nge)部Ila而利用螺栓(bolt) 15固定在基座50上。
[0069]各定子叶片44隔着间隔件(spacer) 58而配设在基座50上。当泵壳52固定在基座50上时，积层的间隔件58夹在基座50与泵壳52之间而将各定子叶片44定位。
[0070]在基座50上设置着排气口 56，在该排气口 56连接着增压泵(back pump)。转子组装体10 —面通过上部径向电磁铁62、下部径向电磁铁64、推力电磁铁66而磁悬浮，一面通过马达(motor)40高速旋转驱动。由此，从吸气口 31吸入的气体通过涡轮泵部即转子叶片20与定子叶片44协作动作的排气动作、及牵引泵部即转子圆筒部8与螺杆定子11协作动作的排气动作而从排气口 56排出。另外，本实施方式中，排气口 56整体与螺杆定子11的外周面相向配置。
[0071]螺杆定子11与转子圆筒部8协作动作而排出的气体，通过作为主要的排气路径的由螺杆定子11的外周面、基座50的内周面及基座50的底面50b所包围的空间而从排气口56排出。本实施方式中，排气口 56整体与螺杆定子11相向。在螺杆定子11的外周面中从至少与排气口 56相向的区域至前端侧的外周面形成有锥形构造Tl。S卩，螺杆定子11具有锥形构造Tl，所述锥形构造Tl形成在包括与排气口 56相向的螺杆定子11的外周面且直至螺杆定子11的前端部Ilc为止的全周。
[0072]如果详细地进行说明则如下所述。至少在从与排气口 56的吸气口 31侧的端部56a相向的位置Ild至螺杆定子11的前端部Ilc为止的区域的全周形成锥形构造Tl。此处，所谓前端部Ilc是指涡轮分子泵100的旋转轴方向、即转子组装体10的旋转轴方向上的螺杆定子11的前端，该情况在下文也相同。所谓锥形构造Tl是指螺杆定子的直径随着向下游侧连续地变小(即螺杆定子外周与基座内周的距离连续地变大)的形状。锥形构造并不限定于如图1般的直线状的锥形，也可是曲线状(抛物线、指数函数)的锥形。
[0073]通过该锥形构造Tl，螺杆定子11的前端部Ilc的外周面与排气口 56附近的基座50的内周面的距离s2，比螺杆定子11的凸缘部Ila附近的螺杆定子11的外周面与基座50的内周面的距离Si大。
[0074]另外，锥形构造Tl形成在从较与排气口 56的吸气口 31侧的端部56a相向的位置Ild更靠近吸气口 31侧的螺杆定子11的外周面上的位置Ilb至螺杆定子11的前端部Ilc为止。
[0075]请参阅图7(a)更详细地进行说明。在图7(a)中，利用符号A表示将排气口 56的吸气口侧的端部56a投影至螺杆定子11上所得的轴向位置，利用符号B表示将排气口 56的基座50的底面50b侧的端部56b投影至螺杆定子11上所得的轴向位置。此外，利用符号C表示基座50的安装螺杆定子11的面的轴向位置。
[0076]与排气口 56相向的螺杆定子11的外周面的区域Rl是夹在A与B之间的区域。位于较与排气口 56相向的螺杆定子11的外周面的区域Rl更靠近吸气口侧的螺杆定子11的外周面的区域R2是图7(a)的夹在A与C之间的区域。轴向位置A上的螺杆定子11与基座50之间的距离sa是螺杆定子11的区域Rl的外周面与基座50的内周面的距离的最小值。该距离sa比螺杆定子11的区域R2的外周面与基座50的内周面的距离si大。
[0077]另外，在第I实施方式的涡轮分子泵100中，轴向位置B上的螺杆定子11与基座50之间的距离Sb比所述轴向位置A上的螺杆定子11与基座50之间的距离sa大。螺杆定子11的前端部的外周面与基座内周面的所述距离s2为以下的大小关系。
[0078]s2 > sb > sa > Si
[0079]通过如所述般的锥形构造Tl，可使通过螺杆定子11与转子圆筒部8排出的气体到达排气口 56之前的排气路径的气体的流导提高。因此，即便使排气口 56与螺杆定子11相向而使泵低高度化，涡轮分子泵100的排气性能也不会变差。
[0080]根据以如上方式构成的第I实施方式，发挥以下的作用效果。
