一种过滤粉尘杂质用过滤罐的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种杂质过滤装置，特别涉及一种过滤粉尘杂质用过滤罐。
【背景技术】
[0002]随着市场的发展，直拉法重掺杂单晶成为半导体市场上的主流产品，但是此规格单晶硅在生产过程中炉腔内会产生大量气体挥发物和固体粉末杂质，导致真空泵在抽真空过程中将大量杂质带入泵体内，造成泵体损坏，严重影响泵体使用寿命，增加了维修及拆洗频次，大大影响生产效率进而提高了生产成本。而我们以往使用的滤网型过滤罐，罐中滤网的使用时效性不足以满足一炉单晶的生产时间，致使到生产中后期，影响抽空速率和过滤效果，最终影响了广品的品质。
【发明内容】
[0003]鉴于现有技术存在的问题，本实用新型通过在直拉炉和真空泵之间加装过滤罐装置，可有效过滤气体挥发物及粉末杂质，具体技术方案是一种过滤粉尘杂质用过滤罐，包括罐体、罐盖、升降把手、脚轮、进气管、孔板、出气管、排污管、旁通管、旁通阀、排污阀、把手旋转连接装置，其特征在于:罐体底端面固定数个脚轮，罐盖通过升降把手与罐体连接在一起并可升起后通过把手旋转连接装置平移离开罐体，进气管为直角弯管固定于罐体的侧壁上部使其一端在罐体外、一端在罐体内，在罐体内一端管口处固定有孔板，在罐体的侧壁上还固定有出气管，进气管与出气管用旁通管连通，旁通管内固定有旁通阀，罐体底端面固定有排污管，排污管内固定有排污阀，罐体内加注过滤油，孔板与过滤油液面距离为30~50mm。
[0004]本实用新型的有益效果是减少了由于杂质导致的泵体磨损，延长了真空泵使用寿命，减少拆洗次数，降低人工劳动量，降低了生产成本。
【附图说明】
[0005]图1是本实用新型的结构正视图。
[0006]图2是本实用新型的结构俯视图。
【具体实施方式】
[0007]如图1、2所示，一种过滤粉尘杂质用过滤罐，包括罐体1、罐盖2、升降把手3、脚轮4、进气管5、孔板6、出气管7、排污管8、旁通管9、旁通阀10、排污阀11、把手旋转连接装置12，罐体I底端面固定三个脚轮4，罐盖2通过升降把手3与罐体I连接在一起并可升起后通过把手旋转连接装置12平移离开罐体I，进气管5与炉体连接，进气管5为直角弯管焊接于罐体I的侧壁上部使其一端在罐体I外、一端在罐体I内，在罐体I内一端管口处焊接有孔板6，以防止抽空气体的气流造成的过滤油飞溅，在罐体I的侧壁上还焊接有出气管7，进气管5与出气管7用旁通管9连通，可防止因滤油内杂质过多，而造成的油面升高超过孔板6、抽速下降，无法排出杂质时减小对产品品质的影响，旁通管9内固定有旁通阀10，罐体I底端面焊接有排污管8，排污管8内固定有排污11，方便过滤罐的放油清理；罐体I内加注过滤油，孔板6与过滤油液面距离为30~50mm，可更有效的将气体中的杂质包裹在油中，过滤后的气体可延罐体上方与真空泵连接口处抽入泵体内，过滤油完全使用真空泵换下的泵油，废物再利用，降低运行成本，提高泵油价值。
[0008]控制原理
[0009]过滤罐后级真空泵开始工作后，对过滤罐进行抽空，过滤罐内部即成为负压，过滤罐就会对前级进行抽空，随着气体的抽空，挥发物和固体粉末杂质会随气体一起进入过滤罐，打入到过滤罐中的滤油内。由于气体极不容易溶于油，而粉尘颗粒可与油融合形成悬浊液，故通过此步骤后，则达到了挥发物与气体的分离，实现了去除粉尘的目的。
[0010]当滤油内粉尘沉积过多时，液位会上升，达到一定高度时，则会影响过滤罐前级的真空度，此时，便可以进行周期型保养，更换掉过滤罐中的废弃滤油。
【主权项】
1.一种过滤粉尘杂质用过滤罐，包括罐体(I)、罐盖(2)、升降把手(3)、脚轮(4)、进气管(5)、孔板(6)、出气管(7)、排污管(8)、旁通管(9)、旁通阀(10)、排污阀(11)、把手旋转连接装置(12 )，其特征在于:罐体(I)底端面固定数个脚轮(4 )，罐盖(2 )通过升降把手(3 )与罐体(I)连接在一起并可升起后通过把手旋转连接装置(12)平移离开罐体(I )，进气管(5)为直角弯管固定于罐体(I)的侧壁上部使其一端在罐体(I)外、一端在罐体(I)内，在罐体(I)内一端管口处固定有孔板(6)，在罐体(I)的侧壁上还固定有出气管(7)，进气管(5)与出气管(7)用旁通管(9)连通，旁通管(9)内固定有旁通阀(10)，罐体(I)底端面固定有排污管(8 )，排污管(8 )内固定有排污阀(11)，罐体(I)内加注过滤油，孔板(6 )与过滤油液面距离为30~50_。
【专利摘要】本实用新型涉及一种过滤粉尘杂质用过滤罐，包括罐体、罐盖、升降把手、脚轮、进气管、孔板、出气管、排污管、旁通管、旁通阀、排污阀、把手旋转连接装置，罐体底端面固定数个脚轮，罐盖通过升降把手与罐体连接在一起并可升起后通过把手旋转连接装置平移离开罐体，进气管为直角弯管固定于罐体的侧壁上部使其一端在罐体外、一端在罐体内，在罐体内一端管口处固定有孔板，在罐体的侧壁上还固定有出气管，进气管与出气管用旁通管连通，旁通管内固定有旁通阀，罐体底端面固定有排污管，排污管内固定有排污阀，罐体内加注过滤油，孔板与过滤油液面距离为30~50mm，有益效果是延长了真空泵使用寿命，减少拆洗次数，降低人工劳动量，降低了生产成本。
【IPC分类】F04B39-16
【公开号】CN204610201
【申请号】CN201520214034
【发明人】周明月, 刘嘉, 于书瀚, 赵帅, 王林, 郑海峰, 张新波
【申请人】天津市环欧半导体材料技术有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年4月10日