抽真空装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种抽真空装置，属于抽真空技术领域。抽真空装置包括：真空泵、管道、检测组件和阻挡组件，真空泵设置在密闭腔室的外部，且与密闭腔室通过管道连接，检测组件和阻挡组件按照从靠近密闭腔室到远离密闭腔室的顺序设置在管道内，且检测组件与阻挡组件电连接；检测组件用于在有物体通过管道时生成检测信号，并向阻挡组件发送检测信号；阻挡组件用于根据检测信号，对物体进行阻挡。本实用新型解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。本实用新型用于抽真空。
【专利说明】
抽真空装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及抽真空技术领域，特别涉及一种抽真空装置。
【背景技术】
[0002]在显示基板的制造过程中，在基板上涂覆光刻胶(英文:Photoresist;简称:PR)之后，可以将基板设置在密闭腔室(英文= Chamber)内，然后采用抽真空装置对密闭腔室抽真空，使密闭腔室内的压强减小，PR内的部分溶剂析出，以保证形成的PR层厚度的均一性，避免显示基板在显示的过程中出现云纹不良(英文:Mura)。
[0003]相关技术中，抽真空装置通常包括:真空栗和管道。在对密闭腔室抽真空时，通过管道将密闭腔室与真空栗连接，然后通过真空栗对密闭腔室抽真空。
[0004]但是，实际应用中，由于密闭腔室内存在破片，且需要经常进行维护，破片以及对密闭腔室进行维护时采用的维护工具、无尘布等杂物容易通过管道进入真空栗的栗腔室，影响真空栗的运行，因此，抽真空装置运行的稳定性较差。
【实用新型内容】
[0005]为了解决相关技术中的抽真空装置运行的稳定性较差的问题，本实用新型提供一种抽真空装置。所述技术方案如下:
[0006]第一方面，提供一种抽真空装置，所述装置包括:
[0007]真空栗、管道、检测组件和阻挡组件，
[0008]所述真空栗设置在密闭腔室的外部，且与所述密闭腔室通过所述管道连接，所述检测组件和所述阻挡组件按照从靠近所述密闭腔室到远离所述密闭腔室的顺序设置在所述管道内，且所述检测组件与所述阻挡组件电连接；
[0009]所述检测组件用于在有物体通过所述管道时生成检测信号，并向所述阻挡组件发送所述检测信号；
[0010]所述阻挡组件用于根据所述检测信号，对所述物体进行阻挡。
[0011 ] 可选地，所述阻挡组件包括:阀门和阀门电机，
[0012]所述阀门和所述阀门电机都设置在所述管道内，所述检测组件与所述阀门电机电连接，所述阀门电机与所述阀门连接；
[0013]所述检测组件用于向所述阀门电机发送所述检测信号；
[0014]所述阀门电机用于根据所述检测信号，控制所述阀门关闭。
[0015]可选地，所述装置还包括:挡板，
[0016]所述管道位于所述阀门上方的位置设置有开口，所述挡板设置在所述开口所在位置，用于对所述开口进行遮挡，所述挡板与所述管道可拆卸连接。
[0017]可选地，所述挡板的材质为透明玻璃。
[0018]可选地，所述装置还包括:监控设备，
[0019]所述监控设备与所述检测组件电连接；
[0020]所述检测组件还用于向所述监控设备发送所述检测信号；
[0021 ]所述监控设备用于根据所述检测信号执行报警操作。
[0022]可选地，所述监控设备还与所述真空栗电连接；
[0023]所述监控设备还用于在接收到所述检测信号后，向所述真空栗发送关闭信号；
[0024]所述真空栗用于根据所述关闭信号，控制所述真空栗停止运行。
[0025]可选地，所述监控设备还与所述阀门电机电连接；
[0026]所述监控设备还用于向所述阀门电机发送开度调节信号；
[0027]所述阀门电机用于根据所述开度调节信号对所述阀门的开度进行调节。
[0028]可选地，所述管道包括主管道和至少两个分管道，
[0029]每个所述分管道的一端与所述密闭腔室连接，另一端与所述主管道的两端中的第一端连接，所述主管道的第二端与所述真空栗连接；
[0030]所述阻挡组件设置在所述主管道内。
[0031]可选地，所述主管道以及每个所述分管道内都设置有至少一个所述检测组件。
[0032]可选地，所述检测组件包括:光感传感器和镭射传感器中的至少一种。
[0033]第二方面，提供一种抽真空装置，所述装置包括:
