一种阳极板及蚀刻装置的制作方法

本实用新型涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种阳极板及蚀刻装置。

背景技术：

现有的蚀刻技术中，需要对上电极板进行阳极处理，因此上电极板也称为阳极板。而蚀刻工艺中，需要使用氟、氯等活性腐蚀性气体，这些腐蚀气体在经过阳极板的通气孔时，腐蚀阳极板的通气孔，严重时会导致阳极板失效。因此严重影响了阳极板和包括该阳极板的蚀刻装置的使用寿命。因此，有必要提供一种阳极板解决该腐蚀性问题。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供了一种阳极板及蚀刻装置，旨在解决腐蚀性气体腐蚀阳极板的通气孔而影响阳极板的寿命问题。

第一方面，本实用新型提供了一种阳极板，该阳极板包括：

阳极板体，设有至少一个通气孔；

陶瓷孔件，设有防滑件；

当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时，所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触，用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。

在本实用新型的阳极板中，所述陶瓷孔件上设有凸起部，所述通气孔的侧壁上设有凹槽部；所述凸起部和所述凹槽部配合使用。

在本实用新型的阳极板中，所述凸起部为环形凸起部且设置在所述陶瓷孔件外侧壁的顶部；所述凹槽部为环形凹槽部且开设在所述通气孔侧壁顶部。

在本实用新型的阳极板中，所述陶瓷孔件的侧壁开设有环形槽，所述防滑件安装在所述环形槽内。

在本实用新型的阳极板中，所述防滑件通过粘贴设置在所述环形槽内。

第二方面，还提供了一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括反应室及安装所述反应室中的阳极板和阴极板，所述阳极板和所述阴极板相对设置，所述阳极板包括：

阳极板体，设有至少一个通气孔；

陶瓷孔件，设有防滑件；

当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时，所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触，用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。

在本实用新型的蚀刻装置中，所述陶瓷孔件上设有凸起部，所述通气孔的侧壁上设有凹槽部；所述凸起部和所述凹槽部配合使用。

在本实用新型的蚀刻装置中，所述凸起部为环形凸起部且设置在所述陶瓷孔件外侧壁的顶部；所述凹槽部为环形凹槽部且开设在所述通气孔侧壁顶部。

在本实用新型的蚀刻装置中，所述陶瓷孔件的侧壁开设有环形槽，所述防滑件安装在所述环形槽内。

在本实用新型的蚀刻装置中，所述防滑件通过粘贴设置在所述环形槽内。

本实用新型实施例提供了一种阳极板和蚀刻装置，其中所述阳极板包括阳极板体和陶瓷孔件；所述阳极板体上设有至少一个通气孔，所述陶瓷孔件上设有防滑件；当所述陶瓷孔件安装在所述通气孔内时，所述防滑件与所述通气孔的侧壁接触用于防止所述陶瓷孔件从所述通气孔中脱落。其中所述防滑件用于增加陶瓷孔件在通气孔中牢固性，陶瓷孔件可以减小腐蚀性气体对阳极板的腐蚀损坏，增加了阳极板的使用寿命。因此也增加了使用该阳极板的蚀刻装置的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种阳极板的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种阳极板的切面结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件和防滑件的安装结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种阳极板的另一切面结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件和防滑件的爆炸结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件和防滑件的另一结构示意图；

图8是本实用新型实施例提供的一种蚀刻装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图1时本实用新型实施例提供的一种阳极板的结构示意图。该阳极板应用于蚀刻装置，如图1所示，阳极板10包括阳极板体11，其中阳极板体11上设有多个通气孔110。多个通气孔110的排列方式可以为规则排列，也可以为非规则排列。其中多个通气孔110的尺寸也可以不尽相同，比如，为了获得更好的蚀刻效果，在阳极板体11边缘区的通气孔110的开口尺寸小于在阳极板体11中心区的通气孔110的开口尺寸。

在蚀刻制程中，该通气孔110用于通入腐蚀性气体，如氟气或氯气等，为了防止这些腐蚀性气体腐蚀该通气孔110而降低了阳极板的使用寿命，在通气孔110中均安装有陶瓷孔件，该陶瓷孔件可以有效防止这些腐蚀性气体腐蚀阳极板10的上通气孔110。

其中，该陶瓷孔件的具体结构如图2所示，该阳极板10的通气孔110的侧壁上设有凹槽部111，陶瓷孔件12上设有凸起部121，凸起部121和凹槽部111配合使用，用于将陶瓷孔件固定在通气孔110中。