[0081](I)第I实施方式的涡轮分子泵100是通过真空排气部将从泵壳52的吸气口 31吸入的气体从设置在基座50的排气口 56排出的真空泵。第I实施方式的涡轮分子泵100的真空排气部包含涡轮泵部即涡轮(turbine)排气部、及牵引泵部即螺杆排气部。从吸气口 31吸入的气体被在涡轮泵部抽真空，该气体被在牵引泵部进一步抽真空而排出。从牵引泵部排出的气体通过螺杆定子11的外周面与基座50的内周面之间的排气路径而从排气口56排出至外部。牵引泵部至少包括:螺杆定子11，固定在基座50 ;及转子4，形成有与螺杆定子11协作动作而排出气体的转子圆筒部8。
[0082]此处，对流导增大功能部的概念进行说明。在泵旋转轴方向(图1的图示上下方向)上，位于从排气口 56与螺杆定子11相向的外周面至面向排气路径的基座50的底面50b为止的螺杆定子11的外周面、基座50的内周面面向排气路径，在螺杆定子11的外周面及基座50的内周面中的至少任一者，设置着用来扩展排气路径的流导增大功能部。第I实施方式中的流导增大功能部是设置在螺杆定子11的外周面的锥形构造Tl。在第I实施方式?第4实施方式的涡轮分子泵100均设置着该流导增大功能部。另外，面向排气路径的基座50的底面50b也可如第I实施方式的变形例3所示般设置环状槽而扩展排气路径。
[0083]图2是表示比较例的涡轮分子泵200的图。该涡轮分子泵200 (图2)与本实施方式的涡轮分子泵100(图1)的构成的主要不同点在于螺杆定子11的外周面的形状。如图2所示，在比较例的涡轮分子泵200中，螺杆定子11与排气口 56相向，且螺杆定子11的外周面为同一直径(直筒状)。即，图1所示的距离Si与距离s2相等。在此种构成中存在如下问题，即排气口 56与螺杆定子11之间的排气路径变窄，排气路径的流导降低，从而真空排气性能降低。
[0084]然而，在本实施方式中，在螺杆定子11上形成有锥形构造Tl，因此如所述般，可使通过螺杆定子11与转子圆筒部8排出的气体到达排气口 56之前的排气路径的流导提高。因此，可使涡轮分子泵的排气性能提高。
[0085](2)通过在螺杆定子11上形成锥形构造Tl，相较于图2所示的比较例的涡轮分子泵200的螺杆定子11，可缩小螺杆定子11的体积。当螺杆定子11从转子圆筒部8接收的热量设为固定时，每单位体积的螺杆定子11从转子圆筒部8接收的热量相应于将螺杆定子11设为锥形构造Tl而增加，因此螺杆定子11的温度变高。
[0086]在安装着涡轮分子泵100的真空室中，通过各种处理产生并侵入至泵内的各种物质附着在螺杆定子11表面。根据第I实施方式的涡轮分子泵100，与比较例的涡轮分子泵200相比，螺杆定子11成为高温状态，即，螺杆定子11优选被加热至各种物质的升华温度以上，或者被加热至各种物质的升华温度左右，因此，可抑制在真空室等中产生的物质附着在螺杆定子11的表面。
[0087](3)通过在螺杆定子11形成锥形构造Tl，相较于图2所示的比较例的涡轮分子泵200的螺杆定子11，可缩小螺杆定子11的体积，因此，可降低材料费用。
[0088]另外，如本实施方式所示般，锥形构造Tl优选至少形成在从与排气口 56的吸气口31侧的端部56a相向的位置Ild至前端部Ilc为止的区域、即图7 (a)所示的区域R1。然而，例如即便如图7(b)或图7(d)所示般仅在区域Rl的一部分范围的全周设置锥形构造Tl，与如图2所示的涡轮分子泵200的螺杆定子11般的未设置锥形构造的螺杆定子11相比，排气性能也提高。此外，可抑制物质附着在螺杆定子11的表面，进而，也可降低材料费用。
[0089]-第I实施方式的变形例1-
[0090]存在在泵壳52形成连接吸气口凸缘与泵壳52的直筒部的收缩部。收缩部在如下情况下设置，即真空室的排气口的口径比涡轮分子泵100的泵壳52的直筒部的直径小，必须使涡轮分子泵100的吸气口 31的口径与真空室的排气口的口径一致。一般情况下在收缩部内部不设置排气机构，如果欲在维持排气性能的状态下形成该收缩部，则涡轮分子泵100整体的高度进一步受限制。本发明对包含此种收缩部的涡轮分子泵100也有效。
[0091]-第