一种团簇离子束沉积基片架的制作方法

文档序号:14614463发布日期:2018-06-05 21:46
一种团簇离子束沉积基片架的制作方法

本实用新型涉及夹具技术领域,具体是涉及一种团簇离子束沉积基片架。



背景技术:

团簇离子束技术(Cluster Ion Beam,CIB)广泛用于工件表面的掺杂、蚀刻、清洁、平滑以及薄膜沉积。团簇离子源通过电子轰击而离子化所产生的气体团簇是包括数个到数千个或更多的分子的聚集体,这些气体团簇的尺寸较大,通常为中性或者携带少量电荷,因此仅作用于极浅的表面区域,而不会产生较深的次表面损伤。采用团簇离子束对工件进行加工时,需要使用合适的基片架以固定工件,由于不同工件的形状和尺寸差别,针对不同的工件需要更换不同的基片架。现有的可调节基片架大都采用多个交叉设置的竖杆和横杆,竖杆和横杆围成用于放置单个基片的内框,横杆和竖杆两端的螺栓在外框上的长槽孔内移动到指定位置后固定连接。在移动竖杆和横杆以调节内部框架大小的过程中,横杆和竖杆需要分别固定,操作繁琐,导致更换基片架的时间长,效率低,而且竖杆和横杆很难保持相互垂直,使得内框大小存在差异,不利于固定机构对内框中的基片固定。



技术实现要素:

针对现有技术中存在的缺陷,本实用新型的目的在于提供一种团簇离子束沉积基片架,能够确保相交的支杆相互垂直,而且只需固定位于上方的支杆的两端,操作简单,提高更换基片架的效率。

本实用新型提供一种团簇离子束沉积基片架,其包括两个纵梁和两个横梁,所述纵梁和横梁互相垂直连接并形成矩形框架结构,两个所述纵梁之间以及两个所述横梁之间均设有至少一个支杆,所述支杆将框架结构所围成的区域分隔为放置独立基片的内部框架,其中,

所述横梁和纵梁的上表面靠近框架结构内侧均开设有长条形安装槽,所述支杆的两端底面与所述安装槽在形状上彼此互补,并可沿所述安装槽的长度方向滑动,相交的两个支杆中,位于上方的所述支杆的两端可拆卸地安装于所述安装槽上;

每个所述支杆的中段均设有第一长槽孔,相交的两个所述支杆通过卡接件连接。

在上述技术方案的基础上,所述安装槽具有底面和侧面,所述底面与其所在的所述纵梁或横梁表面平行,所述侧面与底面之间的夹角α的范围为90≤α<180。

在上述技术方案的基础上,相交的两个所述支杆中,与位于上方支杆两端互补的安装槽的底面设有第二长槽孔,所述支杆通过紧固件固定在所述第二长槽孔的任意位置。

在上述技术方案的基础上,所述卡接件包括固定板、一对第一卡接片和一对第二卡接片,每对卡接片互相平行的设置在所述固定板表面上,且第一卡接片和第二卡接片互相垂直设置,所述第一卡接片的宽度均小于所述第一长槽孔的宽度,一对第二卡接片卡接在位于上方的所述支杆的两侧;一对第一卡接片卡接在位于下方的所述支杆的两侧或者卡接在位于下方的所述支杆的第一长槽孔的内侧。

在上述技术方案的基础上,所述卡接件包括固定板和两个第三卡接片,两个所述第三卡接片互相平行地设置在所述固定板表面上,所述第三卡接片的自由端进一歩限缩形成第四卡接片,两个所述第三卡接片卡接在位于上方的所述支杆的两侧,两个所述第四卡接片穿过位于下方的所述支杆的第一长槽孔。

在上述技术方案的基础上,所述卡接片为弹性金属片。

在上述技术方案的基础上,所述支杆的中段具有凹槽,所述第一长槽孔位于所述凹槽内,相交的两个所述支杆的所述凹槽相对布置。

在上述技术方案的基础上,所述横梁、纵梁和支杆上还设有用于固定基片的卡扣或者弹片。

与现有技术相比,本实用新型的优点如下:

(1)支杆的两端底面与安装槽在形状上彼此互补,并可沿安装槽的长度方向滑动,在调整支杆的位置后,能够确保相交的支杆相互垂直,使得固定机构对各基片的固定稳定、可靠。

(2)相交的支杆的第一长槽孔通过卡接件固定连接,只需固定位于上方的支杆的两端,操作简单,提高更换基片架的效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例团簇离子束沉积基片架的结构示意图;

图2是图1中A-A剖面图;

