实施例为有用的。如图 所示，喷雾的截面为三角形或是为三维的圆椎形，但也可使用其它适合形状。此外，所绘示 的喷雾指向喷射器102的出口的方向，但也可使用其它适合的方向。 在操作中，来自加压原动流体源104的原动流体被迫使通过原动流体连接件118 以及喷嘴(图中未示)以形成喷射器喷雾108。喷射器喷雾108可以执行至少下列功能 相较于未操作喷射器喷雾108时在喷射器102内的压力，喷射器喷雾108可以减少喷射器 102内的压力。若喷射器102内的压力降低足以使得喷射器102内的压力下降至低于流出 物源106中的流出物压力，则流出物(例如，可被推动及/或吸引)会由流出物源106中被 吸出，并通过流出物口 120而进入喷射器102。被推动及/或吸引进入喷射器102的流出物 可以由流出物喷雾108及/或重力所携带，通过喷射器而自排出口 110离开。
喷射器喷雾108还可以与被吸引至喷射器102中的流出物混合。喷射器喷雾108 与流出物的混合可以将微粒物质由流出物中击出及/或将微粒物质夹带在原动流体中。喷 射器102在狭窄部112的变窄以形成腰部114可确保大部分的流出物会与原动流体(其会 形成喷射器喷雾108)混合。喷射器喷雾108与流出物的混合还可用于增湿(humidify)流 出物，并移除水溶性的不期望存在的物质，若流出物将被导引通过催化单元或其它减弱设 备，这样是有利的。 流出物入口 120的压力可以反映出喷射器102的内压，且其范围广，并可使用任何
5适用的压力值。举例来说，喷射器喷雾108可以为加压水的喷雾，其在约60p.s. i.的压力 下进入喷射器102(但可使用其它适合的压力)。如所描述者，根据本发明，喷射器102可以 将来自流出物源106的流出物吸引出(例如推进及/或吸引)而使其进入喷射器102中。
不欲受限于任何特定理论，喷射器102通过将流体喷雾108与来自流出物源106 的流出物混合，来将流出物中的微粒物质移除。喷射器102的狭窄部112使得大部分通过 喷射器102的流出物会与流体喷雾108混合。此外，狭窄部112之后的腰部114及扩大部 116可以增加喷射器吸引来自流出物源106的流出物的效率。此外，在部分实施例中，原动 流体为蒸汽或其它汽化液体，或是至少部分的原动流体会由于流出物蒸汽而转变为蒸汽或 其它汽化液体。相较于液态原动流体，蒸汽或其它汽化液体能更有效率地击落较小微粒物 质。其机制为蒸汽凝结在微粒物质上，而使得微粒物质容易被夹带在液体中，或是更容易吸 附至其它微粒物质上。举例来说，随着流出物的温度降低至低于液体的沸点，则液体蒸汽会 快速地凝结。液体蒸气会在细微的微粒物质上凝结并集结，而使得微粒物质变得较重及较 大。被困在流体液滴中的较重及较大的微粒物质可更易被接续的处理洗涤清除。
图2为根据本发明而提供的氧化/喷射器减弱系统200的概要侧视图。减弱系统 200可包括图1的喷射器102。喷射器102可耦接至流出物管202，并可通过喷射器洗涤流 出物导管205而耦接至槽204或与其为流体连通。流出物管202可以为直管，或是具有一 或多个曲线部位及一或多个弯曲部位，并且可以为垂直，或是从垂直方向而倾斜。流出物管 202的从垂直方向的倾斜介于约1至约89度之间，介于约3至约60度之间，或是介于约5 至约45度之间。在部分实施例中，流出物管202可以从垂直方向而倾斜约5至约15度，或 约10度。 喷射器洗涤流出物导管205为选用的，且喷射器102的出口 110可设置于槽204 中或是直接连接至槽204。流出物管202可以耦接至瀑布管(waterfallpipe)206以提供导 管，经由此导管而使流出物及/或经减弱的流出物从瀑布管206传送出。
