1.一种阳极板,其特征在于,包括:
阳极板体,设有至少一个通气孔;
陶瓷孔件,设有防滑件;
当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时,所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触,用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。
2.根据权利要求1所述的阳极板,其特征在于,所述陶瓷孔件上设有凸起部,所述通气孔的侧壁上设有凹槽部,所述凸起部和所述凹槽部配合使用。
3.根据权利要求2所述的阳极板,其特征在于,所述凸起部为环形凸起部且设置在所述陶瓷孔件外侧壁的顶部;所述凹槽部为环形凹槽部且开设在所述通气孔侧壁顶部。
4.根据权利要求1所述的阳极板,其特征在于,所述陶瓷孔件的侧壁开设有环形槽,所述防滑件安装在所述环形槽内。
5.根据权利要求4所述的阳极板,其特征在于,所述防滑件粘贴设置在所述环形槽内。
6.一种蚀刻装置,包括反应室及安装所述反应室中的阳极板和阴极板,所述阳极板和所述阴极板相对设置,其特征在于,所述阳极板包括:
阳极板体,设有至少一个通气孔;
陶瓷孔件,设有防滑件;
当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时,所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触,用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。
7.根据权利要求6所述的蚀刻装置,其特征在于,所述陶瓷孔件上设有凸起部,所述通气孔的侧壁上设有凹槽部;所述凸起部和所述凹槽部配合使用。
8.根据权利要求7所述的蚀刻装置,其特征在于,所述凸起部为环形凸起部且设置在所述陶瓷孔件外侧壁的顶部;所述凹槽部为环形凹槽部且开设在所述通气孔侧壁顶部。
9.根据权利要求6所述的蚀刻装置,其特征在于,所述陶瓷孔件的侧壁开设有环形槽,所述防滑件安装在所述环形槽内。
10.根据权利要求9所述的蚀刻装置,其特征在于,所述防滑件粘贴设置在所述环形槽内。