专利名称：多级三叶罗茨真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空泵领域，具体涉及一种多级三叶罗茨真空泵。
背景技术：
罗茨真空泵在真空装备中一般作为机械增压泵使用，通常为单级结构式，其转子形状为 两叶状，这种泵不能单独直排大气，使用时必须用前级泵组成机组使用，前级泵选择不当很 容易污染真空环境，不能实现无油的干式工作状态，因此使用范围受到较大的限制。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决现有单级结构形式的罗茨真空泵不能直排大气的缺陷，提供一 种抽速大、极限真空度高、直排大气的多级三叶罗茨真空泵。 本实用新型是通过以下技术方案来实现的
即一种多级三叶罗茨真空泵，包括多级泵体，每级泵体的泵腔内均设有安装在主、从动 轴上的转子，其特征在于所述每一级泵体均为独立的整体式结构，每级泵体之间设有外置式 中间隔壁，所述外置式中间隔壁由对称的上中间隔壁和下中间隔壁组成，所述外置式中间隔 壁的外圆弧半径与泵体的外圆弧半径相同，装配时用螺钉将上中间隔壁和下中间隔壁组合在 一起并安装在相邻两级泵体之间，所述转子为圆周对称分布的三叶状。
小型转子每个叶的端面型线由圆弧AB和摆线BC组成；较大型转子每个叶的端面型线
由圆弧ab、直线bc、圆弧cd、直线de、摆线ef、圆弧fg组成。 转子最大外径与其节圆的比值在1.2".55之间。 转子端面与泵体端面之间的间隙为0.05~0.8mm。
每一级泵体均设有水流通道或气流通道，或同时设有水流通道和气流通道。最后一级泵 体的两侧设有与泵腔相通的掺气口。
外置式中间隔壁为屮空结构，设有进气口、级间气流通道、排气口。
转子可以采用长度逐级縮短的方式，也可以采用转子长度分为两级的方式，即第二级转 子与其他转子的长度相同并小于第一级转子的长度。
本实用新型相比现有技术，具有以下优点
本实用新型的小型转子型线由圆弧、摆线构成，较大型转子由多种圆弧、直线和摆线构 成，转子啮合密封性好；各级泵体之间用外置式中间隔壁隔开，形成多级独立泵腔，此种结 构比内置式隔壁更容易加工和装配；通过泵体的掺气孔，将排出气体冷却后的气体的一部分再返回泵腔，有效地降低泵腔的温度，得到较高的压縮比，实现无油无污的清洁真空，且能
够直排大气。
图1是本实用新型的结构示意图2是多级转子装配体立体图3是图1中的A-A剖面图4是外置式中间隔壁结构示意图5为图4中的B-B剖面图6是实施例1转子端面型线示意图7是实施例2转子端面型线示意图。
如图中所示l后轴承；2胀紧套；3齿轮；4后盖；5后轴承座；6后端盖；7后盖骨架 油封；8泵体；9进气U; IO外置式中间隔壁；ll泵体；12外置式中间隔壁；13泵体；14 前端盖；15端盖水冷腔；16甜轴承座；17前盖；18电机连接架；19电机；20联轴器；21 联轴器；22主动轴；23前盖水冷腔；24前轴承；25前骨架油封；26排气U ; 27掺气口 ； 28 间级气流通道；29间级气流通道；30后盖水冷腔；31从动轴；32水冷通道；33水冷通道；
34掺气口； 35出气口； 36进气口； 37紧固螺钉；38上中间隔壁；39紧固螺钉；40下中间 隔壁；Ll、 L2为转子长度。
具体实施方式
实施例1
下面以小型的三级三叶罗茨真空泵为例，对本实用新型做进一步阐述。
如图l、图3、图4所示，电机连接架18固定在前盖17上，与本实用新型成为一体，固 定在电机连接架18上的电机19通过联轴器20、联轴器21连接主动轴22，主动轴22和从动 轴31上分别装有3个圆周对称分布的三叶形转子，将其分别放置在泵体8、泵体11、泵体 13的泵腔内，泵体8和泵体11之间用外置式中间隔壁10隔开，泵体11和泵体13之间用外 置式中间隔壁12隔开，形成多级泵腔，所述外置式中间隔壁IO、外置式中间隔壁12均由对 称的上中间隔壁38和下中间隔壁40组成，上中间隔壁38和下中间隔壁40通过紧固螺钉'37、 紧固螺钉39连接在一起，上中间隔壁38的上部设有出气口 35、下中间隔壁40的下部设有 进气口 36，主动轴22、从动轴31两端用前轴承24和后轴承1支撑固定，甜轴承24和后轴 承1分别通过甜轴承座16、后轴承座5固定在前端盖14和后端盖6上，后轴承座5外端装 有一对同歩齿轮3，用胀紧套2固定在主动轴22、从动轴31上，前端盖14、后端盖6的外
4端分别是前盖17和后盖4。泵体8、泵体11、泵体13上均设有水冷通道32、水冷通道33， 最后一级泵体13的两侧设有掺气孔27、掺气孔34，主动轴22、从动轴31两端用前轴承24 和后轴承1支撑固定，前轴承24和前轴承座16及后轴承1和后轴承座5分别固定在前端盖 14和后端盖6上。
如图2、图6所示，转子的端面型线为圆弧AB和摆线BC组成，转于啮合密封性好，转 子长度分为两种，即第二级转子与第三级转子的长度均为L2，小于第一级转子的长度L1。
