技术总结
一种微型输送装置，包括：堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板，其中共振片与压电致动器之间具有腔室间距形成的第一腔室，精确控制腔室间距来确保第一腔室具有足够的空间，使压电致动器受驱动时，气体由进气板导入，经共振片进入第一腔室内，再继续传输，以形成压力梯度流道持续推出气体；并与一微型阀门装置组成一微型流体控制装置。微型阀门装置包括堆叠设置的阀门片以及出口板；当气体自微型流体控制装置传输至微型阀门装置内，因应气体的单向流动而使阀门片的阀孔进行开或关，俾进行集压或卸压。
技术研发人员：莫皓然;黄启峰;韩永隆;郭俊毅
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
技术研发日：2018.05.21
技术公布日：2018.12.07