真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空泵。详细地说，涉及具备由铸件制造、不需要精加工的固定翼的真空泵。
【背景技术】
[0002]在各种真空泵中，为实现高真空的环境而多被使用的有涡轮分子泵和螺纹槽式泵。作为通过使用涡轮分子泵或螺纹槽式泵等真空泵进行排气处理从而内部保持真空的真空装置，有半导体制造装置用的容器、电子显微镜的测定室、表面分析装置、微细加工装置等。实现该高真空的环境的真空泵具备形成外装体的壳体，所述外装体具备吸气口及排气口。并且，在该壳体的内部，收纳有使该真空泵发挥排气功能的构造物。使该排气功能得以发挥的构造物大致由旋转部(转子部)和固定部(定子部)构成，所述旋转部被旋转自如地轴支承，所述固定部被相对于壳体固定。在涡轮分子泵的情况下，旋转部由旋转轴及固定于该旋转轴的旋转体构成，旋转体上多层地配设有被放射状地设置的转子翼(动翼)。此外，在固定部上，相对于转子翼交替地、多层地配设有定子翼(静翼)。此外，设置有用于使旋转轴高速旋转的马达，在旋转轴借助该马达的运转而高速旋转时，通过转子翼和定子翼的相互作用，气体从吸气口被吸进，从排气口被排出。
[0003]专利文献1:日本特开2011-74903号公报。
[0004]专利文献2:日本特开2003-269364号公报。
[0005]专利文献3:日本特开2007-309245号公报。
[0006]在专利文献I中，记载了在涡轮分子泵中通过压铸制作多个分割固定翼的技术。专利文献2及专利文献3记载了用于减少由铸件等制作固定翼的情况下的加工影响的技术。与固定翼间隔件交替地堆叠的固定翼的高度位置被规定。特别是在通过压铸来制造固定翼的情况下，能得到高度方向的精度，但由于侧面上产生的模具(铸件的模具)的对合面的加工是必需的，所以需要实施切削加工。
[0007]近年来，以材料费等制造费的削减和加工费用的削减为目的，如专利文献I所记载的那样，有通过压铸来制造真空泵(涡轮分子泵)的固定翼的情况。图3、图4及图5是用于说明通过以往的压铸来制造的固定翼500的图。如图3所示，在用铸件制造固定翼500的情况下，在具有相当于固定翼500的外周的外缘510及内缘520的上下表面α及侧面β (虚线A内)等与其他部件接触或相对的部分(表面)的部件上，为实现所规定的精度，车削或切削等加工(精加工)是必需的。详细地说，如图4所示，在通过以往的压铸来制造的情况下，为了从被用于压铸的模具中取出产品，设置倾斜角度为大约1° ~5°左右的拔模斜面γ，为了消除该角度使部件的侧面β平整，有必要通过车削或切削等加工削去该拔模斜面γ的角度。拔模斜面γ被用压力加工刀具100加工。在此，如图4所示，在压铸的合模面200被设置于固定翼500的最上部(最上方表面)的情况下，在设置有拔模斜面γ的外缘510被用压力加工刀具100加工时，如B部(图4)所示，有在加工开始处产生裂痕的情况。另一方面，如图5所不，在压铸的合模面200被设置于固定翼500的最下部(最下方表面)的情况下，在设置有拔模斜面γ的外缘510被用压力加工刀具loo加工时(图面上部)，如c部(图面下部)所示，有在加工结束处产生塌边(夂u)的情况。
【发明内容】
[0008]因此，本发明目的是提供一种真空泵，所述真空泵具备由铸件制造、不需要精加工的固定翼。
[0009]为达到上述目的，在技术方案I的本发明中，提供一种真空泵，具备外装体、旋转轴、旋转体、旋转翼、固定翼和气体移送机构，所述外装体形成有吸气口和排气口，所述旋转轴被所述外装体内包且被旋转自如地支承，所述旋转体被固定于所述旋转轴，所述旋转翼被从所述旋转体的外周面放射状地配置，所述固定翼被配置于所述旋转翼之间，所述气体移送机构借助所述旋转翼和所述固定翼的相互作用将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送，所述固定翼被以下述方式制造:铸造时的合模面位于该固定翼的所述吸气口一侧的面和所述排气口一侧的面之间。
[0010]在技术方案2的本发明中，提供一种真空泵，在技术方案I所述的真空泵中，其特征在于，所述固定翼的外周面的形状通过修整压力加工确定。
【附图说明】
[0011]图1是表示涉及本发明的涡轮分子泵的示意结构例的图。
[0012]图2是用于说明涉及本发明的固定翼的合模面的图。
[0013]图3是用于说明涉及本发明的固定翼及现有技术的图。
[0014]图4是用于说明现有技术的图。
[0015]图5是用于说明现有技术的图。
【具体实施方式】
[0016]实施方式的概要
本发明的实施方式的真空泵构成为，固定翼的2个模具的对合面(以后称为合模面)的位置(部位)位于该固定翼的上端和下端之间，所述固定翼配设于该真空泵，所述2个模具在铸造时使用。即，所述真空泵具备固定翼，所述固定翼以下述方式被制造:在真空泵中吸气口一侧设为上、排气口一侧设为下的情况下，铸造时的合模面位于不是固定翼的上端(最上部.最上方表面)或下端(最下部.最下方表面)的部位，所述固定翼配设于真空泵。
[0017]实施方式的详细说明
以下，参照图1、图2及图3对本发明优选的实施方式进行详细说明。另外，在本第I实施方式中，作为真空泵的一例，使用具备涡轮分子泵部(第2气体移送机构)和螺纹槽式泵部(第I气体移送机构)的所谓复合型的涡轮分子泵进行说明。
[0018]图1是表示本发明的实施方式的涡轮分子泵I的示意结构例的图。另外，图1表示涡轮分子泵I的轴线方向的剖视图。形成涡轮分子泵I的外装体的壳体2呈大致圆筒状，与设置于壳体2的下部(排气口 6 —侧)的基部3 —同构成涡轮分子泵I的箱体。并且，该箱体内部收纳有作为使涡轮分子泵I发挥排气功能的构造物的气体移送机构。该气体移送机构大致由旋转部和固定部构成，所述旋转部被旋转自如地轴支承，所述固定部被相对于箱体固定。
[0019]在壳体2的端部上形成有用于将气体向该涡轮分子泵I导入的吸气口 4。此外，在壳体2的吸气口 4 一侧的端面上形成有向外周侧伸出的凸缘部5。此外，在基部3上，形成有用于将气体从该涡轮分子泵I排出的排气口 6。
[0020]旋转部由轴7、转子8、旋转翼9、筒型旋转构件10等构成，所述轴7是转动轴，所述转子8被配设于该轴7，转子8上设置有多个旋转翼9，所述筒型旋转构件10被设置于排气口 6—侧(螺纹槽式泵部)。另外，由轴7及转子8构成转子部。各旋转翼9由桨叶构成，所述桨叶从垂直于轴7的轴线的平面倾斜规定的角度放射状地从轴7伸出。此外，筒型旋转构件10由呈与转子8的旋转轴线同心的圆筒状的圆筒构件构成。
[0021]在轴7的轴线方向中间，设置有用于使轴7高速旋转的马达部20。进而，在轴7的相对于马达部20而言的吸气口 4 一侧及排气口 6 —侧，设置有用于在径向上不接触地支承(轴支承)轴7的径向磁轴承装置30、31，在轴7的下端，设置有用于在轴线方向上不接触地支承轴7的轴向磁轴承装置40。