技术总结
本发明公开了一种膜片截止阀及其制造方法，属于膜片截止阀技术领域，为解决现有结构体积过大等问题而设计。本发明膜片截止阀包括进液口、进液流道、出液口、可动膜片、基底和气体捕捉与释放结构；进液口和出液口位于同一个进液空腔内；可动膜片、基底、以及气体捕捉与释放结构围拢成封闭的气体空腔，气体空腔内包含与气体捕捉与释放结构相匹配的气体成分。本发明膜片截止阀及其制造方法实现了膜片截止阀的小型化，便于集成设计片上流体控制系统，可以实现全系统集成，适用于MEMS微流体领域；该膜片截止阀的结构可以兼容驱动热泵的结构，从而可以有效地集成到一个系统内部。
技术研发人员：张华;关一民
受保护的技术使用者：上海新微技术研发中心有限公司
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2018.06.29