技术特征:
技术总结
本发明涉及两种新型方法:“双涂布方法和单涂布方法”,所述方法通过在制图外延法中使用柱阵列从而形成通孔阵列,其中通过在柱的表面上形成疏水性聚(乙烯基芳基)刷从而对柱的表面进行改性。本发明还涉及组合物,所述组合物包含一个链端被反应性官能团封端的聚(乙烯基芳基)疏水性聚合物刷前体、具有抗蚀刻性疏水性嵌段和高度蚀刻性亲水性嵌段的二嵌段共聚物、热产酸剂和溶剂。
技术研发人员:洪圣恩;松本直树;秋山靖;黑泽和则;宫崎真治;林观阳
受保护的技术使用者:AZ电子材料卢森堡有限公司
技术研发日:2015.10.28
技术公布日:2017.08.18