流体压力缸的制作方法

本发明涉及通过流体供给而产生推力的流体压力缸。

背景技术：

为了通过供给流体来实现产生所希望的推力的“推压”、“上提”、“抓捏”、“搬运”、“夹持”等各种动作，广泛使用油压缸、气压缸、气动液压缸等各种流体压力缸。

气动液压缸将空气压力在缸体内部转换为油压并输出，其能够在使用气动设备的同时获得油压单元的功能(专利文献1)。

气动液压缸在内部具有2种流体室，且由下述部分构成：使外部产生高推动力的油压室；和用于提高油压室的压力的空压室。

可是，在以往的气动液压缸中，空压室和油压室被串联地配置于同一轴心线上，且构成为，分隔空压室和油压室的活塞的移动方向、与接受油压而输出推力的活塞的移动方向一致。

因此，关于以往的气动液压缸，2种流体室的冲程长度相加而使得缸体整体变长，与只具有1种流体室的一般的气压缸或油压缸相比较，导致全长变长。

专利文献1：日本特许第4895342号公报

技术实现要素：

本发明的目的在于缩短流体压力缸的全长。

(1)在技术方案1所述的发明中，提供一种流体压力缸，其特征在于，所述流体压力缸具备：壳体；充满第1流体的第1流体室，其形成于所述壳体内；充满第2流体的第2流体室，其形成于所述壳体内；第1活塞，其将所述第1流体室和所述第2流体室分隔开，受到所述第1流体的压力而在所述壳体的轴线方向上移动，对所述第2流体加压；以及环状的第2活塞，其被配设于所述第1活塞的径向方向外侧，受到被所述第1活塞加压的所述第2流体的压力而在所述壳体的轴线方向上移动，所述第2流体室形成为，所述第1活塞的对所述第2流体进行加压的面和所述第2活塞的承受所述第2流体的压力的面成为同一方向。

(2)在技术方案2所述的发明中，提供技术方案1所述的流体压力缸，其特征在于，所述第2流体室具备：第1室，其内部的所述第2流体与所述第1活塞接触；形成于所述第1室的径向方向外侧的第2室，其内部的所述第2流体与所述第2活塞接触；以及连通通道，其将所述第1室和所述第2室连通。

(3)在技术方案3所述的发明中，提供技术方案1或技术方案2所述的流体压力缸，其特征在于，所述流体压力缸具备第1流体供给通道，所述第1流体供给通道通过所述第1活塞的径向方向内侧，且与所述第1流体室连通，对所述第1流体室供给第1流体。

(4)在技术方案4所述的发明中，提供技术方案3所述的流体压力缸，其特征在于，所述流体压力缸具备：内筒部，其被配设于所述壳体的径向方向内侧；和中央杆，其被配设于所述内筒部的径向方向内侧，所述第1流体供给通道形成于所述中央杆，所述第1活塞被配设于所述中央杆与所述内筒部之间，所述第2活塞被配设于所述内筒部与所述壳体之间。

(5)在技术方案5所述的发明中，提供技术方案1至技术方案4中的任意一项技术方案所述的流体压力缸，其特征在于，所述第1流体是压缩性流体或非压缩性流体，所述第2流体是压缩性流体或非压缩性流体。

(6)在技术方案6所述的发明中，提供技术方案1或技术方案2所述的流体压力缸，其特征在于，所述流体压力缸具备：充满第1流体的第3流体室，其相对于所述第1活塞形成于所述轴线方向上的与所述第1流体室相反的一侧；第1流体供给通道，其通过所述第1活塞的径向方向内侧，对所述第1流体室供给所述第1流体；以及第2流体供给通道，其对所述第3流体室供给第1流体，所述第1活塞借助所述第1流体室内的所述第1流体与所述第3流体室内的所述第1流体的压力差在所述轴线方向上移动。

(7)在技术方案7所述的发明中，提供技术方案6所述的流体压力缸，其特征在于，所述流体压力缸具备：内筒部，其被配设于所述壳体的径向方向内侧；和中央杆，其被配设于所述内筒部的径向方向内侧，所述第1流体供给通道形成于所述中央杆，所述第1活塞具备圆筒状的引导杆，且被配设于所述中央杆与所述内筒部之间，所述引导杆向所述第2流体室侧延伸，且对所述第2流体加压，所述第2活塞被配设于所述内筒部与所述壳体之间。

