技术特征：
技术总结
本发明实现一种用于具有倾斜的光学窗的微机械装置的制造方法和相应的微机械装置。该制造方法包括步骤：提供具有正面和背面的第一衬底，该第一衬底具有空隙；将第二衬底施加在正面上，其中，第二衬底能够热变形并且在空隙上方具有第一通孔，该第一通孔具有小于空隙的横向延伸尺度；在第二衬底上在第一通孔的上方或下方构造罩区域，该罩区域布置在关于第一衬底的第一位置中；使第二衬底热变形，其中，将罩区域带到空隙内部的第二位置中，该第二位置相对于第一位置倾斜并且能选择地沉入到空隙中；从第二衬底去除罩区域；并且在第二衬底上在第一通孔上方或下方在第二倾斜位置中安置光学窗。
技术研发人员：B·施托伊尔;S·平特
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.09.07
技术公布日：2018.03.13