膜片截止阀及其制造方法与流程

技术特征：

1.一种膜片截止阀，其特征在于，包括进液口(1)、进液流道(2)、出液口(3)、可动膜片(4)、基底(5)和气体捕捉与释放结构(6)；所述进液口(1)和所述出液口(3)位于同一个进液空腔内；所述可动膜片(4)、所述基底(5)、以及所述气体捕捉与释放结构(6)围拢成封闭的气体空腔(7)，所述气体空腔(7)内包含与所述气体捕捉与释放结构(6)相匹配的气体成分。

2.根据权利要求1所述的膜片截止阀，其特征在于，所述进液口(1)位于所述进液空腔的侧壁或顶部；和/或，所述出液口(3)位于所述进液空腔的顶部，所述出液口(3)的延伸方向与所述可动膜片(4)所在平面相垂直。

3.根据权利要求1或2所述的膜片截止阀，其特征在于，所述基底(5)由硅或玻璃制成。

4.根据权利要求1或2所述的膜片截止阀，其特征在于，所述气体空腔(7)内所填充气体为混合气体或单质气体。

5.根据权利要求1或2所述的膜片截止阀，其特征在于，所述气体捕捉与释放结构(6)包含吸气剂成分以及加热电阻结构；所述吸气剂成分的主要成分为钛或锆。

6.根据权利要求1或2所述的膜片截止阀，其特征在于，所述可动膜片(4)由柔性材料制成。

7.根据权利要求6所述的膜片截止阀，其特征在于，所述柔性材料为PP、PI和/或SU8。

8.一种如权利要求1至6任一项所述膜片截止阀的制造方法，其特征在于，所述制造方法采用半导体芯片工艺实现；所述制造方法包括下述步骤：

步骤1、在基底(5)上进行聚合物喷涂；

步骤2、采用丝网印刷方式或光刻方式得到吸气剂的图形；

步骤3、将多层预制的聚合物膜由下至上依次粘贴在步骤2所得结构上，在每层预制的聚合物膜粘贴后进行图形化操作和固化操作，直至聚合物固化成型；

步骤4、吸气剂金属混合物溅射；

步骤5、将步骤4所得结构图形化。

9.根据权利要求8所述的膜片截止阀的制造方法，其特征在于，在步骤4中，吸气剂金属混合物溅射后根据流体性质做亲水处理或疏水处理。

10.根据权利要求8或9所述的膜片截止阀的制造方法，其特征在于，在步骤1中，在所述基底(5)上喷涂聚合物的厚度为0.001um至5um。