(8)在技术方案8所述的发明中，提供技术方案7所述的流体压力缸，其特征在于，所述第3流体室在所述引导杆的内侧被配设于所述引导杆与所述中央杆之间。

(9)在技术方案9所述的发明中，提供技术方案7所述的流体压力缸，其特征在于，所述第3流体室在所述引导杆的外侧被配设于所述引导杆与所述内筒部之间。

根据本发明，在径向方向上配设第1活塞和第2活塞，第1活塞的对第2流体加压的面、和第2活塞的承受第2流体的压力的面形成为同一方向，因此能够缩短流体压力缸的全长。

附图说明

图1是第1实施方式中的气动液压式缸的俯视图和剖视图。

图2是示出上述气动液压式缸的整体结构的剖视图。

图3是示出上述气动液压式缸的装配步骤的一部分的说明图。

图4是示出上述气动液压式缸的装配步骤的剩余部分的说明图。

图5是示出与上述气动液压式缸中的空气压力活塞的移动相伴随的各部分的移动状态的说明图。

图6是第2实施方式中的气动液压式缸的整体结构的剖视图。

图7是示出上述气动液压式缸的装配步骤的一部分的说明图。

图8是示出与上述气动液压式缸中的空气压力活塞的移动相伴随的各部分的移动状态的说明图。

图9是第3实施方式中的气动液压式缸的侧视图和剖视图。

图10是第4实施方式中的气动液压式缸的整体结构的剖视图。

图11是示出上述气动液压式缸的装配步骤的一部分的说明图。

图12是示出上述气动液压式缸的装配步骤的剩余部分的说明图。

图13是示出与上述气动液压式缸中的空气压力活塞的移动相伴随的各部分的移动状态的说明图。

标号说明

1：气动液压式缸(流体压力缸)；

10：外缸；

11：外筒部；

12：外缸盖；

13：贯通孔；

14：供油孔；

15：密封螺钉；

16：密封部件；

17：螺栓；

18：密封部件；

20：空压供给部；

21：盖；

22：空压供给杆；

23：第1空压供给通道；

24：第2空压供给通道；

25：密封部件；

26：螺栓；

27：卡定螺母；

28：空压配管接头；

29：贯通孔；

30：第1活塞；

31：引导杆；

32：内周密封部件；

33：外周密封部件；

40：内缸；

41：内圆筒部；

42：凸缘；

43：盖部；

44：连通孔；

46：螺栓；

50：第2活塞；

51：输出圆筒部；

52：贯通孔；

54：内周密封部件；

55：外周密封部件；

60：盖；

61：孔；

63：螺栓；

70、71：螺旋弹簧；

72：中间筒；

72a：主体部；

72b：凸缘部；

73：螺纹部；

74、75：贯通孔；

76～79：密封部件；

80：气压室(第1流体室)；

81：第1油压室；

82：第2油压室；

90：中间圆筒；

91：间隙；

94：第3空压供给通道；

95：第4空压供给通道；

96：第5空压供给通道；

97：塞子；

98：空压配管接头；

99：第6空压供给通道；

C：中心轴线(规定的方向)；

AR：供给气体(供给流体)；

OL：油(内部流体)。

具体实施方式

以下，参照图1至图9，针对将本发明的流体压力缸应用于气动液压式缸1的优选实施方式详细地进行说明。

(1)实施方式的概要

在本实施方式的气动液压式缸1中，使缸在径向方向上形成为双层结构。即，将内缸40同轴地配置于外缸10的内部，将空压供给杆22同轴地配置于内缸40的内部。

并且，将第1活塞30配置于空压供给杆22与内缸40之间，将内缸40内的第1活塞30的一个面(油压面)侧作为气压室80，将另一个面侧作为第1油压室81。

将第2活塞50配设于外缸10与内缸40之间，将该两个缸10、40内的、朝向与第1活塞30的油压面相同的方向的第2活塞50的面侧作为第2油压室82。

在内缸40上形成有连通孔44，该连通孔44用于使填充于第1油压室81和第2油压室82的油OL移动来传递负压。

这样，将第1活塞30和第2活塞50在径向方向上并列地配置，并且使两个活塞30、50形成为与填充于油压室中的油OL相接触的面成为同一方向，由此，能够缩短气动液压式缸1的全长。

(2)实施方式的详情

以下，针对将本发明的流体压力缸应用于气动液压式缸1的第1实施方式进行说明。

图1、图2是示出本实施方式的气动液压式缸1的结构的图。

在图1中，(a)示出了气动液压式缸1的左侧视图，(b)示出了沿(a)的左侧视图中的截面线A-A的剖视图，(c)示出了右侧视图，(d)示出了沿(b)的剖视图中的截面线B-B的剖视图。

图2是本实施方式的气动液压式缸1的沿A-A’线的剖视图。

并且，在图2和表示A线上的截面的剖视图中，从截面的对象除去空压配管接头28后示出。

另外，在以下的各剖视图中，由于难以与标号的引出线进行区别，省略了表示各部的截面的斜线。但是，在表示整体结构的图(图2、图6)中，为了明确各部分的区别，对于各缸内的存在供给气体(空气)AR和油OL的空间，分别以密度不同的网点进行区别。

如图2所示，气动液压式缸(流体压力缸)1具备作为壳体发挥功能的外缸10、空压供给部20、第1活塞30、作为内筒部发挥功能的内缸40、第2活塞50、盖60以及螺旋弹簧70、71。

外缸10将在图2中以点划线表示的假想的中心轴线C作为轴心，且具备：构成缸主体(壳体)的外筒部11；和配设于外筒部11的一侧(附图左侧)的外缸盖12。

关于外筒部11的与中心轴线C垂直的截面形状，如图1的(d)所示，内周面侧为圆形，外周面侧为被倒角的方形。

并且，本实施方式的外筒部11和外缸盖12形成为一体，但也可以通过螺刻于彼此的内外周面上的螺纹螺合在一起，也可以通过借助密封部件将对接的两个部件螺钉紧固来形成。

形成有以外缸盖12的中心轴线C为中心的圆形的贯通孔13。

在外筒部11上，在与后述的多个连通孔44相同的面上形成有贯通外筒部11的供油孔14。该供油孔14用于将作为第2流体发挥功能的油OL填充于第1油压室81、第2油压室82以及连通孔44内。

并且，本实施方式的连通孔44如图1的(d)所示那样形成有4个，其中的1个存在于图1的(a)的A’线上，在A线上则没有。因此，在表示A-A’截面的图2中，以虚线来表示存在于从A线上偏移45度的位置处的连通孔44。但是，对于在以虚线表示的该连通孔44内充满的油OL，也标记了网点。并且，连通孔44的数量和配置位置任意，可以是其它的数量或位置。

供油孔14被密封螺钉15密封，在密封螺钉15上，配设有用于防止油OL从第2油压室82流出的密封部件16。

并且，也可以在密封螺钉15上配设用于测量第1油压室81、连通孔44、第2油压室82内的油压的压力传感器(未图示)。

另外，关于供油孔14和密封螺钉15，无需是1组，也可以配设多组。这种情况下，保留至少1个油孔14进行供油，由此，从不进行供油的供油孔14排出内部的空气，因此，供油变得容易。并且，通过从不进行供油的供油孔14进行抽真空，能够更容易地进行供油。

另外，也可以是，在多组中的一个密封螺钉15上配设压力传感器，并从其它供油孔14进行供油。

空压供给部20具备：盖21；和空压供给杆22，其从盖21的中心一体地形成。该空压供给杆22作为中央杆发挥功能。

外缸10和空压供给部20被多根(在实施方式中为4根)螺栓26从盖21朝向外缸盖12固定。

在空压供给杆22的末端，形成有外螺纹，且螺合有比空压供给杆22的外径大的外径的卡定螺母27。

在盖21上，从其侧端面(厚度面)朝向中心轴线C形成有第1空压供给通道23，与该第1空压供给通道23连续的第2空压供给通道24沿着中心轴线C形成于空压供给杆22。第2空压供给通道24形成为贯通至空压供给杆22的末端。并且，第1空压供给通道23和第2空压供给通道24作为第1流体供给通道发挥功能。

空压供给杆22的外径被设定为比贯通孔13的内径适当地小的间隙配合。在空压供给杆22的外周面与贯通孔13的内周面的对置面上，在遍及整周地形成于空压供给杆22侧的槽内配设有密封部件(O形环)25，防止了后述的第1油压室81内的油OL流出到外部。

空压配管接头28以与第1空压供给通道23连续的方式安装于盖21，作为第1流体发挥功能的供给气体AR被从该空压配管接头28供给，且通过第1空压供给通道23、第2空压供给通道24从空压供给杆22的末端供给至作为第1流体室发挥功能的气压室80中。

第1活塞30在中央部形成有在中心轴线C方向上外延的引导杆31。

在第1活塞30和引导杆31的中心部形成有贯通孔，空压供给杆22能够滑动地贯穿插入该贯通孔内。第1活塞30的与引导杆31相反的一侧的面与卡定螺母27抵接，由此，第1活塞30不会从空压供给杆22脱开。

在空压供给杆22及引导杆31与后述的内圆筒部41之间配设有螺旋弹簧70，所述螺旋弹簧70具有比引导杆31的直径大的螺旋内径。该螺旋弹簧70的一端与外缸盖12抵接，另一端与第1活塞30抵接。

