用于复合镀电沉积的电镀装置的制作方法

文档序号:5289467阅读:256来源:国知局
专利名称:用于复合镀电沉积的电镀装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种金属表面处理装置,具体说涉及一种复合电镀装置。
背景技术
复合镀是在镀液中加入非水溶性的固体微粒,使其与主体金属共同沉积形成镀层 的工艺。复合镀的一种方法是将阴极试片倾斜放置,且与水平面呈一定角度,以增加固体颗 粒在镀层中的复合量。但是现有复合镀是利用普通镀槽,由于试片是竖直挂镀的,为使阴 极试片倾斜放置,需要将镀槽整体倾斜,镀槽整体倾斜时阳极板不容易固定,而且阴极倾斜 的角度不好控制,造成复合镀的工艺参数不稳定。此外,固体颗粒在镀液中容易沉降,因此, 需要使用促进固体颗粒在镀液中均勻分散的手段,空气搅拌是实现固体颗粒在镀液中均勻 分散的一种方法,但是普通的镀槽是从镀槽顶端插入空气管,由于空气管质量较小,容易上 浮,导致空气搅拌固体颗粒的效果差。《空气搅拌对n-Al203/m-P化学复合镀层性能的影响》 一文中介绍了用于化学复合镀的带有空气搅拌装置的镀槽,排气部件就是从镀槽顶端插入 的,但此装置不适用于复合镀电沉积工艺,因为排气部件若设在阴极和阳极之间,会影响两 个电极之间的电力线分布,导致镀层外观缺陷;若排气部件设在阴极和阳极的两侧,不在镀 槽中心位置的话,则达不到充分搅拌镀液的目的。

发明内容
本发明的目的是为解决使用倾斜阴极法电沉积复合镀层时,阳极不能倾斜固定在 镀槽中,阴极倾斜角度不易控制,造成复合镀的工艺参数不稳定,以及镀槽底部没有空气入 口的问题,提供一种用于复合镀电沉积的电镀装置。本发明的装置包括镀槽、底座、框支架、镀槽固定圈、两个转轴、第一调整方圈、第 一挂钩、第一镀槽调整杆、第二调整方圈、第二挂钩、第二镀槽调整杆、第三调整方圈、第三 挂钩、第三镀槽调整杆、第四调整方圈、第四挂钩、第四镀槽调整杆、第五调整方圈、第五挂 钩、第五镀槽调整杆、第六调整方圈、第六挂钩、第六镀槽调整杆、第七调整方圈、第七挂钩、 第七镀槽调整杆、第八调整方圈、第八挂钩、第八镀槽调整杆、通气管、第一胶管、气量计、第 二胶管、气泵和两个固定板,框支架固装在底座上端面的一端,底座的上端面上由框支架向 底座的另一端之间的中心线上依次设有数个调整孔,且框支架沿底座的宽度方向设置,镀 槽固定圈套装在镀槽的外侧壁上,镀槽的底端外形为半球形,镀槽的中部横截面为矩形,镀 槽的上端面为斜面,镀槽和镀槽固定圈的组件设置在框支架中,且斜面的高点一侧朝向调 整孔,镀槽固定圈与框支架对应处通过一个转轴与框支架连接,镀槽的下部设有进气孔,通 气管的输出端穿过进气孔设置在镀槽内,通气管输入端通过第一胶管与气量计连接,气量 计通过第二胶管与气泵连接,两个固定板设置在镀槽内且靠近斜面的低点一侧,两个固定 板以底座长度方向的中心线为基准对称设置在镀槽两侧的内壁上,第一镀槽调整杆、第二 镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第四镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整杆、第七镀 槽调整杆和第八镀槽调整杆由镀槽至底座的后部依次设置在调整孔中,且第一镀槽调整杆、第二镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第一镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整 杆、第七镀槽调整杆和第八镀槽调整杆的高度逐渐减小,第一挂钩固接在第一镀槽调整杆 的顶端,第一调整方圈与第一挂钩连接,第二挂钩固接在第二镀槽调整杆的顶端,第二调整 方圈与第二挂钩连接,第三挂钩固接在第三镀槽调整杆的顶端,第三调整方圈与第三挂钩 连接,第四挂钩固接在第四镀槽调整杆的顶端,第四调整方圈与第四挂钩连接,第五挂钩固 接在第五镀槽调整杆的顶端,第五调整方圈与第五挂钩连接,第六挂钩固接在第六镀槽调 整杆的顶端,第六调整方圈与第六挂钩连接,第七挂钩固接在第七镀槽调整杆的顶端,第七 调整方圈与第七挂钩连接,第八挂钩固接在第八镀槽调整杆的顶端,第八调整方圈与第八 挂钩连接。本发明的有益效果是一、本发明镀槽可以根据需要调整与水平面所成的角度,使 复合镀的工艺参数稳定;本发明通入压缩空气进行搅拌,并通过控制气泵和气量计控制空 气的流速,促进固体颗粒在镀液中的均勻分散。二、本发明可使阳极板稳定固定在镀槽内, 与阴极板保持平行。


