技术总结
本实用新型涉及航空航天技术领域，尤其涉及一种MEMS微型推进系统，包括密封层和动力层，密封层盖合设置于动力层的上表面，动力层的上表面设置有发动机凹槽，发动机凹槽包括依次连通的通气槽、燃烧室、尾喷管和点火电路，点火电路通过电子束蒸镀工艺设置在密封层表面，点火电路由两层金属钛和金构成，针对点火电路的点火方式为Au‑Ti电路的点火方式。上述微型固体火箭发动机的设计提高了点火成功率，同时改善了结构的隔热性能。此外，采用横向分层结构，可精确调节尾喷管的扩张角度，简化了结构和加工流程，且完善了结构细节，改善了推进器性能，采用了全新的刻蚀硅片的推进器排布方式，提高了推进器的加工效率。
技术研发人员：陶智;李海旺;李秋实;谭啸;吴瀚枭;宋越
受保护的技术使用者：北京航空航天大学
文档号码：201621104225
技术研发日：2016.10.08
技术公布日：2017.06.06