当受到空气压力的第1活塞30向退避方向(附图左方向)移动时，螺旋弹簧70被压缩，当空气压力变小时，螺旋弹簧70恢复，直至使第1活塞30与卡定螺母27抵接为止。

在第1活塞30的内周面与空压供给杆22的外周面的对置面上，在遍及整周地形成于第1活塞30的内周面侧的槽内配设有内周密封部件32。

另外，在第1活塞30的外周面与后述的内圆筒部41的内周面的对置面上，在遍及整周地形成于第1活塞30的外周面侧的槽内配设有外周密封部件33。

通过该内周密封部件32和外周密封部件33，防止了气压室80内的供给气体AR和第1油压室81的油OL向对方的那一侧流出。

内缸40具备：内圆筒部41，其供第1活塞30在内周面上滑动；凸缘42，其形成于内圆筒部41的一侧(空压供给部20侧)；以及盖部43，其形成为堵塞内圆筒部41的另一端侧。本实施方式的内圆筒部41、凸缘42、盖部43形成为一体。

在内圆筒部41的凸缘42侧的周面上，分别沿径向形成有将第1油压室81和第2油压室82连通的多个连通孔44。该连通孔44形成于不与第1活塞30的滑动范围及第2活塞50(后述)的滑动范围重合的位置处。

内缸40和外缸10被多根(在本实施方式中为4根)螺栓46从凸缘42朝向外缸盖12固定。在本实施方式中，螺栓46用的安装螺纹孔未贯通外缸盖12。但是，在螺栓46用的安装螺纹孔形成为贯通外缸盖12的情况下，配设密封部件以免第2油压室82的油OL流出。

在第2活塞50上，一体地形成有将油压的推力输出至外部的输出圆筒部51。输出圆筒部51具有：圆筒部，其在第2活塞50的中央部沿中心轴线C方向外延而形成；和输出板，其以成为圆筒部的盖的方式形成于该圆筒部的与第2活塞50相反的一侧的端部。

在形成于输出圆筒部51的端部的输出板的中心，形成有用于使空气在如下的空间与外部之间移动的贯通孔52：所述空间是形成于输出圆筒部51与内缸40的外周面之间的空间。

在第2活塞50的中心部形成有贯通孔，第2活塞50相对于内圆筒部41以能够滑动的方式贯穿插入。

关于输出圆筒部51，在其全长中，第2活塞50侧的内径形成为与第2活塞50的贯通孔相同的内径，通过使其在内圆筒部41的外周面滑动，由此对第2活塞50的移动(滑动)进行引导。输出圆筒部51的与第2活塞50相反的一侧的内径形成得比内圆筒部41的外径大，由此，抑制了因与内圆筒部41摩擦而引起的阻力增大。

设第1活塞30和引导杆31的端面朝向下述垂直面投影的投影面积为S1，其中，所述垂直面是该端面在第1油压室81中与油OL接触的面中的、与中心轴线C方向垂直的垂直面，另外，设第2活塞50朝向与第2油压室82接触的面中的、同一垂直面投影的投影面积为S2，这种情况下，两个投影面积形成为S1＜S2。

由此，第2活塞50能够受到如下这样的推力并将该推力从输出圆筒部51输出，其中，所述推力被放大为比引导杆31从气压室80受到空气压力而施加于第1油压室81的压力大的油压。

在本实施方式中，在第1活塞30的隔着内圆筒部41的外侧，配设有第2活塞50。即，在设第1活塞30的外径与内径之差为δ1、且设第2活塞50的外径与内径之差为δ2的情况下，由于第2活塞50的内径大于第1活塞30的外径，因此，即使δ1＝δ2，两个投影面积也是S1＜S2。在本实施方式中，通过进一步使δ1＜δ2，能够输出更大的推力。

如图2所示，通过使第1活塞30和第2活塞50在径向方向上并列地配置而不是在中心轴线C方向上串联地排列，由此，能够缩短气动液压式缸1的全长。

并且，在本实施方式中，在未受到来自第2油压室82的油压的状态(图2的状态)下，第2活塞50的位置比第1活塞30的位置靠退避方向侧(附图左侧)。由此，能够进一步缩短气动液压式缸1的全长。

在第2活塞50的内周面与内圆筒部41的外周面的对置面上，在遍及整周地形成于第2活塞50的内周面侧的槽内配设有内周密封部件54。

另外，在第2活塞50的外周面与外筒部11的内周面的对置面上，在遍及整周地形成于第2活塞50的外周侧的槽内配设有外周密封部件55。

通过该内周密封部件54和外周密封部件55，防止了第2油压室82内的油OL流出。

在盖60上，形成有用于供第2活塞50的输出圆筒部51贯穿插入的孔61，盖60被多根螺栓63固定于外筒部11。

在输出圆筒部51与外筒部11之间配设有螺旋弹簧71，该螺旋弹簧71具有比输出圆筒部51的外径大的螺旋内径。该螺旋弹簧71的一端与第2活塞50抵接，另一端与盖60抵接。

在使受到了来自第2油压室82的油压的第2活塞50向输出方向(附图右方向)移动时，螺旋弹簧71被压缩，当油压变小时，螺旋弹簧71使第2活塞50返回至原来的位置。

在本实施方式中，通过作为第1室发挥功能的第1油压室81、作为第2室发挥功能的第2油压室82、以及作为连通通道发挥功能的连通孔44，形成了第2流体室。

通过空压供给杆22及引导杆31的外周面与内圆筒部41及凸缘42的内周面相对置、且外缸盖12与第1活塞30相对置的区域，形成了第1油压室81。

另外，通过内圆筒部41的外周面与外筒部11的内周面相对置、且凸缘42与第2活塞50相对置的区域，形成了第2油压室82。

接下来，对本实施方式的气动液压式缸1的装配步骤进行说明。

图3、图4是以A-A’剖视图来示出气动液压式缸1的装配步骤的附图。

并且，以下的装配步骤(a)～(f)与图3的(a)～(c)和图4的(d)～(f)对应。

(a)最初，将设置有密封部件25的空压供给部20的空压供给杆22贯穿插入外缸10的贯通孔13中。

在使外缸盖12和盖21抵接的状态下，如图1的(a)所示，利用多个螺栓26从盖21侧固定外缸10和空压供给部20。

(b)接下来，将空压供给杆22从其末端侧贯穿插入螺旋弹簧70中，并且贯穿插入设置有内周密封部件32和外周密封部件33的第1活塞30中。

此时，将第1活塞30的引导杆31配置成位于空压供给杆22与螺旋弹簧70之间。

(c)然后，将用于对插入的第1活塞30进行卡定的卡定螺母27螺合于空压供给杆22的末端。

(d)接下来，将空压供给杆22、螺旋弹簧70、第1活塞30、卡定螺母27插入内缸40的内圆筒部41中，直至凸缘42与外缸盖12抵接为止。

然后，通过多个螺栓46从凸缘42侧固定内缸40和外缸10。

(e)接下来，将内缸40的内圆筒部41插入设置有内周密封部件54和外周密封部件55的第2活塞50、以及输出圆筒部51中。

(f)接下来，将输出圆筒部51插入螺旋弹簧71中。

然后，使输出圆筒部51穿过盖60的孔61，如图1的(c)所示，利用4根螺栓63将盖60固定于外缸10。

最后，将油OL从供油孔14注入第2油压室82、连通孔44、第1油压室81中，并通过密封螺钉15进行密封。

并且，关于空压配管接头28，可以在(a)～(f)中的任意一个阶段进行安装。

接下来，对这样构成的气动液压式缸1的动作进行说明。

图5是示出气动液压式缸1的动作前后的状态的A-A’剖视图。

图5的(a)所示的气动液压式缸1是输出圆筒部51位于最靠空压供给部20侧的位置处的状态。在该状态下，如图5的(a)所示，第1活塞30是借助螺旋弹簧70的弹力而与卡定螺母27抵接的状态，第2活塞50处于借助螺旋弹簧71的弹力而最大程度地退避的状态。以下，将气动液压式缸1的各部为该状态(图5的(a)的状态)的位置作为开始位置。