如图所示，瀑布管206可耦接至反应器208，而反应器208具有输入210、212、214 而可分别耦接至燃料供给(图中未示)、流出物源(图中未示)及氧化剂源(图中未示)。 如上所述，反应器可以为任何适合的热氧化反应器，例如燃烧、电热或等离子体设备等。瀑 布管206还可包括沿着瀑布管206的内壁216提供水膜的瀑布(图中未示)。形成瀑布的 水(图中未示)可通过接头配件218而进入储液槽217。水会涌出和溢出储液槽217的内 壁并流下瀑布管206的内壁216。 喷射器102可耦接至床洗涤器220 (通过槽204)其会进一步洗涤或处理流出物及 /或经减弱的流出物。床洗涤器220可包括一或多个填充床222及床喷洒器224，以进一步 处理流出物。填充床222由任何适合物质的珠(bead)来填充，或是由具有任何适合形状的 任何其它适合物质来填充，以增加水与流出物之间的接触。床喷洒器224可接收来自相同 或不同来源的水或其它适合流体。举例来说，床喷洒器224可通过泵(图中未示)及导管 (图中未示)接收来自槽204的水。或者，床喷洒器224中的一个或两者可接收来自其它来 源的水，例如工厂设施连接管。接收来自此种其它来源的水可用以取代来自槽204的用于 处理及/或减弱的水。 如图所示，经过清洗的流出物可以在洗涤器排出口 226离开床洗涤器220，而来自 洗涤器排出口 226的流出物可导引至进一步的减弱系统(图中未示)、至设施排出装置(图中未示)或至大气中。可以使用任何适合的排出装置。 槽204可含有流体228，流体228具有流体表面230。流体228可以为水或是其它 任何适合的流体。 在操作过程中，来自电子器件制造工具的流出物可通过入口 212而进入反应器 208。燃料及氧化剂可通过燃料入口 210及氧化剂入口 214而进入反应器208。流出物在反 应器208中被氧化并进入瀑布管206。由储液槽217往下流经瀑布管206的内壁216的瀑 布(图中未示)可预防微粒物质聚集在内壁216上。 一部分来自瀑布管206的流出物可向 上流经倾斜的流出物管202而进入喷射器102。 诸如反应器208的氧化反应器一般可以在低于大气压的压力下操作。当氧化单元 208的外壁或瀑布管206的外壁破裂时，在上述的低于大气压的条件下，来自制造工厂的空 气会流入氧化单元中，但来自氧化单元的流出物不会流至工厂的大气中。为了使经减弱的 流出物通过瀑布管206从反应器208流出并流入流出物管202中，喷射器102内的压力需 要降低至低于反应器208及/或瀑布管206内的压力。如上参照图l所述，通过将来自加 压原动流体源104的原动流体流经喷射器喷嘴(图中未示)以形成喷射器喷雾108，则可降 低喷射器102内的压力。经减弱的流出物因此由于喷射器102内降低的压力(由喷射器喷 雾108所诱导出的)而往上吸入流出物管202中。 如上所讨论的，经减弱的流出物可含有微粒物质及液体。举例来说，若电子器件制 造工具的流出物含有硅烷，则来自氧化反应器208的流出物可含有氧化硅。另外，做为瀑布 管106的内壁216的水膜用的瀑布水也可能被吸入流出物管202中。如上所描述的，期望 可以预防、或过滤至少部分的较大尺寸微粒物质(例如大于特定重量或直径的微粒物质) 而使其无法通过流出物口 120进入喷射器。如无上述的流出物的移除及/或过滤动作，喷 射器102可能在较不理想的情况下操作(例如，在预防性维护操作之间的较少操作时间，或 是较不期望的流出物处理等)。 在本发明的部分实施例中，氧化/喷射器减弱系统200可设计为具有向上倾斜的 流出物管202。