微型输送装置的制作方法

文档序号:16175203发布日期:2018-12-07 22:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微型输送装置,其特征在于,包括:

一进气板,具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室,该至少一进气孔供导入气体,该至少一汇流排孔的一端连通该至少一进气孔,另一端与该汇流腔室连通,以引导导入该至少一进气孔的气体汇流至该汇流腔室;

一共振片,具有一中空孔洞,对应该进气板的该汇流腔室;

一压电致动器,具有:

一悬浮板,具有介于4mm至8.5mm之间的直径,以及具有一第一表面及一第二表面;

一外框,环绕设置于该悬浮板的周边,且具有一组配表面及一外框底面;

至少一支架,连接设置于该悬浮板与该外框之间,用以提供弹性支撑该悬浮板;以及

一压电元件,贴附于该悬浮板的该第一表面;

其中,该共振片堆叠于该压电致动器的该外框的该组配表面,该进气板堆叠于该共振片,使该压电致动器、该共振片依序对应堆叠设置,且该共振片与该压电致动器之间具有一腔室间距以形成一第一腔室,使该压电致动器受电压驱动时,气体由该进气板的该至少一进气孔导入,经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室,再流经该共振片的该中空孔洞,以进入该第一腔室内,再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输,以持续推出气体。

2.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面形成为非共平面,且使该悬浮板的该第一表面与该共振片之间保持该腔室间距。

3.如权利要求2所述的微型输送装置,其特征在于,该腔室间距由该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间所调整。

4.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该第一表面低于该外框的该组配表面。

5.如权利要求4所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该第二表面低于该外框的该外框底面。

6.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该外框、该至少一支架及该悬浮板呈一盘形结构。

7.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该第一表面具有一凸部,该凸部具有一凸部顶面,该凸部顶面与该外框的该组配表面为非共平面。

8.如权利要求7所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该凸部顶面低于该外框的该组配表面。

9.如权利要求7所述的微型输送装置,其特征在于,该悬浮板的该凸部为一圆形凸起结构,其直径与该悬浮板的直径0.4~0.5倍。

10.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该压电元件是为圆形的形态,其直径小于该悬浮板的直径。

11.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,该微型输送装置更包括至少一绝缘片及一导电片,且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

12.如权利要求1所述的微型输送装置,其特征在于,更包含一集气板,该集气板具有一第一贯穿孔、一第二贯穿孔、一第一卸压腔室、一第一出口腔室以及一基准表面,该第一出口腔室具有一凸部结构,该凸部结构的高度高于该集气板的该基准表面,该第一贯穿孔与该第一卸压腔室相连通,该第二贯穿孔与该第一出口腔室相连通,其中,上述的该集气板、该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应堆叠设置定位,且该共振片与该压电致动器之间的该腔室间距形成该第一腔室,使该压电致动器受驱动时,气体由该进气板的该至少一进气孔导入,经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室,再流经该共振片的该汇流腔室,以进入该第一腔室内,再由该压电致动器的该至少一支架之间的该空隙向下传输至该集气板,以持续推出气体。

13.如权利要求12所述的微型输送装置,其特征在于,该集气板的一表面更具有一集气腔室,且该集气腔室与该第一贯穿孔及该第二贯穿孔相连通。

14.如权利要求12所述的微型输送装置,其特征在于,更包含一微型阀门装置以构成一微型流体控制装置,该微型阀门装置包括:

一阀门片,具有一阀孔,位置对应到该集气板的该凸部结构;以及

一出口板,包含一卸压通孔、一出口通孔、一第二卸压腔室、一第二出口腔室以及一基准表面,该基准表面凹设该第二卸压腔室及该第二出口腔室,该卸压通孔设在该第二卸压腔室的中心部位,该卸压通孔端部具有一凸部结构,该凸部结构的高度高于该出口板的该基准表面,该出口通孔与该第二出口腔室相连通,而该第二卸压腔室及该第二出口腔室之间具有一连通流道;

其中,该阀门片及该出口板依序对应堆叠设置并定位在该微型输送装置的该集气板上,该出口板的该卸压通孔对应于该集气板的该第一贯穿孔,该出口板的该第二卸压腔室对应于该集气板的该第一卸压腔室,该出口板的该第二出口腔室对应于该集气板的该第一出口腔室,而该阀门片设置于该集气板及该出口板之间,以阻隔该第一卸压腔室与该第二卸压腔室相连通,且该阀孔位于该第二贯穿孔及该出口通孔之间,得以受气流控制与该集气板的该凸部结构形成远离,而使气体由该微型输送装置导入,再通过该阀孔而由导入该出口通孔内进行集压作业,而该出口通孔的排出气体得以控制该阀门片,使该阀孔与该集气板的该凸部结构抵触而被封闭,并使该排出气体经由该连通流道流进入该第二卸压腔室内,令该阀门片关闭该出口通孔与该第一卸压腔室及该第一出口腔室连通,并促使该阀门片不与该出口板的该凸部结构抵触而打开该卸压通孔,让该排出气体由该卸压通孔流出进行卸压作业。

15.如权利要求14所述的微型输送装置,其特征在于,该微型阀门装置的该出口板包含至少一限位结构,该至少一限位结构设置于该第二卸压腔室内。

16.如权利要求14所述的微型输送装置,其特征在于,微型输送装置的该集气板的该第一卸压腔室及该第一出口腔室形成于所相对的该集气腔室的该基准表面上。

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