另外，作为配设于气动液压式缸1的内部的工作部件的第1活塞30和第2活塞50分别被配置成以中心轴线C为中心的同轴，且分别在轴向上移动。以下，将中心轴线C上的、第2活塞50从开始位置起进行移动的方向(附图右方向)称作输出方向，并将输出方向的反方向(附图左方向)作为退避方向来进行说明。

当从空压配管接头28供给供给气体AR时，该供给气体AR通过第1空压供给通道23和第2空压供给通道24，气压室80被加压。

在本实施方式中，如上所述，在用于将供给气体AR供给至气压室80的空压供给杆22的径向外侧配置有第1活塞30。即，将空压供给杆22和第1活塞30在径向方向上并列地配置，而不是在中心轴线C方向上串联地排列。

由此，从空压供给杆22对气压室80向输出方向供给供给气体AR，与此相对，来自气压室80的气压针对第1活塞30向退避方向起作用。

因此，当气压室80的空气压力超过螺旋弹簧70的弹力时，第1活塞30借助空气压力一边压缩螺旋弹簧70一边向退避方向移动。

当第1活塞30向退避方向移动时，第1油压室81的容积缩小，由此，第1油压室81、连通孔44和第2油压室82内的油OL被加压。当该被加压的油OL的油压超过螺旋弹簧71的弹力时，第2活塞50借助油压向输出方向移动。

这样，在本实施方式中，由于第1活塞30的第1油压室81侧的面和第2活塞50的第2油压室82侧的面形成为朝向同一方向，因此，第2活塞50向与第1活塞30的移动方向相反的方向移动。

在本实施方式中，如上所述，第2活塞50的投影面积S2大于第1活塞30的投影面积S1(S1＜S2)，因此第2活塞50受到了被放大为S2/S1倍的输出方向的油压。

另外，如上所述，第2活塞50被配置于第1活塞30的径向外侧。即，将第1活塞30和第2活塞50在径向方向上并列地配置，而不是在中心轴线C方向上串联地排列。

由此，与由于来自气压室80的空气压力而向退避方向移动的第1活塞30相对，第2活塞50向反方向移动，即，借助来自第2油压室82的被放大了的油压向输出方向移动，并从输出圆筒部51输出大推力。

图5的(b)示出了第1活塞30受到来自气压室80的空气压力而最大限度地移动至退避方向(移动至最大冲程幅度)的状态。

当第1活塞30移动最大冲程幅度(空压冲程)的量时，螺旋弹簧70收缩，第1油压室81的容积变得最小，相应地，油OL从连通孔44移动至第2油压室82。

如上所述，由于投影面积关系为S1＜S2，因此，如图5的(b)所示，与第1活塞30移动空压冲程的量相对应，第2活塞50和输出圆筒部51移动了油压冲程的量。该状态下的输出圆筒部51末端的板状部向输出方向输出基于被放大的油压的大推力。

接下来，对第2活塞50退避时的动作进行说明。

在图5的(b)的状态下，当从空压配管接头28供给的供给气体AR的压力降低时，第1活塞30借助被压缩的螺旋弹簧70向卡定螺母27方向(输出方向)移动。

随着第1活塞30移动，第1油压室81的容积增大，油压室整体的油压也降低。由此，第2活塞50借助被压缩的螺旋弹簧71向退避方向移动。

然后，当第1活塞30与卡定螺母27抵接而返回至开始位置时，第2活塞50也返回至开始位置。

这样，在本实施方式中，在从图5的(b)的状态返回至图5的(a)的状态的退避动作中，第1活塞30和第2活塞50分别借助被压缩的螺旋弹簧70、71的弹力返回至开始位置。

接下来，对气动液压式缸1的第2实施方式进行说明。

在所说明的第1实施方式中，对所谓的单动型的气动液压式缸1进行了说明，即，对下述情况进行了说明：对于作用于第1活塞30的供给气体AR的路径，设置有输出用的1个系统，且在第1活塞30的退避中使用螺旋弹簧70。

与此相对，在第2实施方式的气动液压式缸1中，是所谓的双动型的气动液压式缸1，作为作用于第1活塞30的供给气体AR的路径，设置有输出用和退避用的两个系统。

图6是示出第2实施方式的气动液压式缸的整体结构的剖视图。

并且，在图6中，对于与第1实施方式相同的部位，标记相同的标号并适当地省略其说明，以下，以不同的部分为中心进行说明。

另外，在图6中，为了容易与第1实施方式进行对比，不是示出A-A截面，而是示出了A-A’截面。因此，存在于A-A’线上的返回移动用的供给气体AR系统(第3空压供给通道94～第5空压供给通道96)没有出现在该截面上，因此应该以虚线表示，但由于附图难以观察，因此为了方便而以实线表示。

对于空压配管接头28和空压配管接头98，与第1实施方式相同地将它们从截面的对象除去后进行示出。

在本实施方式中，除了用于使第1活塞30向退避方向(附图左侧)移动的气压室80a之外，还在气压室80a的相反侧设置有用于使第1活塞30向输出方向移动的气压室80b。

气压室80a作为在往复动作中使第1活塞30向退避方向且使第2活塞50向输出方向移动的前进移动用的气压室发挥功能，气压室80b作为返回移动用的气压室发挥功能。

在本实施方式中，由于设置有返回移动用的供给气体AR系统和气压室80b，因此没有配设第1实施方式中的螺旋弹簧70。

为了形成气压室80b，本实施方式的第1活塞30的引导杆31的内径形成得比空压供给杆22的外径大。由此，在第1活塞30的与气压室80a相反的一侧的面中，除了构成第1油压室81的面之外，还形成有与气压室80b抵接的面。

另外，以其一端与空压供给部20的盖21抵接的状态配设有中间圆筒90，该中间圆筒90具备与引导杆31的内径相同的外径，且其端部的一部分的外周面与引导杆31的末端侧内周面抵接。

在中间圆筒90的一端侧内周面上螺刻有内螺纹，该内螺纹与在空压供给杆22的盖21侧的外周上螺刻的外螺纹螺合在一起。

中间圆筒90的从另一端侧至内螺纹为止的内径形成得比空压供给杆22大，由此在与空压供给杆22之间遍及整周地形成有间隙91。供给气体AR被从后述的第5空压供给通道96经由该间隙91供给至气压室80b。

