专利名称：一种真空泵用排气口的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空技术领域，具体说是涉及一种真空泵，更具体说是一种真空泵用排气口。
背景技术：
在IC装备工艺、制药工艺以及光伏、化工等工艺中，尾气粉尘、颗粒现象普遍，普通的真空泵排气口多由单个逆止阀组成，粉尘容易在逆止阀密封面和排气口底部堆积，造成排气口堵塞或逆止阀失效，影响真空泵性能及使用。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种能有效防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降的排气阀，具体方案是一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联；所述除尘球阀包括除尘球阀底座、密封球、除尘球阀上盖，所述除尘球阀底座安装在储尘腔内，所述除尘球阀上盖与除尘球阀底座固接，所述密封球放置在除尘球阀上盖与除尘球阀底座形成的空间内；所述弹簧逆止阀包括弹簧逆止阀体、弹簧逆止阀阀芯、硫化橡胶圈、弹簧，所述弹簧逆止阀体安装在储尘腔上部，弹簧逆止阀阀芯放置在弹簧逆止阀体底部，硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部与弹簧逆止阀体底部接触，弹簧下部与弹簧逆止阀阀芯抵接，上部与出口法兰抵接；为便于储尘腔底部储存粉尘，所述除尘球阀底座高于储尘腔底部；为使密封球有足够的空间弹起，所述除尘球阀上盖高度为密封球直径的1. 5倍；为使气流从四周溢出，所述除尘球阀上盖四周密布通气槽孔；为避免频繁与阀体接触产生噪音过大，所述密封球的材料为橡胶或聚四氟；为取得更好的技术效果，所述硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部，在弹簧的压力作用下与弹簧逆止阀体抵接，起密封作用。本发明具有如下优点本发明适用于任意真空泵，特别是使用工艺复杂，反应尾气充满粉尘颗粒的真空泵。防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降。
图1为本发明结构示意图。其中1、入口法兰；2、除尘球阀底座；3、密封球；4、除尘球阀上盖；5、出口法兰； 6、弹簧；7、弹簧逆止阀阀芯；8、硫化橡胶圈；9、弹簧逆止阀体；10、储尘腔。
具体实施例方式下面结合附图具体说明本发明，如图1所示，本发明包括入口法兰1、出口法兰5， 还包括储尘腔10、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔10 内，所述入口法兰1、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰5依次串联。所述除尘球阀包括除尘球阀底座2、密封球3、除尘球阀上盖4，所述除尘球阀底座 2安装在储尘腔10内，所述除尘球阀上盖4与除尘球阀底座2固接，所述密封球3放置在除尘球阀上盖4与除尘球阀底座2形成的空间内。所述弹簧逆止阀包括弹簧逆止阀体9、弹簧逆止阀阀芯7、硫化橡胶圈8、弹簧6，所述弹簧逆止阀体9体安装在储尘腔10上部，弹簧逆止阀阀芯7放置在弹簧逆止阀体9底部， 硫化橡胶圈8粘接在弹簧逆止阀阀芯7底部与弹簧逆止阀体9接触，弹簧6下部与弹簧逆止阀阀芯7抵接，上部与出口法兰5抵接。为便于储尘腔底部储存粉尘，所述除尘球阀底座2高于储尘腔10底部；为使密封球3有足够的空间弹起，所述除尘球阀上盖4高度为密封球3直径的1. 5 倍；为使气流从四周溢出，所述除尘球阀上盖4四周密布通气槽孔；为避免频繁与阀体接触产生噪音过大，所述密封球3的材料为橡胶或聚四氟；为取得更好的技术效果，所述硫化橡胶圈8粘接在弹簧逆止阀阀芯7底部，在弹簧 6的压力作用下可与弹簧逆止阀体9抵接，起密封作用。本发明的原理是真空泵尾气从排气管排出时，经过入口法兰1先流经除尘球阀， 可随意滚动的密封球3在气流冲击下弹起，可阻挡气流，使气流向四周喷射，气流中混杂的粉尘和颗粒经多次撞击后，大部分沉淀在储尘室10中，而密封球3材料为氟橡胶或聚四氟， 所以在滚动过程中与金属碰撞的噪音较小。除去大量粉尘的尾气流随后流经弹簧逆止阀， 从出口法兰5流出真空泵外，当大气压力大于真空泵排气口压力时，弹簧逆止阀关闭，防止外部气体进入泵内。
权利要求
1.一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，其特征在于还包括储尘腔、 除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。
2.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀包括除尘球阀底座、密封球、除尘球阀上盖，所述除尘球阀底座安装在储尘腔内，所述除尘球阀上盖与除尘球阀底座固接，所述密封球放置在除尘球阀上盖与除尘球阀底座形成的空间内。
3.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述弹簧逆止阀包括弹簧逆止阀体、弹簧逆止阀阀芯、硫化橡胶圈、弹簧，所述弹簧逆止阀体安装在储尘腔上部，弹簧逆止阀阀芯放置在弹簧逆止阀体底部，硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部与弹簧逆止阀体底部接触，弹簧下部与弹簧逆止阀阀芯抵接，上部与出口法兰抵接。
4.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀底座高于储尘腔底部。
5.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀上盖高度为密封球直径的1.5倍。
6.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀上盖四周密布通气槽孔。
7.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述密封球的材料为氟橡胶或聚四氟。
8.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部。
全文摘要
本发明公开一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，其特征在于还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。本发明具有如下优点1.适用于任意真空泵，特别是使用工艺复杂，反应尾气充满粉尘颗粒的真空泵。2.防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降。
文档编号F04B39/00GK102278295SQ20101019912
公开日2011年12月14日 申请日期2010年6月12日 优先权日2010年6月12日
发明者孔祥玲, 张振厚, 王光玉 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司