[0034]密闭腔室、真空栗、管道、检测组件和阻挡组件，
[0035]所述真空栗设置在所述密闭腔室的外部，且与所述密闭腔室通过所述管道连接，所述检测组件和所述阻挡组件按照从靠近所述密闭腔室到远离所述密闭腔室的顺序设置在所述管道内，且所述检测组件与所述阻挡组件电连接；
[0036]所述检测组件用于在有物体通过所述管道时生成检测信号，并向所述阻挡组件发送所述检测信号；
[0037]所述阻挡组件用于根据所述检测信号，对所述物体进行阻挡。
[0038]本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是:
[0039]本实用新型提供的抽真空装置包括:真空栗、管道、检测组件和阻挡组件，真空栗设置在密闭腔室的外部，且与密闭腔室通过管道连接，检测组件和阻挡组件按照从靠近密闭腔室到远离密闭腔室的顺序设置在管道内，且检测组件与阻挡组件电连接;检测组件用于在有物体通过管道时生成检测信号，并向阻挡组件发送检测信号；阻挡组件用于根据检测信号，对物体进行阻挡。由于检测组件能够在有物体通过管道时生成检测信号，阻挡组件能够根据检测信号，对物体进行阻挡，因此，可以避免物体通过管道进入真空栗的栗腔室，所以，解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。
[0040]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。
【附图说明】
[0041]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0042]图1是相关技术提供的一种抽真空装置的使用场景图；
[0043]图2是本实用新型实施例提供的一种抽真空装置的结构示意图；
[0044]图3是本实用新型实施例提供的另一种抽真空装置的结构示意图；
[0045]图4是本实用新型实施例提供的再一种抽真空装置的结构示意图。
[0046]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
【具体实施方式】
[0047]为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0048]请参考图1，其示出了相关技术提供的一种抽真空装置00的使用场景图，该抽真空装置00可以用于对密闭腔室01进行抽真空，使密闭腔室01内的压强减小，从而使位于该密闭腔室01内的基板(图1中未示出)上的PR溶液的部分溶剂析出，保证在基板上形成的PR层厚度的均一性。
[0049]参见图1，该抽真空装置00包括:真空栗001和管道002。管道002将密闭腔室01与真空栗001连通，可以通过真空栗001对密闭腔室01进行抽真空，使得密闭腔室01内的气体被抽空，密闭腔室01内形成真空环境。
[0050]但是，实际应用中，由于密闭腔室01内存在破片，且需要经常进行维护，破片以及对密闭腔室01进行维护时采用的维护工具、无尘布等杂物容易通过管道002进入真空栗001的栗腔室，影响真空栗001的运行，因此，该抽真空装置00运行的稳定性较差。
[0051]请参考图2，其示出了本实用新型实施例提供的一种抽真空装置02的结构示意图，参见图2，该抽真空装置02可以包括:真空栗021、管道022、检测组件023和阻挡组件024。
[0052]真空栗021设置在密闭腔室(图2中未示出)的外部，且与密闭腔室通过管道022连接，检测组件023和阻挡组件024按照从靠近密闭腔室到远离密闭腔室的顺序设置在管道022内，且检测组件023与阻挡组件024电连接(图2中未示出)。
[0053]检测组件023用于在有物体(图2中未示出)通过管道022时生成检测信号，并向阻挡组件024发送检测信号;阻挡组件024用于根据检测信号，对物体进行阻挡。
[0054]综上所述，本实用新型实施例提供的抽真空装置，由于检测组件能够在有物体通过管道时生成检测信号，阻挡组件能够根据检测信号，对物体进行阻挡，因此，可以避免物体通过管道进入真空栗的栗腔室，所以，解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。