由于流出物管202的角度或倾斜，部分的流出物(例如较重部分、较大微粒 物质等)不会被流出物口 120处的降低压力吸引进入喷射器102中。因此，此部分的流出物 可滑落或下降至流出物管202并进入瀑布管206中。通过调整喷射器102内的压力(例如 在吸引口 120)，则减弱系统200可设计为吸引期望部分的流出物流至喷射器102中。举例 来说，通过降低在喷射器102内(在吸引口 120)的压力(且因此增加吸力)，减弱系统200 可设计为将来自流出物管202的较重及/较大的微粒物质及液体吸引至喷射器102中。相 反地，通过增加在喷射器102内(在吸引口 120)的压力(且因此降低吸力)，减弱系统200 可设计为使较重及/或较大的微粒物质与液体通过流出物管202而掉落回瀑布管206中， 并由此进入槽204中。因此，到达喷射器102的流出物可以利用参照图1所讨论的相似方 式而进行处理。 通过控制原动流体的压力及因此控制喷射器喷雾108的力量，可控制喷射器102 的内部压力。通过增加原动流体的压力，则可增加喷射器喷雾108的力量。相反地，通过降 低原动流体的压力，则会降低喷射器喷雾108的力量。 一般来说，相较于较小力量的喷射器 喷雾108，较大力量的喷射器喷雾108会在喷射器102中产生较低的压力。
如上所述，加压原动流体源104可以为制造设施来源，或是其它适合的来源。
除了改变在喷射器102内(在吸引口 120)的压力的外，还可改变流出物管202的 长度及/或倾斜角度a。举例来说，针对特定的喷射器102压力，相对于较短的流出物管 202，较长的流出物管202可以"滤出"并防止较重及/或较大的微粒物质及液体进入喷射 器，相似的，针对特定的喷射器102压力，相对于具有较小倾斜角度a的流出物管202，具有 较大倾斜角度a的流出物管202可以"滤出"并防止较重及/或较大的微粒物质及液体进 入喷射器。 再参照图2，经喷射器洗涤的流出物由导管205流出，并在流体表面230或接近流 体表面230处流入槽204中。如图所示，导管205的出口与槽204的流体表面230约为相 同高度，但导管205的出口也可高于或低于流体表面230。此种实施例参照图3及图4而 描述如下。在离开喷射器102之后，经洗涤的流出物可通过槽204并穿过床洗涤器220而 朝向洗涤器排出口 226移动。当经过洗涤的流出物于洗涤器排出口 226离开床洗涤器220 时，床洗涤器220可更进一步洗涤流出物。虽然此处描述了床洗涤器，但也可执行其它适合 的流出物的进一步处理及/或减弱以取代床洗涤器220，或是除了床洗涤器220之外附加执 行该些处理及减弱。 图3为根据本发明所提供的另一氧化/喷射器减弱系统300的概要侧视图。如图 所示，减弱系统300可包括参照图l及图2所描述的许多部件，该些部件在此采用图l及图 2所使用的组件符号。除了该些部件之外，第三示范性喷射器减弱系统300可包括再循环 泵302，其通过泵导管304而耦接至槽204。泵导管304可延伸进入槽204中而至流体表面 230下方。再循环泵302可耦接至原动流体管306，而原动流体管306在原动流体口 118耦 接至喷射器112。可选择地，原动流体管306可穿过冷却设备308，其中冷却设备308可以 为热交换器，或是任何适合的冷却设备。 如上参照图2所讨论的，喷射器102可以由反应器208通过瀑布管206供应流出 物。瀑布管206可包括水喷雾310。如图所示，水喷雾310位于流出物管202上方，但应了 解水喷雾310可以位于任何适当位置。可以由水或流体源(图中未示)通过通口 311供应 淡水(fresh water)或流体给水喷雾310，或者可以由槽204来供应。 