本实用新型使用前，通过装配调整主动轴22、从动轴31上转子之间的间隙，调整转子 与前端盖14、后端盖6之间的端面间隙，使主动轴22、从动轴31上的转子在旋转工作时的 间隙适当，从而保证本实用新型在正常工作时达到技术要求。
本实用新型工作时不需要任何工作介质，电机19通过联轴器20、联轴器21转动主动转 子装配体和固定在主动轴22上的齿轮旋转，通过同步齿轮带动从动转子转配体以同样的速度 反向运转，被抽气体从进气口 9吸入第一级的泵体8，通过间级气流通道29送入第二级的泵 体11，第二级的泵体11排出的气体通过间级气流通道28送入第三级的泵体13，气体从第三 级的泵体13底部的排气口26排出，如果排出的气体不需要回收，排气口26可以直排大气， 掺气口 27、掺气口 34可以掺入大气冷却泵腔温度，得到较高的压缩；如果排出的气体需要 回收，排气口 26排出的气体送入换热器冷却后，取出部分冷却气体通过掺气口 27、掺气口 34送入泵体13的泵腔内，冷却泵腔中的气体，能更有效地降低泵腔的工作温度。前骨架油 封25和后盖骨架油封7使泵腔与前轴承24、后轴承1和齿轮箱完全隔离，保证了泵腔的工 作压力，杜绝了返油现象，同时使两端的前轴承24、后轴承1长期得到可靠润滑，工作稳定 可靠。本实用新型的泵体8、泵体11、泵体13均设有水冷通道32、水冷通道33，前端盖14、 后端盖6的端盖水冷腔15、前盖17的前盖水冷腔23、后盖4的后盖水冷腔30内也设有循环 水，可以大幅度的降低真空泵的工作温度，工作过程清洁无任何污染，经实验，3级三叶罗 茨真空泵极限真空可达到100Pa，完全实现了无油干式真空。
实施例2
如图7所示，转子的端面型线由圆弧ab、直线bc、圆弧cd、直线de、摆线ef、圆弧fg
组成。其他同实施例l。
本实施例相对于实施例1，转子的端面型线适合较大型多级罗茨真空泵的转子。 本实用新型不局限于以上实施，多级三叶罗茨真空泵可以设计制造成4级、5级，和6
级，3泵的级数较多，体积较大时本实用新型直接安装在专用底盘上，通过皮带轮与电机连接。
权利要求1、一种多级三叶罗茨真空泵，包括多级泵体，每级泵体的泵腔内均设有安装在主、从动轴上的转子，其特征在于所述每一级泵体均为独立的整体式结构，每级泵体之间设有外置式中间隔壁，所述外置式中间隔壁由对称的上中间隔壁和下中间隔壁组成，所述外置式中间隔壁的外圆弧半径与泵体的外圆弧半径相同，装配时用螺钉将上中间隔壁和下中间隔壁组合在一起并安装在相邻两级泵体之间，所述转子为圆周对称分布的三叶状。
2、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于小型转子每个叶的端面型线 由圆弧AB和摆线BC组成。
3、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于较大型转子每个叶的端面型 线由圆弧ab、直线bc、圆弧cd、直线de、摆线ef、圆弧fg组成。
4、 根据权利要求1或2或3所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于转子最大外径与其 节圆的比值在1.2 1.55之间。
5、 根据权利要求1或2或3所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于转子较泵体长度短， 转子两端面与泵体两端面之间的间隙均为0.05~0.8mm。
6、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于每一级泵体均设有水流通道 或气流通道或同时设有水流和气流通道。最后一级泵体的两侧设有与泵腔相通的掺气口 。
7、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于外置式中间隔壁为中空结构， 设有进气口、间级气流通道、排气口。
8、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于转子长度逐级縮短。
9、 根据权利要求1所述的多级三叶罗茨真空泵，其特征在于转子长度分为两级，第二级 转子与其他转子的长度相同并小于第一级转子的长度。
专利摘要本实用新型属于真空泵领域，具体涉及一种多级三叶罗茨真空泵。包括多级泵体，每级泵体的泵腔内均设有安装在主、从动轴上的转子，其特征在于所述每一级泵体均为独立的整体式结构，每级泵体之间抽速大、极限真空度高、直排大气的间隔壁的外圆弧半径与泵体的外圆弧半径相同，装配时用螺钉将上中间隔壁和下中间隔壁组合在一起并安装在相邻两级泵体之间，所述转子为圆周对称分布的三叶状。本实用新型解决了现有单级结构形式的罗茨真空泵不能直排大气的缺陷，具有抽速大、极限真空度高、直排大气的优点。
文档编号F04C23/00GK201396281SQ20092002405
公开日2010年2月3日 申请日期2009年3月19日 优先权日2009年3月19日
发明者孙成忠 申请人:孙成忠