一种设有电流密度监控装置的电镀设备的制作方法

文档序号:17840793发布日期:2019-06-06 00:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种设有电流密度监控装置的电镀设备,包括电镀槽,所述电镀槽内对称设有电极,其特征在于,所述电镀槽下方设有电源控制区域,所述电源控制区域包括依次连接的主电路模块、驱动电路模块、控制芯片模块,所述电镀槽的底部设有电流密度采集模块,所述电流密度采集模块与控制芯片模块连接,所述主电路模块分别与电极连接。

2.根据权利要求1所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述控制芯片模块为STM32控制芯片模块。

3.根据权利要求1所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述电流密度采集模块包括磁敏感传感器、上位机,所述磁敏感传感器、上位机分别与控制芯片模块连接。

4.根据权利要求1所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述主电路模块包括依次连接的第二滤波器、变压器、直流电源组。

5.根据权利要求4所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述直流电源组设有第一滤波器,所述第一滤波器与变压器连接,所述第二滤波器与电极连接。

6.根据权利要求4所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述驱动电路模块与变压器连接。

7.根据权利要求1所述的设有电流密度监控装置的电镀设备,其特征在于,所述控制芯片模块与驱动电路模块连接。

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