技术特征：
技术总结
本发明涉及微流体封装领域，具体涉及一种硅基光子生物传感器芯片的微流体封装方法，包括以下步骤：1)制作用于成型PDMS(聚二甲基硅氧烷)薄膜的模具；2)配制PDMS溶液；3)将PDMS溶液浇筑到模具的型腔中成型PDMS薄膜；4)制作基板、压板；5)芯片的微流体封装：将芯片放入到基板的凹槽中，扣上PDMS薄膜，压上压板，使PDMS薄膜的微流体通道和侧边通道与芯片形成密闭空间，即完成硅基光子生物传感器芯片的微流体封装。本发明的优点在于：本方法将微流体的出入口与芯片的光学测试区形成空间分离，便于光学测试的进行，且能进行较小尺寸硅基光子生物传感器芯片的微流体封装。
技术研发人员：金里;周杰;郭进;方俏然
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第三十八研究所
技术研发日：2018.01.30
技术公布日：2018.07.20