[0055]请参考图3，其示出了本实用新型实施例提供的另一种抽真空装置02的结构示意图，参见图3，该抽真空装置02可以包括:真空栗021、管道022、检测组件023和阻挡组件024。
[0056]真空栗021设置在密闭腔室(图3中未示出)的外部，且与密闭腔室通过管道022连接，检测组件023和阻挡组件024按照从靠近密闭腔室到远离密闭腔室的顺序设置在管道022内，且检测组件023与阻挡组件024电连接(图3中未示出)。
[0057]检测组件023用于在有物体(图3中未示出)通过管道022时生成检测信号，并向阻挡组件024发送检测信号；阻挡组件024用于根据检测信号，对物体进行阻挡。示例地，检测组件023可以检测是否有物体通过管道022，当检测到有物体通过管道022时，生成检测信号，并向阻挡组件024发送检测信号。
[°°58] 可选地，检测组件023可以包括:光感传感器和锡射传感器(英文:laser sensor)中的至少一种。关于光感传感器和镭射传感器检测是否有物体通过管道022的过程可以参考相关技术，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0059]可选地，阻挡组件024可以包括:阀门(图3中未示出)和阀门电机(图3中未示出)。阀门和阀门电机都设置在管道022内，检测组件023与阀门电机电连接，阀门电机与阀门连接。检测组件023用于向阀门电机发送检测信号；阀门电机用于根据检测信号，控制阀门关闭。
[0060]进一步地，该抽真空装置02还包括:挡板025，管道022位于阀门上方的位置设置有开口(图3中未示出)，挡板025设置在开口所在位置，用于对开口进行遮挡，挡板025与管道022可拆卸连接。这样，当阻挡组件024阻挡住物体时，工作人员可以打开该挡板025，通过开口对阻挡组件024阻挡的物体进行清理。
[0061]可选地，挡板025的材质为透明玻璃。这样工作人员可以在不打开挡板025的情况下，就能够对管道022内的物体进行观察。在本实用新型实施例中，透明玻璃的成分以及各个成分所占的比例(按照重量百分比计)可以为:石英砂50?60份，长石2.5?3.5份，白云石8?1份，石灰石8?1份，纯碱17?19份以及小料3.5?4.5份，该透明玻璃的具体制造过程以及组分可参考相关专利(公开号:CN 105217955A)，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0062]需要说明的是，本实用新型实施例是以挡板025的材质为透明玻璃为例进行说明的，实际应用中，挡板025的材质还可以是其他的透明材料，本实用新型实施例对此不作限定。
[0063]进一步地，该抽真空装置02还包括:监控设备(图3中未示出)，该监控设备可以为电脑等，监控设备与检测组件023电连接;检测组件023还用于向监控设备发送检测信号；监控设备用于根据检测信号执行报警操作。示例地，检测组件023生成检测信号后，可以向监控设备发送检测信号，监控设备根据检测信号执行报警操作，比如，监控设备根据检测信号控制监控设备的警示灯闪烁或者发出红色光，再比如，监控设备根据检测信号控制监控设备发出报警声音，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0064]可选地，监控设备还与真空栗021电连接;监控设备还用于在接收到检测信号后，向真空栗021发送关闭信号；真空栗021用于根据关闭信号，控制真空栗021停止运行。示例地，真空栗021可以内置有控制器，监控设备可以与真空栗021的控制器连接，在接收到检测信号后，监控设备向真空栗021的控制器发送关闭信号，使得控制器控制真空栗021停止运行。
[0065]可选地，监控设备还与阀门电机电连接;监控设备还用于向阀门电机发送开度调节信号；阀门电机用于根据开度调节信号对阀门的开度进行调节。示例地，工作人员还可以在监控设备上设置抽真空的气流速度，监控设备根据工作人员设置的气流速度，计算得到相应的阀门开度，然后向阀门电机发送开度调节信号，阀门电机可以通过控制阀门旋转的圈数来对阀门的开度进行调节。
[0066]可选地，管道022包括主管道0221和至少两个分管道0222，每个分管道0222的一端与密闭腔室连接，另一端与主管道0221的两端中的第一端连接，主管道0221的第二端与真空栗021连接;阻挡组件024设置在主管道0221内。