图1是本发明的整体结构主视图;图2是图1的俯视图(去掉气量计11、第二胶管12和气泵13); 图3是图1的左视图(去掉气量计11、第二胶管12和气泵13); 图4是镀槽1向调整孔2-1方向倾斜且与水平面呈45°夹角时,镀槽1的状态图; 图5是镀槽1向调整孔2-1方向倾斜且与水平面呈30°夹角时,镀槽1的状态图。
具体实施例方式具体实施方式
一结合图1 图5说明本实施方式,本实施方式包括镀槽1、底座 2、框支架3、镀槽固定圈4、两个转轴5、第一调整方圈6-1、第一挂钩7-1、第一镀槽调整杆 8-1、第二调整方圈6-2、第二挂钩7-2、第二镀槽调整杆8-2、第三调整方圈6_3、第三挂钩 7-3、第三镀槽调整杆8-3、第四调整方圈6-4、第四挂钩7-4、第四镀槽调整杆8-4、第五调整 方圈6-5、第五挂钩7-5、第五镀槽调整杆8-5、第六调整方圈6-6、第六挂钩7-6、第六镀槽调 整杆8-6、第七调整方圈6-7、第七挂钩7-7、第七镀槽调整杆8-7、第八调整方圈6-8、第八挂 钩7-8、第八镀槽调整杆8-8、通气管9、第一胶管10、气量计11、第二胶管12、气泵13和两 个固定板14,框支架3固装在底座2上端面的一端,底座2的上端面上由框支架3向底座2 的另一端之间的中心线上依次设有数个调整孔2-1,且框支架3沿底座2的宽度方向设置, 镀槽固定圈4套装在镀槽1的外侧壁上,镀槽1的底端外形为半球形,镀槽1的中部横截面 为矩形,镀槽1的上端面为斜面1-1,镀槽1的底端半球形是为了复合镀的镀液被搅拌时, 固体颗粒能充分地循环起来,不会堆积在镀槽的角落中;镀槽1和镀槽固定圈4的组件设置 在框支架3中,且斜面1-1的高点一侧朝向调整孔2-1,镀槽固定圈4与框支架3对应处通 过一个转轴5与框支架3连接,镀槽1的下部设有进气孔1-2,通气管9的输出端穿过进气 孔1-2设置在镀槽1内,通气管9输入端通过第一胶管10与气量计11连接,气量计11通 过第二胶管12与气泵13连接,气泵13为镀槽1内复合镀液提供压缩空气,促进复合镀液 中固体颗粒均勻分散,通入镀槽1中的空气流量可通过气量计11调节;两个固定板14设置在镀槽1内且靠近斜面1-1的低点一侧,两个固定板14设置在镀槽1内且靠近斜面1-1的 低点一侧,两个固定板14以底座2长度方向的中心线为基准对称设置在镀槽1两侧的内壁 上,当阳极板16挂在镀槽1侧壁上,且在镀槽1倾斜时,两个固定板14与镀槽1内壁上的 阳极挂钩一起为阳极板16提供支撑,使阳极固定在镀槽1的侧壁上;第一镀槽调整杆8-1、 第二镀槽调整杆8-2、第三镀槽调整杆8-3、第四镀槽调整杆8-4、第五镀槽调整杆8-5、第六 镀槽调整杆8-6、第七镀槽调整杆8-7和第八镀槽调整杆8-8由镀槽1至底座2的后部依次 设置在调整孔2-1中,且第一镀槽调整杆8-1、第二镀槽调整杆8-2、第三镀槽调整杆8-3、 第一镀槽调整杆8-4、第五镀槽调整杆8-5、第六镀槽调整杆8-6、第七镀槽调整杆8-7和第 八镀槽调整杆8-8的高度逐渐减小,第一挂钩7-1固接在第一镀槽调整杆8-1的顶端,第一 调整方圈6-1与第一挂钩7-1连接,第二挂钩7-2固接在第二镀槽调整杆8-2的顶端,第二 调整方圈6-2与第二挂钩7-2连接,第三挂钩7-3固接在第三镀槽调整杆8-3的顶端,第三 调整方圈6-3与第三挂钩7-3连接,第四挂钩7-4固接在第四镀槽调整杆8-4的顶端,第四 调整方圈6-4与第四挂钩7-4连接,第五挂钩7-5固接在第五镀槽调整杆8-5的顶端,第五 调整方圈6-5与第五挂钩7-5连接,第六挂钩7-6固接在第六镀槽调整杆8-6的顶端,第六 调整方圈6-6与第六挂钩7-6连接,第七挂钩7-7固接在第七镀槽调整杆8-7的顶端,第七 调整方圈6-7与第七挂钩7-7连接,第八挂钩7-8固接在第八镀槽调整杆8-8的顶端,第八 调整方圈6-8与第八挂钩7-8连接。镀槽1的材质为玻璃或聚四氟乙烯。第一镀槽调整杆 8-1、第二镀槽调整杆8-2、第三镀槽调整杆8-3、第一镀槽调整杆8-4、第五镀槽调整杆8_5、 第六镀槽调整杆8-6、第七镀槽调整杆8-7和第八镀槽调整杆8-8分别用于镀槽1与水平面 呈90° 30°夹角时使用。框支架3为不锈钢材质。两个转轴5为镀槽1旋转提供支撑。
