专利名称：双阻隔无油超净真空系统装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空系统，特别涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。
背景技术：
在本实用新型发明之前，传统的扩散泵串联机械泵的真空系统起动速度慢，预热和冷却的抽气所耗费的时间长，且扩散泵油蒸汽容易返流到真空室中，这些油蒸汽随即进入被抽容器中，使真空度降低，氧化电热体和被处理工件，造成真空室内材料和器件严重污染，影响高纯材料的合成与熔炼；同时，由于机械泵有油存在，对连接管道、阀门和机械泵都会产生不同程度的污染。因此，这种传统的真空系统达不到高纯材料合成与熔炼所需要的超净真空环境的要求和条件。
发明内容
本实用新型的目的就在于克服上述缺陷，设计、研制一种双阻隔无油超净真空系统装置。
本实用新型的技术方案是双阻隔无油超净真空系统装置，有机械泵、分子泵、被抽容器，其主要技术特征在于在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。
本实用新型的优点和效果在于将二个阻油器分别设置在机械泵、分子泵的气体回路上和在分子泵、被抽容器之间，第一阻油器将机械泵返流的油蒸汽进行阻隔、收集，防止油蒸汽对真空系统管道、分子泵叶片的污染，第二阻油器将对已经进入分子泵泵腔的油分子进行再阻隔、收集，防止油蒸汽对被抽容器的污染。
本实用新型结构简单，效果明显，操作方便。
本实用新型的优点和效果将在下面继续进行描述。
图1——本实用新型结构示意图。
图2——阻油器结构示意图。
图3——阻油器部件结构示意图。
图4——阻油器内管子结构示意图。
图5——阻油器内挡油板结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，高真空气体回路是气体从被抽容器7流经第二阻油器6至高真空阀5，在经过分子泵4至下阀门3和第一阻油器2，最后由机械泵1(直联双级机械泵)排出大气；低真空气体回路是气体从被抽容器7流经上阀门8至第一阻油器2，最后由机械泵1(直联双级机械泵)排出大气。
如图2、3、4、5所示，第一阻油器2、第二阻油器6结构相同，其内是管子13(带紧固螺母)是用铜材制成的，具有良好的传热导率，管子13内注入液氮14(液氮冷凝油蒸汽)；在管子13上套接二个以上挡油板10，本例中采用6个挡油板10，挡油板10是用不锈钢材制成的，每二个挡油板10之间有隔套11，将其分开，隔套11套接在管子13上；挡油板10外端边向下倾斜，带有一定角度，使阻隔的油蒸汽能够聚集在阻油器底部，在阻油器底设置放油孔9，以使油蒸汽从放油孔9中排出；挡油板10可采用半圆形或方形或椭圆形或圆弧形等，本例中挡油板10采用的是半圆形结构。
实际应用中，真空系统装置开始抽真空，机械泵1启动，打开上阀门8抽低真空，气体经上阀门8至第一阻油器2，由机械泵1将气体压缩排出；当真空度小于10-1Pa时，启动分子泵4，打开下阀门3和高真空阀5，真空系统可以获得小于10-5Pa的超净高真空；由于机械泵1开始抽真空时是从大气压开始的，因而不可避免会发生泵油的返流，此时，第一阻油器2将机械泵1返流的油蒸气进行阻隔和收集，防止油蒸汽对系统管道和分子泵4叶片的污染，第二阻油器对已经进入分子泵4泵腔的油分子进行再阻隔和收集，防止油蒸汽对被抽容器7的污染。经过这种双阻隔设计，真空室的返油率小于5×10-7g/cm2·s，完全能够满足高纯材料熔炼和物理、化学气相沉积工艺对真空系统的要求。管子13中的液氮14将挡油板10阻隔收集的油蒸汽进行降温处理后，其油则从阻油器底部的放油孔9中流出。
本实用新型系统结构简单，所选材料易加工、成本低且能满足高纯材料熔炼和物理、化学气相沉积工艺对真空系统的要求。
本实用新型请求保护的范围并不仅仅局限于上述描述。
权利要求1.双阻隔无油超净真空系统装置，有机械泵、分子泵、被抽容器，其特征在于在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。
2.根据权利要求1所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于阻油器结构是中间有一管子，管子上套接二个挡油板以上，挡油板之间的管子上设置隔套。
3.根据权利要求2所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于阻油器底部设置放油孔。
4.根据权利要求2所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于挡油板外端边向底部倾斜。
5.根据权利要求2所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于挡油板呈半圆形或方形或椭圆形或圆弧形。
6.根据权利要求2所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于管子内中空，注入液氮。
7.根据权利要求6所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于管子是铜材制成的。
8.根据权利要求2所述的双阻隔无油超净真空系统装置，其特征在于挡油板是不锈钢制成的。
专利摘要本实用新型涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。本实用新型在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。本实用新型解决了现有技术存在的时间长、真空度降低、污染严重，影响高纯材料的合成与熔炼，难以达到要求。本实用新型中第一阻油器将机械泵返流的油蒸汽进行阻隔、收集，防止油蒸汽对真空系统管道、分子泵叶片的污染，第二阻油器将对已经进入分子泵泵腔的油分子进行再阻隔、收集，防止油蒸汽对被抽容器的污染。且结构简单，效果明显，操作方便。
文档编号F04B37/14GK2931847SQ20062007272
公开日2007年8月8日 申请日期2006年4月25日 优先权日2006年4月25日
发明者陈荣发, 赵毅红 申请人:扬州大学