在操作过程中，减弱系统300可以采用与减弱系统200相似的方式操作，但具有下 列差异。举例来说，除了参照图2所述的处理之外，由反应器208流经瀑布管206的经减弱 的流出物可以被水喷雾310冷却及/或处理及/或减弱。水喷雾310会与部分的流出物混 合而使微粒物质变潮湿，而被水喷雾310弄潮湿的此部分流出物会掉落至槽204中。部分 的流出物以类似于图2所述的相似方式进入流出物管202。当然，此特别的额外处理可并入 图2的减弱系统200中。 减弱系统200与减弱系统300两者的操作之间的另一差异为在减弱系统300中， 经喷射器洗涤的流出物经过导管205而离开喷射器102，并在低于流体表面230处进入槽 204，相对地在减弱系统200中，经由导管205离开喷射器102的流出物大约位于流体表面 230的高度。在槽204中的流体228冒泡溢出之后，经过洗涤的流出物可接着流入床洗涤器 220。 图2的减弱系统200与图3的减弱系统300两者的操作之间的再一差异为关于喷 射器喷雾108的原动流体来源。在图2中，广泛地描述了加压原动流体的来源。在图3的减 弱系统300中，原动流体的来源可以为槽204。因此，泵302可吸引流体228通过导管304。泵302接着将流体推动通过导管306而进入原动流体连接件118以及喷射器喷嘴(图中未 示)，以形成喷射器喷雾108。可选择地，泵302可迫使流体通过冷却设备308。将原动流体 进行冷却可以实现较佳的喷射器102效能。举例来说，较冷的原动流体会导致流出物通过 流出物管202的较佳吸引情形、改善微粒物质的减弱，及/或改善原动流体与流出物中的元 素(例如卤素及/或吸湿微粒物质等)的反应。在部分实施例中，可提供过滤器(图中未 示)以减少或预防微粒物质通过泵302而进入喷射器102。 图4绘示根据本发明提供的氧化/喷射器减弱系统400的概要侧视图。如图所 示，减弱系统400可包括图1的喷射器设备100及图2与图3的减弱系统200、300的许多 部件。该些部件与图1、2及3使用相同的组件符号。 图4的减弱系统400与图3的减弱系统300基本相似，除了喷射器洗涤流出物导 管205的末端经设置为在高于流体表面230处将经过喷射器洗涤的流出物排出。
在操作过程中，图4的减弱系统400可以采用与图3的减弱系统300基本相似的 方式进行操作，但有下列例外。在图4所示的减弱系统400中，离开喷射器洗涤流出物导管 205的经喷射器洗涤的流出物可以在高于流体表面230处进入槽204，而不同于图3的减弱 系统300，其流出物是在低于流体表面230处进入槽204。 虽然图2、3、4中所绘示的喷射器102为垂直定向，但喷射器102可放置为任何其 它的适合定向，包括但不限于为水平。 图5绘示在氧化/喷射器减弱系统中对电子器件制造工具的流出物进行减弱的方 法500的流程图。在步骤502中，来自电子器件制造工具的流出物在热减弱反应器中进行 氧化。在步骤504中，来自热减弱反应器的流出物在喷射器减弱设备中进行洗涤。喷射器 减弱设备类似于图1所述的设备。在选择性步骤506中，来自喷射器减弱设备的流出物在 湿式洗涤器中进行洗涤。湿式洗涤器可以为填充床，并可以具有一或多个含有珠或其它大 表面积物质的床，以及一或多个流体喷雾器。流体可以为水或其它适合流体。
