技术总结
本实用新型公开了一种团簇离子束沉积基片架，涉及夹具技术领域。基片架包括两个纵梁和两个横梁，纵梁和横梁互相垂直连接并形成矩形框架结构，两个纵梁之间以及两个横梁之间均设有至少一个支杆，支杆将框架结构所围成的区域分隔为放置独立基片的内部框架，横梁和纵梁的上表面靠近框架结构内侧均开设有长条形安装槽，支杆的两端底面与安装槽在形状上彼此互补，并可沿安装槽的长度方向滑动，相交的两个支杆中，位于上方的支杆的两端可拆卸地安装于安装槽上；每个支杆的中段均设有第一长槽孔，相交的两个支杆通过卡接件连接。本实用新型能够确保相交的支杆相互垂直，而且只需固定位于上方的支杆的两端，操作简单，提高更换基片架的效率。
技术研发人员：付德君;李娜;曾晓梅
受保护的技术使用者：武汉江海行纳米科技有限公司
技术研发日：2017.11.22
技术公布日：2018.06.05