在中间圆筒90的外周面与引导杆31的内周面的对置面上，在遍及整周地形成于中间圆筒90的外周面侧的槽内配设有密封部件93。密封部件93防止气压室80b的供给气体AR和第1油压室81的油OL向对方的那一侧流出。

另外，在中间圆筒90的外周面与外缸盖12的贯通孔13的内周面相对置的对置面上，在遍及整周地形成于中间圆筒90侧的槽内配设有密封部件92，防止了第1油压室81内的油OL流出到外部。该密封部件92对应于第1实施方式的密封部件25。

在本实施方式中，作为向气压室80b供给返回移动用的供给气体AR的系统，在空压供给部20中新形成有第3空压供给通道94、第4空压供给通道95以及第5空压供给通道96。

即，在盖21上，从其侧端面(厚度面)朝向中心轴线C形成有第3空压供给通道94，与该第3空压供给通道94连续的第4空压供给通道95沿着中心轴线C方向形成于空压供给杆22中。第4空压供给通道95从盖21侧起，形成至形成气压室80b的空压供给杆22与中间圆筒90之间的间隙91的位置为止。在该第4空压供给通道95中，为了堵塞盖21侧的敞开部分，螺合有塞子97。

而且，在空压供给杆22中，从其外周面起，形成有与第4空压供给通道95的末端部连续的第5空压供给通道96。

并且，第1实施方式中的第2空压供给通道24形成在中心轴线C上，但在本实施方式中，由于需要在空压供给杆22中形成去路用和回路用这两个系统，因此，第2空压供给通道24和第4空压供给通道95以不互相干涉的方式形成于中心轴线C的外侧。

在空压供给部20的盖21的周面上，与空压配管接头28相同地以与第3空压供给通道94连续的方式安装有空压配管接头98。返回移动用的供给气体AR被从该空压配管接头98供给，且穿过第3空压供给通道94、第4空压供给通道95、第5空压供给通道96而从空压供给杆22的周面供给至气压室80b。

接下来，对第2实施方式的气动液压式缸1的装配步骤进行说明。

图7通过A-A’剖视图示出了气动液压式缸1的装配步骤的一部分。

并且，以下的装配步骤(a)～(c)对应于图7的(a)～(c)。

(a)首先，将设置有密封部件92、93的中间圆筒90螺合于外缸10的空压供给杆22，直至与盖21抵接。

(b)接下来，将中间圆筒90贯穿插入外缸10的贯通孔13中。

在使外缸盖12和盖21抵接的状态下，利用多个螺栓26从盖21侧固定外缸10和空压供给部20。

(c)接下来，将空压供给杆22贯穿插入设置有内周密封部件32和外周密封部件33的第1活塞30中，直至中间圆筒90进入引导杆31内为止。

然后，将用于对插入的第1活塞30进行卡定的卡定螺母27螺合于空压供给杆22的末端。

以下，虽然未图示，但与图4所示的第1实施方式中的装配步骤(d)～(f)相同地进行装配。

即，执行(d)内缸40的设置、(e)第2活塞50与输出圆筒部51的设置、(f)盖60的设置、空压配管接头28、98的设置、以及油OL的注入和密封。

接下来，对这样构成的双动型的气动液压式缸1的动作进行说明。

图8是示出双动型的气动液压式缸1的动作前后的状态的A-A’剖视图。

在使第1活塞30向退避方向前进的情况下，在图8的(a)的开始状态下，将供给气体AR从空压配管接头28经由第1空压供给通道23和第2空压供给通道24供给至气压室80a。此时，使气压室80b内的供给气体AR经由第5空压供给通道96、第4空压供给通道95、第3空压供给通道94从空压配管接头98流出到外部。

这样，当供给气体AR被供给至气压室80a时，第1活塞30被气压室80a的供给气体AR压推压而向退避方向移动，使得第1油压室81的容积缩小。

通过使第1油压室81的容积缩小，由此，与在第1实施方式中说明的相同，第2油压室82的油压力被放大而使第2活塞50、输出圆筒部51向输出方向移动，成为图8的(b)的状态。

另一方面，在从图8的(b)所示的状态起使第2活塞50、输出圆筒部51退避的情况下，将供给气体AR从空压配管接头98经由第3空压供给通道94、第4空压供给通道95、第5空压供给通道96供给至气压室80b。另外，使气压室80a内的供给气体AR经由第2空压供给通道24、第1空压供给通道23从空压配管接头28流出至外部。

当供给气体AR被供给至气压室80b内时，由于该供给压力，使得气压室80b侧的压力变得比气压室80a侧高，从而使第1活塞30向输出方向(附图右侧)移动，第2油压室82的容积恢复至原来的大小，第2活塞50和输出圆筒部51也由于油压下降而返回到开始位置。

接下来，对第3实施方式进行说明。

在第1实施方式中，针对利用螺栓46从凸缘42侧固定外缸盖12和凸缘42的情况进行了说明，在本实施方式中，从外缸盖12侧进行固定。

图9示出了第3实施方式中的气动液压式缸1的侧视图和A-A’剖视图。

在该实施方式中，如图9的(b)所示，利用多个螺栓17从外缸盖12侧固定外缸盖12和凸缘42。

为了实现该螺栓17的固定，在空压供给部20的盖21上，在与各螺栓17对应的位置处形成有贯通孔29。

如图9的(a)所示，在本实施方式中，使螺栓17、和用于固定空压供给部20的盖21和外缸盖12的螺栓26分别为3根，且如图9的(a)所示那样分别使同心圆上的3个点的相位偏移来配设这些螺栓。这是为了使螺栓17和螺栓26、以及螺栓17、26和第1空压供给通道23处于不互相干涉的位置。

并且，在本实施方式中，由于贯通外缸盖12从盖21侧进行螺栓17的固定，因此，在各螺栓17上配设有密封部件18，以免第1油压室81的油OL流出。

作为装配本实施方式的气动液压式缸1的步骤，在图4的(d)所示的工序中，首先，将螺栓18预先设置于在外缸盖12上形成的凹部中。然后，将空压供给杆22等贯穿插入内缸40的内圆筒部41中，在外缸盖12和凸缘42抵接的状态下从外缸盖12、盖21侧通过螺栓17进行固定。其它的前后的工序与第1实施方式相同。

根据本实施方式，与从外筒部11与内圆筒部41之间固定螺栓46的情况相比，存在区域的裕量，因此，能够使螺栓26和螺栓17为同一规格。

并且，作为第3实施方式，以下述情况为例进行了说明：变更了第1实施方式的单动式的气动液压式缸1中的、对外缸盖12和凸缘42进行固定的螺栓的朝向，但是，对于第2实施方式的双动型的气动液压式缸1，也能够同样地应用。

