专利名称：一种电镀设备用挡液装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电镀设备，尤其涉及一种电镀设备用挡液装置。
背景技术：
连续电镀时，为满足电镀区域的控制要求，可以采用调节电镀槽中电镀液的高度，来控制被镀工件浸入电镀液的深度，从而达到控制电镀面积的目的。该方式中，为提高镀件质量，就要使电镀液的浓度保持稳定，从而确保电流密度稳定，因此电镀液既要有充分的流动量，又必须保持液面的相对稳定。为此，使电镀液及时平稳地从电镀液子槽回流到电镀液母槽就非常关键。为达到这一目的，主要是通过泵把电镀液从电镀液母槽补充到电镀液子槽内，再经溢流到电镀液母槽内，如此反复循环，但由于现有的电镀设备中电镀液直接通过回流管冲入电镀液母槽内，此种方式会导致电镀液液面波动较大，所以难以保持电流密度稳定，以至于镀件质量较差。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够使电镀液液面波动小、电流密度稳定的电镀设备用挡液装置。为解决上述技术问题，本发明提供一种电镀设备用挡液装置，包括
电镀液母槽；电镀液子槽，安装于所述电镀液母槽的上方；
还包括
电镀液过渡槽，安装于所述电镀液母槽的上方、用于收容从所述电镀液子槽中溢流出来的电镀液；
回流管，一端与所述电镀液过渡槽相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽内的底部；
挡液板，安装在所述电镀液过渡槽中，并能够根据所述电镀液过渡槽中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过所述回流管回流至所述电镀液母槽中。所述回流管另一端的末端水平延伸形成水平延伸部，所述平延伸部的出口与所述电镀液母槽的侧壁相对。与现有技术相比，本发明的有益效果为
由于本发明的一种电镀设备用挡液装置，包括有电镀液过渡槽，该电镀液过渡槽通过回流管与电镀液母槽相通，在电镀液过渡槽中设有挡液板，使用时，挡液板能够根据电镀液的液面高度打开或者关闭，这样可以使溢流的电镀液在电镀液过渡槽中蓄积一定量后再回流至电镀液母槽中，这样的回流方式，不会产生较大的液面波动，所以能够使电流密度保持温度，因此本发明能够使电镀液液面波动小，使电流密度保持稳定。
图I为本发明的结构示意图。
图中电镀液母槽2，电镀液子槽4，电镀液过渡槽6，回流管7，水平延伸部71，挡液板8。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施方式
对本发明做进一步详细说明
参见图I所示，本发明的一种电镀设备用挡液装置，主要包括有电镀液母槽2、电镀液子槽4和电镀液过渡槽6，其中电镀液子槽4安装于电镀液母槽2的上方，电镀液过渡槽6也安装于电镀液母槽2的上方用于收容从电镀液子槽4中溢流出来的电镀液；电镀液母槽2和电镀液过渡槽6之间通过回流管7相通，该回流管7的一端与电镀液过渡槽6底部相通，另一端竖直向下延伸至电镀液母槽2内的底部，并形成水平延伸部71，该平延伸部71的出口与电镀液母槽2的侧壁相对；挡液板8安装在电镀液过渡槽6中，并能够根据电镀液过渡槽6中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过回流管7回流至电镀液母槽2中，这种首先在电镀液过渡槽6中蓄积电镀液，再回流的方式不会产生较大的冲击，所以能够使电镀液的液面保持稳定，避免产生较大的波动，从而能够使电镀液内的电流密度保持稳定，最终确保镀件具有较好的电镀效果。实际使用中，挡液板8可以采用‘跷跷板’的原理安装在电镀液过渡槽6中，即当电镀液蓄积到一定量时挡液板8两端的受力会失去平衡，从而发生倾斜使电镀液通过回流管7开始回流，相反挡液板8处于水平的关闭状态，本领域技术人员在所掌握的公知常识内也可以采用其它的方式使挡液板8自动打开或者关闭，但都属于本发明的设计构思，均在本发明的保护范围内。 综上所述，本发明能够使电镀液液面波动小，使电流密度保持稳定。以上所述仅为本发明的较佳实施方式，本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
权利要求
1.一种电镀设备用挡液装置，包括电镀液母槽(2)；电镀液子槽(4)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方；其特征在于还包括电镀液过渡槽(6)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方、用于收容从所述电镀液子槽(4)中溢流出来的电镀液；回流管(7)，一端与所述电镀液过渡槽(6)相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽(2)内的底部；挡液板(8)，安装在所述电镀液过渡槽(6)中，并能够根据所述电镀液过渡槽(6)中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过所述回流管(7)回流至所述电镀液母槽(2)中。
2.根据权利要求I所述的电镀设备用挡液装置，其特征在于所述回流管(7)另一端的末端水平延伸形成水平延伸部(71)，所述水平延伸部(71)的出口与所述电镀液母槽(2 )的侧壁相对。
全文摘要
本发明公开了一种电镀设备用挡液装置，包括电镀液母槽(2)；电镀液子槽(4)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方；其特征在于还包括电镀液过渡槽(6)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方、用于收容从所述电镀液子槽(4)中溢流出来的电镀液；回流管(7)，一端与所述电镀液过渡槽(6)相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽(2)内的底部；挡液板(8)，安装在所述电镀液过渡槽(6)中，并能够根据所述电镀液过渡槽(6)中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过所述回流管(7)回流至所述电镀液母槽(2)中。本发明能够使电镀液液面波动小，使电流密度保持稳定,且镀件质量较好。
文档编号C25D21/12GK102912410SQ20121044994
公开日2013年2月6日 申请日期2012年11月12日 优先权日2012年11月12日
发明者夏品军 申请人:江苏矽研半导体科技有限公司