，外壳体2设置有两个排放口 6，它们相对于轴线P位于与吸入口 5相对的一侧上，以便沿外壳体2的径向伸出，其中排放口 6中的一个与外壳体2的沿轴线P的方向的一个端部P1接近地定位(即图1的左侧)，并且排放口 6中的另一个与外壳体2的另一个端部P2接近地定位(即图1的右侧)。排放口 6中的每一个都具有将外壳体3的内侧与外壳体的外侧连通的通孔，并且通过该通孔氮气G可以排出到外壳体2的外侧。此外，法兰部6a沿排放口 6的径向设置在外侧端部处，其中法兰部被成形使得接近外壳体2的外周表面的法兰部6a的外直径被增大。排放口 6可以通过该法兰部6a与排放管(图1中未示出)连接。
[0043]外壳体2设置有凸起2b，该凸起在沿轴线P的方向的另一个端部P2的端部处沿径向环形地向内凸出。当将组件3从外壳体2的一个端部P1插入壳体2内时，该凸起2B与组件3结合，并且限制外壳体2从另一个端部P2凸出到外壳体2的外侧。S卩，组件3仅能从外壳体2的一个端部P1插入到外壳体2中。
[0044]沿径向向外环形地凹陷的壳体内凹部2c被成形在接近外壳体2的内周表面2a的一个端部P1的位置处。限制环30被装配到该壳体内凹部2c中。
[0045]在下面，将描述组件3。组件3包括转子轴4、支撑转子轴4的一对轴承7和内壳体9，内壳体覆盖转子轴，并且轴承7固定在内壳体上。组件3设置有静子叶片排31和活动叶片排32，静子叶片排形成在内壳体9内侧，并且活动叶片排形成在转子轴4上以便在沿轴线P的方向上与该静子叶片排31相邻。
[0046]转子轴4被成形为以该轴线P为中心的杆形，并且在沿轴线P的方向上延伸。此夕卜，转子轴4被成形为在沿轴线P的方向的一侧P1和另一侧P2上相对于假想线L对称。
[0047]轴承7被分别设置在沿轴线P的方向的一个端部P1和另一个端部P2上，并且被固定在内壳体9上以便绕轴线P旋转支撑转子轴4。
[0048]内壳体9被成形为以该轴线P为中心的圆柱形，并且覆盖转子轴4。内壳体9设置有内壳体主体10和端头元件25，内壳体主体放置在沿轴线P的方向的中心位置处，并且每个端头元件固定在沿内壳体主体10的轴线P的方向的一个端部P1和另一个端部P2上。内壳体9被成形为大致圆柱形并且在外壳体2内限定内空间S。
[0049]内壳体主体10设置有分隔外壳(主体)11以及第一和第二排放部壳体(连接部)12，分隔外壳被放置在沿轴线P的方向的中心位置处。第一排放部壳体12被放置在分隔外壳11和端头元件25中的一个端头元件(即第一端头元件25A)之间，并且第二排放部壳体12被放置在分割外壳11和端头元件25中的另一个端头元件(即第二端头元件25B)之间。
[0050]分隔外壳11设置有圆柱形部15、外环形部16和内环形部17，圆柱形部被成形为大致圆柱形并且沿轴线P的方向延伸，外环形部从圆柱形部15上沿径向环形地向外伸出，其中外环形部的外直径被成形为大于圆柱形部15的外直径，内环形部从圆柱形部15上沿径向环形地向内伸出，并且其中内环形部的内直径被成形为小于圆柱形部15的内直径。
[0051]外环形部16与外壳体2的内周表面2a结合，并且沿外壳体2的圆周方向形成以轴线P为中心的第一环形空间S1。外环形部16设置有作为沿径向穿过的通孔的第一连通部10a，使得第一环形空间S1与外壳体2中的吸入口 5连通。
[0052]此外，围绕圆柱形部15圆周地凹陷的槽部10d分别形成在外环形部16的沿轴线P的相反方向朝向的两个侧表面上。环形固定装置20的第一凸起(多个凸起)20a装配在槽部10d上。
[0053]内环形部17从圆柱形部15上朝向转子轴4伸出，并且内环形部沿轴线P的方向的尺寸小于外环形部16的该尺寸。内环形部17的圆周内表面被形成为面向转子轴4，并且在内环形部17中形成以轴线P为中心的第二环形空间S2。此外，内环形部17设置有开口10e，通过该开口第二环形空间S2与转子轴4和圆柱形部15之间的空间连通。