并且，在将第3实施方式应用于双动型的气动液压式缸1的情况下，将第3空压供给通道94和空压配管接头98的配置位置变更为不与两种螺栓17、26发生干涉的位置。或者，将两种螺栓17、26的位置变更为与第3实施方式不同的位置。

根据以上说明的各实施方式，能够缩短气动液压式缸1的全长。

即，在以往的气动液压式缸1中，由于2种流体室串联地构成、或者构成为向相同的方向动作，因此，2种流体室的冲程长度相加而决定了缸整体的长度，与此相对，由于将2种流体室相对于中心轴线C在径向方向上并列地配置，因此，没有变成各流体室的冲程的相加，能够缩短缸的全长。

另外，由于构成为使2种流体室的活塞动作方向相反，因此，能够容易地在径向方向上进行各流体室的配置，从而能够缩短缸的全长。

并且，本发明的技术范围并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内添加各种变更。

例如，在上述的实施方式中，且在本实施方式中，针对下述情况进行了说明：分别形成外缸10和空压供给部20，且通过螺栓26将两者固定。

与此相对，也可以使外缸10和空压供给部20形成为一体。这种情况下，不需要外缸盖12、密封部件25以及螺栓26，外筒部11从盖21起以与空压供给杆22在同一方向上外延的方式一体地形成。

通过使外缸10和空压供给部20形成为一体，由此，与外缸盖12对应的厚度变得没有必要，因此，后述的装配工序变短，且能够进一步缩短长度方向(中心轴线C方向)的长度。

另外，在所说明的实施方式中，对填充于第1油压室81、连通孔44、第2油压室82中的内部流体为油OL的情况进行了说明，但是，作为进行填充的流体，并不限于油OL，只要是流体即可，但非压缩性流体是优选的。通过使用作为非压缩性流体的油，能够防止推力的一部分在流体的压缩中被消耗，因此，能够高效地使第2活塞50、输出圆筒部51产生大推力。

另外，不仅是气压室80，也可以对第1油压室81、连通孔44、第2油压室82填充空气等压缩性流体。这种情况下，也能够实现短的气压缸。

而且，不仅是第1油压室81、连通孔44、第2油压室82，也可以对气压室80填充油OL等非压缩性流体。

另外，在所说明的实施方式中，对下述情况进行了说明：分别使用1个能够供空压供给杆22和引导杆31贯穿插入的大直径的螺旋弹簧70、和能够供输出圆筒部51贯穿插入的大直径的螺旋弹簧71，但是，也可以配设多个外径较小的螺旋弹簧70、71。

这种情况下，将小外径的螺旋弹簧70、71等间隔地配设于在实施方式中所说明的1个螺旋弹簧70、71所配置的圆周上。作为小外径的螺旋弹簧70、71的数量，在本变形例中分别配设6个，但只要分别配设2个以上，则可以是任意个。另外，小外径的螺旋弹簧70和螺旋弹簧71的数量也可以是不同的数量，而不设置为相同的数量。

使小外径的螺旋弹簧70的外径小于引导杆31与内圆筒部41之间的间隔。另外，使小外径的螺旋弹簧71的外径小于输出圆筒部51与外筒部11之间的间隔。

另外，在所说明的实施方式(和上述的变形例)中，对配设螺旋弹簧70和螺旋弹簧71这两者的情况进行了说明，但也可以仅配设它们中的任意一方。

螺旋弹簧70、71担负着使第1活塞30、第2活塞50返回至开始位置的任务。

因此，在例如仅配设有螺旋弹簧70的情况下，当第1活塞30借助螺旋弹簧70向输出方向(图2的右方向)移动时，第1油压室81的油OL增加，第2油压室82的油OL减少。其结果是，第2活塞50与第1活塞30联动地返回至原来的位置(开始位置)。

另一方面，在仅配设有螺旋弹簧71的情况下，当第2活塞50借助螺旋弹簧71向退避方向(图2的左方向)移动时，第2油压室82的油OL减少，流入第1油压室81中而增加。其结果是，第1活塞30与第2活塞50联动地移动，并返回至原来的开始位置。

如在实施方式中所说明的，在配设有螺旋弹簧70、71这两者的情况下，能够快速地进行返回至开始位置的动作。

另一方面，由于输出时的推力被弹力抵消，因此，通过仅配设螺旋弹簧70、71的任意一方，能够减小因抵消所导致的推力的减少量。

例如，在配设于第1活塞30和第2活塞50上的密封部件32、33、54、55所引起的滑动阻力较大的情况下，为了使两个活塞30、50的移动顺畅，能够配设螺旋弹簧70、71这两者，在滑动阻力比较小的情况下，能够配设它们中的任意一方。

接下来，参照图10～图13，对第4实施方式的气动液压式缸1进行说明。

另外，在第2实施方式(图6～图8)中，针对如下的所谓的双动型的气动液压式缸1进行了说明：设置有输出用和退避用这两个系统，来作为作用于第1活塞30的供给气体AR的路径。

并且，在第2实施方式的气动液压式缸1中，对下述情况进行了说明：在第1活塞30上形成有引导杆31，但通过使该引导杆31的内径形成得比空压供给杆22所贯通的第1活塞30的内径大，由此，在引导杆31的内侧，且在与空压供给杆22之间形成气压室80b(作为第3流体室发挥功能)。

该第4实施方式也是双动型的气动液压式缸1，但与第2实施方式不同，使引导杆31的内径形成为与第1活塞30的内径相同，即，形成为与空压供给杆22的直径相同的大小，且在引导杆31的外侧，在与内缸40之间形成气压室80b(作为第3流体室发挥功能)。

由此，能够减小引导杆31的末端在第1油压室81中的投影面积S1。

因此，根据第4实施方式，与第2实施方式相比，针对第1活塞30在气压室80a中的投影面积Sa、和第2活塞50在第2油压室82中的投影面积S2，能够使Sa/S1与S2/S1都增大。即，相对于第1油压室81a的供给气体AR的压力，能够从输出圆筒部51输出更大的输出压力(推力)。

但是，在第2实施方式中，与第4实施方式相比，由于将供给气体AR的往复系统(第2空压供给通道24、第4空压供给通道95等)都收纳于空压供给杆22内，因此，能够使气动液压式缸1的径向大小小型化。

图10是示出第4实施方式中的气动液压式缸1的整体结构的剖视图。在图10中，对于与第1～第3实施方式相同的部位，标记相同的标号并适当地省略其说明，以下，以不同的部分为中心进行说明。

图10与图9的(b)相同地示出了A-A’截面。另外，对于空压配管接头28和空压配管接头98，与其它实施方式相同地将它们从截面的对象除去后进行示出。

在本实施方式中，除了用于使第1活塞30向退避方向(附图左方向)移动的气压室80a之外，还在气压室80a的相反侧设置有用于使第1活塞30向输出方向(附图的右方向)移动的气压室80b。