具体实施方式
二 结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式与具体实施方式
一 或二不同的是它还增加有出气管15,出气管15上设有多个出气孔,出气管15与通气管9输 出端连接。这样设计使得出气管15可以更换,并能随时取出进行清洗。多个出气孔使得复 合镀的镀液被搅拌得更加均勻。其它组成及连接关系与具体实施方式
一相同。
具体实施方式
三结合图1和图5说明本实施方式,本实施方式的出气管15为直 筒形或Y形。这样设计以适应不同大小的镀槽1。当出气管15为Y形时,将Y形的下端与 通气管9连接。其它组成及连接关系与具体实施方式
一相同。本装置的工作原理将阳极板16插在镀槽1的槽壁与固定板14之间,再挂在镀槽 1的内壁上,使其固定,阴极板17挂在镀槽1内且与阳极板16相对的内壁上,阳极板16与 阴极板17分别通过导线与电源18的阳极和阴极相连接;在镀槽1中加入适量镀液,打开气 泵13,调节气量计11使镀液中的固体颗粒分散均勻。调节电源18的电流密度,开启电源, 即可开始电沉积;当镀槽1竖直放置时,第一镀槽调整杆8-1上的第一调整方圈6-1与镀槽 1对应的外侧壁相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈80°夹角时,拆掉 第一镀槽调整杆8-1,第二镀槽调整杆8-2上的第二调整方圈6-2与镀槽1对应的外侧壁 相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈70°夹角时,拆掉第二镀槽调整杆 8-2,第三镀槽调整杆8-3上的第三调整方圈6-3与镀槽1对应的外侧壁相接触;当镀槽1 向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈60°夹角时,拆掉第三调整方圈6-3,第四镀槽调整 杆8-4上的第四调整方圈6-4与镀槽1对应的外侧壁相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向 倾斜,且与水平面呈50°夹角时,拆掉第四调整方圈6-4,第五镀槽调整杆8-5上的第五调整方圈6-5与镀槽1对应的外侧壁相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈 45°夹角时,拆掉第五镀槽调整杆8-5,第六镀槽调整杆8-6上的第六调整方圈6-6与镀槽 1对应的外侧壁相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈40°夹角时,拆掉 第六镀槽调整杆8-6,第七镀槽调整杆8-7上的第七调整方圈6-7与镀槽1对应的外侧壁 相接触;当镀槽1向调整孔2-1方向倾斜,且与水平面呈30°夹角时,拆掉第七镀槽调整杆 8-7,第八镀槽调整杆8-8上的第八调整方圈6-8与镀槽1对应的外侧壁相接触。
权利要求
1.一种用于复合镀电沉积的电镀装置,其特征在于所述装置包括镀槽(1)、底座(2)、 框支架(3)、镀槽固定圈(4)、两个转轴(5)、第一调整方圈(6-1)、第一挂钩(7-1)、第一镀槽 调整杆(8-1)、第二调整方圈(6-2)、第二挂钩(7-2)、第二镀槽调整杆(8-2)、第三调整方圈 (6-3)、第三挂钩(7-3)、第三镀槽调整杆(8-3)、第四调整方圈(6-4)、第四挂钩(7_4)、第四 镀槽调整杆(8-4)、第五调整方圈(6-5)、第五挂钩(7-5)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六调整 方圈(6-6)、第六挂钩(7-6)、第六镀槽调整杆(8-6)、第七调整方圈(6-7)、第七挂钩(7_7)、 第七镀槽调整杆(8-7)、第八调整方圈(6-8)、第八挂钩(7-8)、第八镀槽调整杆(8-8)、通 气管(9)、第一胶管(10)、气量计(11)、第二胶管(12)、气泵(13)和两个固定板(14),框支 架(3)固装在底座(2)上端面的一端,底座(2)的上端面上由框支架(3)向底座(2)的另 