1.一种纯相In2S3半导体薄膜的硫化辅助电沉积制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)配制电解液:在水中依次加入氯化锂、氯化铟、亚硫酸钠和硫代硫酸钠,所述的电解液配比为Li+:In3+:SO32-:S2O32-=100:(2.5-10):(1-10):(40-100),电解液的pH值介于2.5-3.75之间;
(2)步骤(1)配制好的电解液搅拌后,用恒电位沉积法在氧化铟锡(ITO)玻璃基底上制备预沉积薄膜,沉积电位控制在相对于饱和甘汞电极-0.9~-1.2 V之间,电沉积的温度控制在20-70 °C,电沉积时间控制在1-60min,电沉积过程中对电解液进行搅拌;
(3)将步骤(2)制备出的预沉积薄膜置于硫化反应剂和惰性气氛保护条件下,于200-600 °C下恒温退火。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的电解液配比为Li+:In3+:SO32-:S2O32-=100:10:5:40,溶液的pH值介于2.5-3.75之间。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述的硫化反应剂为硫粉。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的惰性气氛为氮气和/或氩气气氛。
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤(3)中在350-550 °C下恒温退火。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的制备方法制备得到的In2S3半导体薄膜,其特征在于,其晶体结构为纯四方相结构。