气压室80a作为在往复动作中使第1活塞30向退避方向且使第2活塞50向输出方向移动的前进移动用的气压室发挥功能，气压室80b作为返回移动用的气压室发挥功能。

在本实施方式中，由于设置有返回移动用的供给气体AR系统和气压室80b，因此没有配设第1实施方式中的螺旋弹簧70。

为了形成气压室80b，本实施方式的第1活塞30形成有供空压供给杆22贯通的贯通孔，与该贯通孔的直径(第1活塞30的内径)相同的内径的引导杆31从第1活塞30朝向退避方向(附图的左方向)形成。

由此，气压室80b形成于引导杆31和内圆筒部41之间的区域中。

该实施方式的内缸40由盖部43和内圆筒部41形成(不存在第2实施方式中的凸缘42)，在内圆筒部41的末端侧的内侧形成有螺纹部73(内螺纹)。

并且，中间筒72代替第2实施方式中的凸缘42，在与外缸盖12抵接的状态下配设于外缸10内。

中间筒72由主体部72a和凸缘部72b构成，且在中心形成有与引导杆31的外径相同的直径的贯通孔，引导杆31被配置成能够沿中心轴线C方向在贯通孔的内侧滑动。

主体部72a在凸缘部72b侧形成有螺纹部73(外螺纹)，该螺纹部73与内圆筒部41螺合在一起。主体部72a的在中心轴线C方向上与凸缘部72b相反的一侧的端面与第1活塞30的端面对置，由此与气压室80b相接。

中间筒72的凸缘部72b的外径形成为与外筒部11的内径相同。

凸缘部72b在其端面(与主体部72a相反的一侧的面)的整体与外缸10的外缸盖12的内侧的面抵接的状态下被固定，外缸盖12被固定于盖21。

即，如图10所示，利用多个螺栓17从外缸盖12侧固定外缸盖12和凸缘部72b。为了实现该螺栓17的固定，在空压供给部20的盖21上，在与各螺栓17对应的位置处形成有贯通孔29。

并且，外缸盖12被螺栓26从盖21侧固定于空压供给部20的盖21上。

在图10的截面中，虽然仅示出了1根，但本实施方式中的螺栓17、和用于固定盖21和外缸盖12的螺栓26分别在至少两处部位被使用，且分别以如下相位进行配设：该相位是在以中心轴线C为中心的圆上大致均等地分割的相位。另外，关于螺栓17和螺栓26的径向方向上的配设位置，可以以不互相发生干涉的方式分别改变它们距中心轴线C的距离。此时的各螺栓的位置被选择为不与第1空压供给通道23和第2空压供给通道24发生干涉的位置。

并且，在本实施方式中，由于以贯通外缸盖12的方式利用螺栓17从盖21侧进行固定，因此，在各螺栓17上配设有密封部件18，以免第1油压室81、第2油压室82的油OL流出。

如上所述，在中间筒72中形成有与引导杆31的外径相同的直径的贯通孔。并且，通过被凸缘部72b处的贯通孔内周面、引导杆31的环状的末端面、空压供给杆22的外周面以及外缸盖12包围的区域，形成了第1油压室81。

另一方面，通过被主体部72a的外周面、凸缘部72b的比主体部72a靠外侧的面、外筒部11的内周面以及第2活塞50包围的区域，形成了第2油压室82。

在第2实施方式中，分别将圆环状(圆圈形状)的第1油压室81和第2油压室82在径向上连通的连通孔44形成于内圆筒部41中(参照图6)。

与此相对，在本实施方式中，如图10所示，将第1油压室81和第2油压室82连通的连通孔44形成于凸缘部72b中。连通孔44以使与第1油压室81相连的径向的通路和与第2油压室82相连的轴向的通路相垂直的方式进行连通。

并且，在本实施方式中，连通孔44形成有2处，但在图10中，由于剖切面的关系，示出了1处连通孔44。但是，连通孔44的数量可以是1个，也可以以3以上的复数来形成。

主体部72a的端面(与凸缘部72b相反的一侧的面)与气压室80b相接。因此，为了避免第1油压室81的油OL在与引导杆31之间穿过并流出到气压室80b中，在形成于主体部72a的贯通孔的内周面侧配设有密封部件77。

另外，内圆筒部41的末端侧的外周面与第2油压室82相接，主体部72a被配设于该内圆筒部41的末端侧的内侧。因此，为了避免第2油压室82的油OL流出到气压室80b中，在主体部72a的外周面配设有密封部件76。

在第2实施方式中，在引导杆31的内侧与空压供给杆22之间形成有气压室80b，因此，使得与气压室80b相连的回路用的系统形成于与去路用的系统相同的空压供给杆22内。因此，第2空压供给通道24(去路用)和第4空压供给通道95(回路用)以不互相干涉的方式形成于比中心轴线C靠外侧的位置处(参照图6)。

与此相对，在第4实施方式中，通过使引导杆31的内周面与空压供给杆22抵接，由此在引导杆31的外侧与内圆筒部41之间形成了气压室80b。由此，能够确保引导杆31与内圆筒部41之间的间隔、即配设于两者之间的主体部72a的径向上的宽度(＝(内圆筒部41的内径-引导杆31的外径)/2)较大。

因此，在本实施方式中，能够使与气压室80b连通的回路用的系统形成为贯通中间筒72，而不是形成在空压供给杆22内。

即，通过在中间筒72的与中心轴线C并行的方向上形成贯通孔74，并在外缸盖12中形成将该贯通孔74与盖21的贯通孔75连通的贯通孔75，由此，形成了第6空压供给通道99。

并且，由于使第6空压供给通道99贯通中间筒72，其中，该中间筒72位于比空压供给杆22靠外侧的位置，因此，形成于盖21的第4空压供给通道95位于比空压供给杆22靠径向外侧的位置处。

另外，在本实施方式中，由于使第6空压供给通道99形成于空压供给杆22的外侧，因此，去路系统用的第2空压供给通道24形成在空压供给杆22的中心轴线C上。

如图10所示，为了防止第6空压供给通道99上的供给气体AR泄漏，在盖21的第4空压供给通道95与外缸盖12的贯通孔75的连接部位配设有密封部件79，在外缸盖12的贯通孔75与中间筒72的贯通孔74的连接部位配设有密封部件78。

并且，在本实施方式中，也配设有螺旋弹簧71，其中，该螺旋弹簧71用于对受到了来自第2油压室82的油压力的第2活塞50施加退避方向(附图左方向)的压力，且在油压变小时使第2活塞50向退避方向返回。

但是，在第1～第3实施方式中，配置有1个大径的螺旋弹簧71，该大径的螺旋弹簧71的内径与输出圆筒部51的外径相同，与此相对，在本实施方式中，等间隔地配设有3处以上的小径的螺旋弹簧71，该小径的螺旋弹簧71的外径和外筒部11与输出圆筒部51之间的宽度大致相同。

