真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空泵(vacuum pump)。
【背景技术】
[0002]以祸轮分子泵(turbo-molecular pump)为代表的真空泵安装在干刻蚀(dryetching)装置或化学气相沉积(Chemical vapor deposit1n, CVD)装置等的真空室(vacuum chamber)中。祸轮分子泵包括:转子(rotor)，包含转子叶片(rotor blade)与转子圆筒部；定子叶片(stator blade)，与转子叶片相向配置；及螺杆定子(screw stator),在直径方向上与转子圆筒部相向配置。转子以每分钟数万圈高速旋转。通过该转子的旋转，转子叶片与定子叶片协作动作，而且转子圆筒部与螺杆定子协作动作而将真空室内的气体排出，在真空室内形成高真空状态。
[0003]在所述干刻蚀装置或化学气相沉积装置中，使用大流量的处理气体(processgas)进行各种处理的情况增多。在这种使用大流量的处理气体的情况下，也必须保持高真空状态，因此对真空泵期望更高的排气性能。其结果，导致真空泵的级数有变多的倾向。
[0004]另一方面，所述干刻蚀装置或化学气相沉积装置的高度是以使用这些装置进行作业的作业人员容易进行作业的方式设计。真空泵一般安装在这些装置的下方，所以真空泵的高度受这些装置的下表面与设置面之间的距离限制。
[0005]如果为了响应如所述般的对真空泵的要求而欲对真空泵进行设计，则如专利文献I所示，存在排气口配置在与螺杆定子相向的位置的情况。
[0006][【背景技术】文献]
[0007][专利文献]
[0008][专利文献I]日本发明专利第4594689号
【发明内容】
[0009][发明所要解决的问题]
[0010]在所述情况下，转子圆筒部与螺杆定子协作动作来排气的气体的排气口之前的排气路径变窄，排气路径的流导(conductance)变差。其结果，真空泵的排气性能变差。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012](I)第I形态的发明应用于一种真空泵，所述真空泵通过真空排气部而将从吸气口吸入的气体从设置在基座(base)的排气口排出。真空排气部包括:定子；及转子，形成有与定子协作动作而排出气体的转子圆筒部。排气口的至少一部分与定子的外周面相向配置。所述问题通过以下构成来解決。即，在排气口与定子相向的区域，在定子及基座的内周面的至少一者形成有流导增大功能部。
[0013](2)流导增大功能部可设置在定子。定子的外周面的形状是如下形状，即与排气口相向的定子的外周面与基座的内周面的距离，比位于吸气口侧而不与排气口相向的定子的外周面与基座的内周面的距离变大。
[0014](3)在将流导增大功能部设置在定子的真空泵中，定子优选具有锥形(taper)构造，所述锥形构造形成在包含与排气口相向的定子的外周面且直至定子的前端部为止的全周。该锥形构造也可设置在定子的外周面的整个区域。
[0015](4)在将流导增大功能部设置在定子的真空泵中，定子能够以如下方式构成，即包含:大径部，形成在定子的吸气口侧的一端；及小径部，设置在定子的前端侧的另一端；且小径部与排气口相向。
[0016](5)流导增大功能部也可设置在基座的内周面。在该情况下，在基座的内周面上在包含排气口开口的区域的周向的规定角度范围内设置从内周面凹设的槽即可。
[0017](6)在以上各种真空泵中，更优选在与定子的前端部相向的基座的内表面设置环状槽。
[0018](7)此外，在以上各种真空泵中，在排气口整体与定子的外周面相向的情况下，更优选设置所述流导增大功能部。
[0019][发明的效果]
[0020]根据本发明，即便是排气口与螺杆定子相向的真空泵，因在螺杆定子及基座的内周面的至少一者形成有流导增大功能部，因此也可提高排气路径的流导。因此，例如即便必须使泵低高度化，也可抑制真空泵的排气性能变差。
【附图说明】
[0021]图1是表示第I实施方式的涡轮分子泵的图。
[0022]图2是表示比较例的涡轮分子泵的图。
[0023]图3是表示第I实施方式的变形例的涡轮分子泵的图。
[0024]图4是表示第2实施方式的涡轮分子泵的图。
[0025]图5是表示第3实施方式的涡轮分子泵的图。
[0026]图6是表示第4实施方式的涡轮分子泵的图。
[0027]图7 (a)、图 7 (b)、图 7 (C)、图 7 (d)、图 7 (e)、图 7 (f)、图 7 (g)、图 7 (h)、图 7 ⑴、图
7(j)是表示本发明中的螺杆定子的部位与排气口的位置关系的图。
[0028]图8 (a)、图8 (b)、图8 (c)是表示形成螺杆定子的锥形构造、螺杆定子的阶梯部、基座内周面的槽、基座底面的槽的范围的图。
[0029]【主要元件符号说明】
[0030]4:转子
[0031]5:轴
[0032]6:转子轮盘
[0033]8:转子圆筒部
[0034]10:转子组装体
[0035]11:螺杆定子
[0036]IlA:大径部
[0037]Ila:凸缘部
[0038]IlB:小径部
[0039]llb、lld:位置
[0040]11c:前端部
[0041]lle、56a、56b:端部
[0042]Ilf:螺杆定子的外周面的剩余的部分
[0043]Ilg:螺杆定子的外周面的一部分
[0044]15:螺栓
[0045]20:转子叶片
[0046]31:吸气口
[0047]40:马达
[0048]44:定子叶片
[0049]50:基座
[0050]50a、50c:环状槽
[0051]50b:底面
[0052]52:泵壳
[0053]56:排气口
[0054]58:间隔件
[0055]62:上部径向电磁铁
[0056]64:下部径向电磁铁
[0057]66:推力电磁铁
[0058]A、B、C:轴向位置
[0059]R1、R2:区域
[0060]ST:阶梯部
[0061]T1、T2:锥形构造
[0062]sl_s5、sa、sb:距离
[0063]100、200:涡轮分子泵
【具体实施方式】
[0064]对于真空泵，一方面期望其具有高排气性能，另一方面真空泵的高度受到各种限制。即，对真空泵要求针对排气性能的小型化。本发明涉及一种真空泵，所述真空泵可在不降低排气性能的情况下进行小型化，尤其是进行低高度化。
[0065]在对本发明的真空泵进行说明时，以包含涡轮泵部与牵引泵(drag pump)部作为真空排气部的涡轮分子泵为例进行说明。另外，本发明也可应用于不包含涡轮泵部而仅包含牵引泵部作为真空排气部的牵引分子泵(molecular drag pump)等真空泵。
[0066]-第I实施方式-
[0067]图1是表示涡轮分子泵100的概略构成的剖视图。涡轮分子泵100包含涡轮泵部与牵引泵部作为真空排气部。在该涡轮分子泵100的泵壳(casing)52内设置着旋转自由的转子组装体10。转子组装体10包括转子4、轴(shaft) 5及转子轮盘(rotor disk) 60祸轮分子泵100是磁性轴承(magnetic bearing)式的泵，转子组装体10由上部径向电磁铁(radial electromagnet) 62、下部径向电磁铁64及推力电磁铁(thrust electromagnet) 66非接触支撑。
[0068]在转子4上设置着多级转子叶片20及转子圆筒部8。在多级转子叶片20的各级之间分别设置着定子叶片44，通过这些转子叶片20与定子叶片44构成涡轮泵部。在转子圆筒部8的外周侧设置着螺杆定子11，通过这些构件构成牵引泵部。螺杆定子11由铝合金等形成。螺杆定子11经由凸缘(fla