技术总结
本实用新型公开了一种阳极板及蚀刻装置，该阳极板包括：阳极板体和陶瓷孔件；所述阳极板体上设有至少一个通气孔，所述陶瓷孔件上设有防滑件；当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时，所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。其中所述防滑件用于增加陶瓷孔件在通气孔中牢固性，陶瓷孔件可以减小腐蚀性气体对阳极板的腐蚀损坏，增加了阳极板的使用寿命。因此也增加了使用该阳极板的蚀刻装置的使用寿命。
技术研发人员：张阳圣
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
文档号码：201720476777
技术研发日：2017.05.02
技术公布日：2018.01.02