图6绘示在氧化/喷射器减弱系统中对电子器件制造工具的流出物进行减弱的方 法600的流程图。在步骤602中，来自电子器件制造工具的流出物在热减弱反应器中进行氧 化。流出物可以由冷却室(例如参照图2叙述于上文的瀑布管)中的水喷雾来进行冷却。 在步骤604中，经过减弱的流出物经吸引而向上通过倾斜的导管进入喷射器。如上所述，可 选择倾斜的角度、导管的长度及真空吸引的强度以确保大于预定尺寸(重量或直径)的微 粒物质以及液体不会被吸引至喷射器102中。在步骤606中，经减弱的流出物在喷射器中 进行洗涤，且夹带在流出物中的大量微粒物质被击落在槽204中。在步骤608中，经过喷射 器洗涤的流出物在湿式洗涤器中选择性地进行进一步的洗涤。 上述的说明仅公开了本发明的示范性实施例。落入本发明的上述所公开的设备及 方法的变化形式对于本领域技术人员是明显的。 虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技 术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范 围当视后附的权利要求所界定者为准。
权利要求
一种电子器件制造工具流出物减弱系统，包括热减弱反应器，适于减弱流出物流；以及喷射器，适于接收来自所述热减弱反应器的流出物流。
2. 如权利要求1所述的减弱系统，其中所述热减弱反应器包括下列至少其中之一 燃烧氧化反应器、电热氧化反应器及等离子体反应器。
3. 如权利要求1所述的减弱系统，还包括倾斜的导管，所述导管适于使来自所述热减弱反应器的流出物流的一部分流至所述喷射器。
4. 如权利要求3所述的减弱系统，其中所述导管还适于分离流出物流，所述分离通过防止液体及大于预定尺寸的微粒物质的一或多者由所述热减弱反应器而被吸引至所述喷射器中来实现。
5. 如权利要求1所述的减弱系统，还包括适于接收来自所述喷射器的流体的槽，其中所述喷射器适于接收来自所述槽的第二流体。
6. 如权利要求5所述的减弱系统，还包括适于冷却所述第二流体的冷却设备。
7. —种用于减弱来自电子器件制造工具的流出物的方法，包括在热减弱反应器中氧化所述流出物；以及在喷射器中洗涤来自所述热减弱反应器的流出物。
8. 如权利要求7所述的方法，其中在喷射器中洗涤流出物的步骤包括吸引所述流出物而使其通过流出物口进入所述喷射器中。
9. 如权利要求8所述的方法，还包括下列步骤防止液体及大于预定尺寸的微粒物质的一或多者被吸引至所述喷射器中。
10. 如权利要求9所述的方法，其中防止液体及大于预定尺寸的微粒物质的一或多者被吸引至所述喷射器中的步骤包括吸引所述流出物向上通过倾斜导管而进入所述流出物□。
11. 如权利要求9所述的方法，其中防止液体及大于预定尺寸的微粒物质的一或多者被吸引至所述喷射器中的步骤包括将原动流体在压力下导入所述喷射器中，而所述压力会在所述流出物口产生期望的吸力。
12. 如权利要求7所述的方法，还包括在所述喷射器中用来自槽的流体作为原动流体。
13. 如权利要求12所述的方法，还包括在所述喷射器中用所述流体作为原动流体之前，先将来自所述槽的流体进行冷却。
14. 一种用于减弱来自电子器件制造工具的流出物的方法，包括在热减弱反应器中氧化该流出物；以及在喷射器中利用蒸汽洗涤来自所述热减弱反应器的流出物。
15. 如权利要求14所述的方法，其中蒸汽的来源为下列至少其中之一 位于所述喷射器外的蒸汽源，以及原动流体，其中至少一部分的所述原动流体由于所述流出物而转变为蒸汽。
全文摘要
本发明提供一种电子器件制造工具流出物减弱(abatement)系统，该系统包括热减弱反应器，适于减弱流出物流(effluent stream)；以及喷射器(eductor)，适于接收来自该热减弱反应器的该流出物流。本发明还提供数种其它的实施例。
文档编号F01N3/10GK101795749SQ200880104953
公开日2010年8月4日 申请日期2008年8月29日 优先权日2007年8月31日
发明者罗伯特·M·韦尔穆伦 申请人:应用材料股份有限公司