[0054]几个静子叶片排31固定在靠近外壳体2的一个端部P1的圆柱形部15的内侧表面上，使得叶片从圆柱体部15的内周表面15a向内伸出。其余静子叶片排31固定在靠近外壳体2的另一个端部P2的圆柱形部15的内侧表面上，使得叶片从内周表面15a向内伸出。此外，在圆柱形部15中在沿轴线P的方向的中心位置形成有第三连通部10c，第三连通部沿径向穿过并且通过该第三连通部第一环形空间S1和第二环形空间S2彼此连通。多个导向叶片18沿周向间隔地设置在第三连通部10c中。
[0055]从外壳体2的吸入口 5吸入的氮气G通过第一连通部10a被引入到第一环形空间S1中，在第三连通部10c中被导向叶片18整流，然后流入第二环形空间S2。此后，氮气G通过开口 10e从第二环形空间S2朝向外壳体2的一个端部P1和另一个端部P2流出。SP，氮气G通过作为氮气G的气体通道的转子轴4和圆柱形部15之间的空间流入内空间S。
[0056]第一排放部壳体12相对于分隔外壳11与靠近外壳体的一个端部P1的外壳体2的内表面连接，并且第二排放部壳体12相对于分隔外壳11与靠近外壳体的另一个端部P2的外壳体2的内表面连接。第一排放部壳体12具有环形固定装置20和圆柱形主体21，该环形固定装置与外环形部16的一个侧表面接触并与其固定，圆柱形主体从环形固定装置20沿着轴线P的方向朝向外壳体2的一个端部P1延伸，以将端头元件25中的一个端头元件固定在它自身上。第二排放部壳体12具有另一个环形固定装置20和另一个圆柱形主体21，该另一个环形固定装置与外环形部16的另一个侧表面接触并与其固定，另一个圆柱形主体从环形固定装置20沿着轴线P的方向朝向外壳体2的另一个端部P2延伸，以将端头元件25中的另一个端头元件固定在它自身上。
[0057]环形固定装置20被成形为以轴线P为中心的环形，以与外环形部16接触，并通过螺栓固定。此外，第一排放部壳体12的环形固定装置20具有第一凸起20a，该第一凸起沿周向成形为环形，并且装配到形成在外环形部16的一个侧表面上的槽部10d上。此外，第二排放部壳体12的环形固定装置20具有另一个第一凸起20a，该另一个第一凸起沿周向成形为环形，并且装配到形成在外环形部16的另一个侧表面上的槽部10d上。
[0058]圆柱形主体21与环形固定装置20 —体形成。圆柱形主体21的外周表面21a在沿轴线P的方向上延伸，圆柱形主体21与外壳体2的内周表面2a结合。端头元件25A通过螺栓等固定在第一排放部壳体12的圆柱形主体21的远端表面上。此外，端头元件25B通过螺栓等固定在第二排放部壳体12的圆柱形主体21的远端表面上。沿周向成形为环形的第二凸起21b形成在第一排放部壳体12的圆柱形主体21的内表面上，靠近圆柱形主体21的远端表面定位。此外，沿周向成形为环形的另一个第二凸起21b形成在第二排放部壳体12的圆柱形主体21的内表面上，靠近圆柱形主体21的远端表面定位。
[0059]此外，第一排放部壳体12的圆柱形主体21设置有作为沿径向穿过的通孔的第二连通部10b，以便使内空间S和外壳体2中的排放口 6彼此连通。此外，第二排放部壳体12的圆柱形主体21设置有作为沿径向穿过的通孔的另一个第二连通部10b，以便使内空间S和外壳体2中的排放口 6彼此连通。在内空间S内的流过静子叶片排31和活动叶片排32之间的气体通道的氮气G通过第二连通部10b被从排放口 6排出到外壳体2的外侧。
[0060]第一端头元件25A(25)通过螺栓等固定到第一排放部壳体12的圆柱形主体21上，以便沿轴线P的方向面向分隔外壳11。第二端头元件25B(25)通过螺栓等固定到第二排放部壳体12的圆柱形主体21上，以便沿轴线P的方向面向分隔外壳11。
[0061]第一端头25A成形为以轴线P为中心的环形，并且设置有台阶部27A，台阶部27A通过从面向外壳体2的一个端部P1的端表面以轴线P为中心呈盘形地内凹而具有三个台阶。由于这样，从而面向径向的三个表面，第一表面27Ad、第二表面27Ae和第三表面27Af，以及面向轴线P的方向的三个表面，