一种金属微纳类螺旋结构及其制备方法与流程

文档序号:19352009发布日期:2019-12-06 21:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属微纳类螺旋结构,包括基底层,其特征在于:所述基底层上表面设有一本体结构,所述本体结构由不少于两个的三角形金属结构相互连接构成;

所述三角形金属结构互相拼接,内部形成一通孔;

所述三角形金属结构厚度不同。

2.根据权利要求1所述的金属微纳类螺旋结构,其特征在于:所述三角形金属结构数目为三个;所述通孔为三角形。

3.根据权利要求2所述的一种金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

准备基底:准备洁净的ito玻璃基底;

涂胶:在准备好的玻璃基底上甩胶机甩一层正胶,并烘干;

曝光:用图形发生器设计所述本体结构形状,然后对所述本体三角形部分结构进行曝光,形成三个三角形孔洞;

显影定影:对经曝光后剩余的正胶进行显影处理,然后用定影液定影;

蒸镀金属:采用电子束真空蒸发在曝光后形成的三角形孔洞中以中点为中心沿所述三角形孔洞内进行旋转蒸镀金属材料,形成三角形结构;

所述三个三角形孔洞蒸镀金属材料厚度不同;

除胶:用正胶剥离液对正胶进行剥离,形成金属螺旋结构。

4.根据权利要求3所述的金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:所述涂胶步骤中,甩胶厚度为160~270nm;烘干温度为95℃~150℃。

5.根据权利要求3所述的金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:所述蒸镀金属步骤的具体过程为:

步骤一,将显影定影后的三角形周期阵列结构固定于真空镀膜机的样品台上,关闭电子束蒸发镀膜仪,并抽真空;

步骤二,固定沉积角小于90°,蒸镀金属材料,形成第一三角形,此时蒸镀方位角为0°;

步骤三,顺时针或者逆时针旋转蒸镀方位角120°继续蒸镀金属材料,形成第二三角形;

步骤四,按照步骤三同方向继续旋转蒸镀方位角120°,继续蒸镀金属材料,形成第三三角形;

形成端点相接的三角形金属结构。

6.根据权利要求5所述的金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:所述第一三角形、第二三角形与所述第三三角形厚度不同。

7.根据权利要求1所述的金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:所述三角形金属结构均由贵金属材料制成。

8.根据权利要求3所述的一种金属微纳类螺旋结构的制备方法,其特征在于:除胶后在所述三角形通孔内垂直蒸镀介质材料。


技术总结
本发明涉及金属微纳结构制备领域,具体涉及一种金属微纳类螺旋结构及其制备方法,金属微纳类螺旋结构通过采用光刻胶涂敷,再用电子束刻蚀,制成带有孔洞的基底,模板在其基底上顺时针或逆时针循环旋转倾斜蒸镀材料,形成三角形结构,最后在其三角形结构上垂直蒸镀金属材料或者非金属材料,形成金属类螺旋型结构,最后显影定影来制备金属螺旋结构。该制备方法简单易于操作,而且制备出的手性金属微纳类螺旋结构圆二色信号强。

技术研发人员:张中月;李颖;唐先龙;白瑜;景志敏
受保护的技术使用者:陕西师范大学
技术研发日:2019.09.05
技术公布日:2019.12.06
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