图3是图1中B的局部放大图;

图4是本实用新型另一实施例卡接件的局部安装示意图(图1中B的局部放大图);

图5是图4中卡接件的C向视图。

图中:

1-纵梁,2-横梁,3-支杆,31-第一长槽孔,32-凹槽,4-安装槽,4a-第一安装槽,4b-第二安装槽,41-底面,411-第二长槽孔,42-侧面,43-限位块,5-卡接件,51-固定板,52-第一卡接片,53-第二卡接片,54-第三卡接片,55-第四卡接片。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

参见图1所示,本实用新型实施例提供一种团簇离子束沉积基片架,其包括两个纵梁1和两个横梁2,横梁2和纵梁1互相垂直连接并形成矩形框架结构,两个纵梁1之间以及两个横梁2之间均设有至少一个支杆3,支杆3将框架结构所围成的区域分隔为放置独立基片的内部框架。两个纵梁1之间以及两个横梁2之间的支杆3的数量根据实际基片生产的需要确定,均可以是多个。纵梁1和横梁2的上表面靠近框架结构内侧均开设有长条形安装槽4,支杆3的两端底面与安装槽4在形状上彼此互补,并可沿安装槽4的长度方向滑动。

为了叙述方便,在本实施例的相交的两个支杆3中,两个纵梁1之间的支杆3位于下方,两个横梁2之间的支杆3位于上方,纵梁1的上表面靠近框架结构所围成的区域一侧开设有长条形第一安装槽4a,横梁2的上表面靠近框架结构所围成的区域一侧开设有长条形第二安装槽4b。

参见图2所示,第二安装槽4b具有底面41和侧面42,底面41与其所在的横梁2表面平行,侧面42与底面41之间的夹角α的范围为90≤α<180。底面41上设有第二长槽孔411,相交的两个支杆3中,位于上方的支杆3的两端可拆卸地安装于安装槽4上。具体的,支杆3通过紧固件6固定在第二长槽孔411的任意位置。紧固件6为螺栓和螺母。

两个纵梁1之间的支杆3的两端底面与两个横梁2之间的支杆3的两端底面相同,即第一安装槽4a和第二安装槽4b形状相同,其区别在于第一安装槽4a上没有第二长槽孔411。支杆3的两端底面与第一安装槽4a和第二安装槽4b在形状上彼此互补,并可沿安装槽4的长度方向滑动。在根据不同基片的大小确定支杆3的位置后,支杆3仅沿第一安装槽4a或者第二安装槽4b的长度方向滑动,能够确保相交的支杆3相互垂直,使得固定机构对各基片的固定稳定、可靠。

参见图2所示,每个支杆3的中段均具有凹槽32,相交的两个支杆3的凹槽32相对布置,使得构成内部框架的两个相交支杆3的高度都相同。支杆3的中段设有第一长槽孔31,第一长槽孔31位于凹槽32内。

参见图2和图3所示,卡接件5包括固定板51、一对第一卡接片52和一对第二卡接片53,每对卡接片互相平行的设置在固定板51表面上,且第一卡接片52和第二卡接片53互相垂直设置,第一卡接片52的宽度均小于第一长槽孔31的宽度,一对第二卡接片53卡接在位于上方的支杆3的两侧;一对第一卡接片52卡接在位于下方的支杆3的第一长槽孔31的内侧。在其他的实施例中,一对第一卡接片52还可以卡接在位于下方的支杆3的两侧。根据基片的尺寸调整支杆3的位置时,将支杆3移动到指定位置,此时,互相垂直的支杆3的第一长槽孔31也处于垂直位置,由于相交的两个支杆3通过卡接件5固定连接,因此,只需固定位于上方的支杆3的两端,无需使用螺栓和螺母对位于下方的支杆3进行紧固连接,更换基片架的操作简单,提高更换效率。

在其他的实施例中,参见图4和图5所示,卡接件5包括固定板51和两个第三卡接片54,两个第三卡接片54互相平行地设置在固定板51表面上,第三卡接片54的自由端进一歩限缩形成第四卡接片55,两个第三卡接片54卡接在位于上方的支杆3的两侧,两个第四卡接片55穿过位于下方的支杆3的第一长槽孔31。由于相交的两个支杆3通过卡接件5固定连接,因此,只需固定位于上方的支杆3的两端,无需使用螺栓和螺母对位于下方的支杆3进行紧固连接,更换基片架的操作简单,提高更换效率。

横梁2、纵梁1和支杆3上还设有固定基片的卡扣或者弹片。

本实用新型不局限于上述实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围之内。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

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