具体地，凸起部121为环形凸起部且设置在陶瓷孔件12外侧壁的顶部。凹槽部111为环形凹槽部且开设在通气孔110的侧壁顶部。

当陶瓷孔件12安装在阳极板10的通气孔110中，其切面结构如图3所示，陶瓷孔件12的凸起部121与通气孔110上开设的凹槽部111相配合使用，使得陶瓷孔件12牢固地固定在通气孔110中。因此，该陶瓷孔件不仅可以增加陶瓷孔件在通气中牢固性，还减小腐蚀性气体对阳极板的腐蚀损坏，增加了阳极板的使用寿命。因此也增加了使用该阳极板的蚀刻装置的使用寿命。

在某些实施例中，该陶瓷孔件具有其他结构，如图4所示，其防滑件13设置在陶瓷孔件12与通气孔110接触的侧壁上，用于防止在蚀刻过程中因热胀冷缩或通气原因而造成陶瓷孔件12从通气孔110中滑落。

具体地，为了详细地说明该阳极板10的结构，请参阅图5，图5是本实用新型实施例提供的一种阳极板的切面结构示意图。如图5所示，当陶瓷孔件12安装在通气孔110中，该陶瓷孔件12的高度与通气孔110的高度相同，即是陶瓷孔件12的高度与阳极板体11的高度相同，保证了该陶瓷孔件12安装在通气孔中后与阳极板体11齐平。其中，陶瓷孔件12和通气孔110通过挤压防滑件13进而将陶瓷孔件12牢牢固定在通气孔110中，当通入腐蚀性气体时，该腐蚀性气体通过陶瓷孔件12的通孔流入，避免了与通气孔110的侧壁接触，减小了腐蚀性气体对阳极板的通气孔的腐蚀，进而提高了该阳极板的使用寿命。

具体地，如图6所示，图6是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件和防滑件的爆炸结构示意图。陶瓷孔件12的侧壁开设有环形槽120，防滑件13安装在环形槽120内，再将该安装有防滑件13的陶瓷孔件12安装在阳极板10的各个通气孔110中。

在某些实施例中，如图7所示，图7是本实用新型实施例提供的一种陶瓷孔件和防滑件的爆炸结构另一示意图。如图7所示，具体地，该陶瓷孔件12的侧壁开设有环形槽120，环形槽120的尺寸较大，防滑件13的尺寸和环形槽120的尺寸，防滑件13通过胶合固定安装在环形槽120内，再将该安装有防滑件13的陶瓷孔件12安装在阳极板10的各个通气孔110中，以增加陶瓷孔件12和阳极板体11间的牢固性。

在本实施例中，所述防滑件包括聚氯乙烯环或橡胶环，也可以为其他材质的环形件，防滑件的材质在此不做限定。所述聚氯乙烯环或橡胶环通过粘贴方式安装在所述环形槽内，比如通过胶水胶合等方式。

请参阅图8，图8是本实用新型实施例提供的一种蚀刻装置的结构示意图；该蚀刻装置1包括反应室100及安装反应室100中的阳极板10和阴极板20，阳极板10和阴极板20相对设置。阳极板10为上述实施例中的阳极板的结构，为了说明书的简洁性，在此不做详细介绍。因此，该阳极板通过在通气孔110中安装陶瓷孔件12，该陶瓷孔件上还设有防滑件，不仅增加了陶瓷孔件在通气孔中牢固性，又可以减小腐蚀性气体对阳极板的腐蚀损坏，进而提高了阳极板的使用寿命。

在本实施例中，所述阳极板设有多个所述通气孔，多个所述通气孔分为边缘区通气孔和中心区通气孔，其中边缘区通气孔和所述中心区通气孔的孔径不同。所述陶瓷孔件包括不同尺寸的陶瓷孔件，不同尺寸的陶瓷孔件与所述边缘区通气孔及中心区通气孔的尺寸相匹配。这种设计，在蚀刻制程中,可以通过气孔的大小控制不同通气量，已得到更好的蚀刻效果。

在本实施例中，具体地，如图6所示，该陶瓷孔件12的侧壁开设有环形槽120，防滑件13安装在环形槽120内，再将该安装有防滑件13的陶瓷孔件12安装在阳极板10的各个通气孔110中。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。