一端之间的中心线上依次设有数个调整孔(2-1),且框支架(3)沿底座(2)的宽度方向设 置,镀槽固定圈(4)套装在镀槽(1)的外侧壁上,镀槽(1)的底端外形为半球形,镀槽(1) 的中部横截面为矩形,镀槽(1)的上端面为斜面(1-1),镀槽(1)和镀槽固定圈(4)的组件 设置在框支架(3)中,且斜面(1-1)的高点一侧朝向调整孔(2-1),镀槽固定圈(4)与框支 架(3)对应处通过一个转轴(5)与框支架(3)连接,镀槽(1)的下部设有进气孔(1-2),通 气管(9)的输出端穿过进气孔(1-2)设置在镀槽(1)内,通气管(9)输入端通过第一胶管 (10)与气量计(11)连接,气量计(11)通过第二胶管(12)与气泵(13)连接,两个固定板 (14)设置在镀槽(1)内且靠近斜面(1-1)的低点一侧,两个固定板(14)以底座(2)长度方 向的中心线为基准对称设置在镀槽(1)两侧的内壁上,第一镀槽调整杆(8-1)、第二镀槽调 整杆(8-2)、第三镀槽调整杆(8-3)、第四镀槽调整杆(8-4)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六镀 槽调整杆(8-6)、第七镀槽调整杆(8-7)和第八镀槽调整杆(8-8)由镀槽(1)至底座(2)的 后部依次设置在调整孔(2-1)中,且第一镀槽调整杆(8-1)、第二镀槽调整杆(8-2)、第三镀 槽调整杆(8-3)、第一镀槽调整杆(8-4)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六镀槽调整杆(8-6)、第 七镀槽调整杆(8-7)和第八镀槽调整杆(8-8)的高度逐渐减小,第一挂钩(7-1)固接在第 一镀槽调整杆(8-1)的顶端,第一调整方圈(6-1)与第一挂钩(7-1)连接,第二挂钩(7-2) 固接在第二镀槽调整杆(8-2)的顶端,第二调整方圈(6-2)与第二挂钩(7-2)连接,第三挂 钩(7-3)固接在第三镀槽调整杆(8-3)的顶端,第三调整方圈(6-3)与第三挂钩(7-3)连 接,第四挂钩(7-4)固接在第四镀槽调整杆(8-4)的顶端,第四调整方圈(6-4)与第四挂钩 (7-4)连接,第五挂钩(7-5)固接在第五镀槽调整杆(8-5)的顶端,第五调整方圈(6-5)与 第五挂钩(7-5)连接,第六挂钩(7-6)固接在第六镀槽调整杆(8-6)的顶端,第六调整方圈 (6-6)与第六挂钩(7-6)连接,第七挂钩(7-7)固接在第七镀槽调整杆(8-7)的顶端,第七 调整方圈(6-7)与第七挂钩(7-7)连接,第八挂钩(7-8)固接在第八镀槽调整杆(8-8)的 顶端,第八调整方圈(6-8)与第八挂钩(7-8)连接。
2.根据权利要求1所述用于复合镀电沉积的电镀装置,其特征在于所述装置包括出 气管(15),出气管(15)上设有多个出气孔,出气管(15)与通气管(9)输出端连接。
3.根据权利要求2所述用于复合镀电沉积的电镀装置,其特征在于所述出气管(15) 为直筒形或Y形。
全文摘要
用于复合镀电沉积的电镀装置,它涉及一种复合电镀装置,以解决倾斜阴极法电沉积复合镀层时,阳极不能倾斜固定在镀槽中,阴极倾斜角度不易控制,造成复合镀的工艺参数不稳定及镀槽底部没有空气入口的问题。框支架的敞开面与底座上的数个调整孔垂直设置,镀槽固定圈套装在镀槽的外侧壁上,镀槽和镀槽固定圈的组件设置在框支架中,且斜面的高点一侧朝向调整孔,镀槽固定圈通过转轴与框支架连接,通气管的输出端设置在镀槽内,第一镀槽调整杆、第二镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第四镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整杆、第七镀槽调整杆和第八镀槽调整杆由镀槽至底座的后部依次设置在调整孔中且调整杆高度逐渐减小。本发明用于金属表面处理。
文档编号C25D15/00GK102051656SQ201010593678
公开日2011年5月11日 申请日期2010年12月17日 优先权日2010年12月17日
发明者孙春翔, 安茂忠, 张锦秋, 王海博, 马今朝 申请人:哈尔滨工业大学
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1