用于固定该小径的螺旋弹簧71的凹部形成于第2活塞50和盖60分别对置的位置处。

并且，也可以与第1实施方式等相同地配设1个大径的螺旋弹簧71，来代替配设多个小径的螺旋弹簧71。

接下来，对第4实施方式中的气动液压式缸1的制造方法进行说明。

图11、图12示出了第4实施方式中的气动液压式缸1的装配步骤。

并且，以下的装配步骤(a)～(f)与图11的(a)～(c)和图12的(d)～(f)对应。

(a)首先，将密封部件25设置于空压供给部20的空压供给杆22，并将密封部件79设置于盖21。另外，预先将密封部件78和密封部件18设置于外缸10的外缸盖12。

然后，将空压供给杆22贯穿插入外缸10的贯通孔13中，使外缸盖12和盖21抵接。然后，利用多个螺栓26从盖21侧固定盖21和外缸盖12。由此，外缸10和空压供给部20被固定。

(b)接下来，将密封部件77设置于主体部72a的内周面，将密封部件76设置于主体部72a的外周面。

然后，一边使凸缘部72b的外周面在外筒部11的内周面上滑动，一边将中间筒72插入外缸10内。同时，将贯穿插入于外缸10内的空压供给杆22贯穿插入中间筒72的贯通孔中。

(c)接下来，将内周密封部件32设置于第1活塞30的内周面，将外周密封部件33设置于第1活塞30的外周面。

然后，将空压供给杆22贯穿插入第1活塞30和引导杆31的贯通孔中。此时，引导杆31的末端被配置成在空压供给杆22与中间筒72之间位于比密封部件77靠盖21侧的位置处。

然后，将用于对插入的第1活塞30进行卡定的卡定螺母27螺合于空压供给杆22的末端。

(d)接下来，将第1活塞30和主体部72a贯穿插入内缸40的内圆筒部41中，通过螺纹部73使内圆筒部41和中间筒72螺合在一起而固定。

(e)接下来，将内周密封部件54和外周密封部件55设置于第2活塞50，将内缸40的内圆筒部41及盖部43插入第2活塞50和输出圆筒部51内。

然后，将油OL从供油孔14注入第2油压室82、连通孔44、第1油压室81中，并通过密封螺钉15进行密封。

(f)接下来，使小径的螺旋弹簧71的一端侧进入形成于第2活塞50的多个凹部中，由此设置螺旋弹簧71。

然后，以各螺旋弹簧71的另一端侧进入形成于盖60的各凹部中的方式使输出圆筒部51穿过盖60的孔61，并通过4根螺栓63将盖60固定于外缸10。

并且，关于空压配管接头28，可以在(a)～(f)中的任意一个阶段进行安装。

另外，在本实施方式中，对形成有1处供油孔14的情况进行了说明，但供油孔14也可以有多处。这种情况下，在从某1处的供油孔14注入油时，若不对其它供油孔14装配密封螺钉15而使其敞开，则内部气体容易排出，容易进行注油作业。

接下来，对第4实施方式的气动液压式缸1的动作进行说明。

图13是示出第4实施方式的气动液压式缸1的、与空气压力活塞的移动相伴的各部的移动状态的截面的说明图。

并且，在以下的动作说明中，与其它实施方式的说明相同地从输出圆筒部51的动作方向的观点出发，面向图13将左方向作为退避方向、并将右方向作为输出方向进行说明。

在使第1活塞30向退避方向前进的情况下，在图13的(a)的开始状态下，为了使气压室80b内的供给气体AR能够穿过第3空压供给通道94、第4空压供给通道95、第6空压供给通道99流出到外部，预先使连接于空压配管接头98的未图示的软管的流路末端向大气敞开。

在该状态下，从空压配管接头28供给供给气体AR。该供给气体AR穿过第1空压供给通道23和第2空压供给通道24被供给至气压室80a。

这样，当供给气体AR被供给至气压室80a时，由于气压室80b侧敞开，因此，第1活塞30被气压室80a的供给气体AR压推压而向退避方向移动。

在本实施方式中，与第2实施方式相比，相对于第1活塞30在气压室80a中的投影面积Sa的、引导杆31末端的面积(引导杆31在第1油压室81中的投影面积S1)形成得较小，因此，能够对第1油压室81施加被更大地放大的输入压力。

因此，随着第1活塞30移动，引导杆31也向退避方向移动，由此，较大的输入压力施加于第1油压室81，使得其容积缩小。

通过使第1油压室81的容积缩小，由此，与在第2实施方式中说明的相同，第2油压室82的油压力被放大而使第2活塞50、输出圆筒部51向输出方向移动，成为图13的(b)的状态。

在本实施方式中，由于引导杆31在第1油压室81中的投影面积S1形成得较小，因此，投影面积S2(第2活塞50在第2油压室82中的投影面积S2)与该投影面积S1之比变大，能够从输出圆筒部51输出比第2实施方式更大的推力。

接下来，针对从图13的(b)所示的状态起使第2活塞50、输出圆筒部51退避的情况进行说明。

这种情况下，为了使气压室80a内的供给气体AR成为能够穿过第1空压供给通道23、第2空压供给通道24而流出到外部的状态，使连接于空压配管接头28的未图示的软管的流路末端向大气敞开。

然后，将供给气体AR从空压配管接头98经由第3空压供给通道94、第4空压供给通道95、第6空压供给通道99供给至气压室80b。

当供给气体AR被供给至气压室80b内时，由于该供给压力，使得气压室80b侧的压力变得比气压室80a侧高，从而使第1活塞30向输出方向(附图右侧)移动，第2油压室82的容积恢复至原来的大小，第2活塞50和输出圆筒部51也由于油压下降而返回到开始位置。

根据以上说明的第4实施方式中的双动式的气动液压式缸1，能够获得如下效果。

(1)能够增大投影面积Sa与投影面积S1的面积比，其中，所述投影面积Sa是第1活塞30的端面朝向与空压室80a接触的面中的垂直于中心轴线C方向的垂直面进行投影的投影面积，所述投影面积S1是引导杆31的末端面朝向在第1油压室81中与油OL接触的面中的垂直于中心轴线C方向的垂直面进行投影的投影面积，从而，能够进一步增大针对油压室的输入压力。

(2)另外，能够进一步增大第2活塞50与第2油压室82接触的投影面积S2、和如下这样的投影面积S1的面积比，其中，所述投影面积S1是引导杆31的末端面朝向在第1油压室81中与油OL接触的垂直面进行投影的投影面积，从而，能够进一步增大油压输出。

即，与第2实施方式相比，即使假设使第1油压室81的径向上的宽度(＝(外径-内径)/2)相同，但由于第4实施方式中的内径(外径)较小，因此，能够减小相对于第1油压室81的投影面积S1。

从而，与第2实施方式相比，由于构成为面积比、即投影面积Sa/投影面积S1变大，因此，能够增大通过空气压推压油压室(第1油压室81、第2油压室82、连通孔44)时的力的放大率。

(3)另外，由于构成为投影面积S2/投影面积S1也变大，因此，能够增大油压室内部的推力放大率。

(4)而且，与第2实施方式的情况相比，能够增大第1活塞30的、朝向与气压室80b接触的面中的垂直于中心轴线C方向的垂直面进行投影的投影面积Sb。由此，能够使第1活塞30顺畅地恢复至初始状态的位置。