[0067]可选地，如图3所示，主管道0221以及每个分管道0222内都设置有至少一个检测组件023，这样可以提尚检测效率。
[0068]综上所述，本实用新型实施例提供的抽真空装置，由于检测组件能够在有物体通过管道时生成检测信号，阻挡组件能够根据检测信号，对物体进行阻挡，因此，可以避免物体通过管道进入真空栗的栗腔室，所以，解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。
[0069]本实用新型实施例提供的抽真空装置运行的稳定性较高，可以避免由于真空栗停止运行导致的生产线停线，且本实用新型提供的抽真空装置还可以对抽真空的气流速度进行调节，保证了产品的品质。
[0070]本实用新型实施例提供的抽真空装置，可以降低真空栗等设备的维护成本，延长设备的运彳丁时间，提尚广品的广量以及良率。
[0071 ]相关技术中，为了防止物体通过管道进入真空栗的栗腔室，可以在管道内设置滤网，但是，滤网只能阻挡体积较大的物体进入真空栗的栗腔室，体积较小的物体仍然可以进入真空栗的栗腔室，因此，该采用滤网阻挡物体的效果较差，本实用新型实施例提供的抽真空装置，通过采用阀门对物体进行阻挡，无论物体的体积大小，都可以对物体进行阻挡，因此，阻挡物体的效果较好。
[0072]请参考图4，其示出了本实用新型实施例提供的再一种抽真空装置03的结构示意图，参见图4，该抽真空装置03可以包括:密闭腔室031、真空栗032、管道033、检测组件034和阻挡组件035。
[0073]真空栗032设置在密闭腔室031的外部，且与密闭腔室031通过管道033连接，检测组件034和阻挡组件035按照从靠近密闭腔室031到远离密闭腔室031的顺序设置在管道033内，且检测组件034与阻挡组件035电连接(图4中未示出)。
[0074]检测组件034用于在有物体(图4中未示出)通过管道033时生成检测信号，并向阻挡组件035发送检测信号；阻挡组件035用于根据检测信号，对物体进行阻挡。示例地，检测组件034可以检测是否有物体通过管道033，当检测到有物体通过管道033时，生成检测信号，并向阻挡组件035发送检测信号。
[0075]可选地，检测组件034可以包括:光感传感器和镭射传感器中的至少一种。关于光感传感器和镭射传感器检测是否有物体通过管道033的过程可以参考相关技术，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0076]可选地，阻挡组件035包括:阀门(图4中未示出)和阀门电机(图4中未示出)，阀门和阀门电机都设置在管道033内，检测组件034与阀门电机电连接，阀门电机与阀门连接。
[0077]检测组件034用于向阀门电机发送检测信号；阀门电机用于根据检测信号，控制阀门关闭。
[0078]进一步地，该抽真空装置03还包括:挡板036，管道033位于阀门上方的位置设置有开口(图4中未示出)，挡板036设置在开口所在位置，用于对开口进行遮挡，挡板036与管道033可拆卸连接。这样，当阻挡组件035阻挡住物体时，工作人员可以打开该挡板036，通过开口对阻挡组件035阻挡的物体进行清理。
[0079]可选地，挡板的材质为透明玻璃。这样工作人员可以在不打开挡板036的情况下，就能够对管道033内的物体进行观察。在本实用新型实施例中，透明玻璃的成分以及各个成分所占的比例(按照重量百分比计)可以为:石英砂50?60份，长石2.5?3.5份，白云石8?10份，石灰石8?10份，纯碱17?19份以及小料3.5?4.5份，该透明玻璃的具体制造过程以及组分可参考相关专利(公开号:CN105217955A)，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0080]需要说明的是，本实用新型实施例是以挡板025的材质为透明玻璃为例进行说明的，实际应用中，挡板025的材质还可以是其他的透明材料，本实用新型实施例对此不作限定。
[0081]进一步地，该抽真空装置03还包括:监控设备(图4中未示出)，该监控设备可以为电脑等，监控设备与检测组件034电连接。检测组件034还用于向监控设备发送检测信号；监控设备用于根据检测信号执行报警操作。示例地，检测组件034生成检测信号后，可以向监控设备发送检测信号，监控设备根据检测信号执行报警操作，比如，监控设备根据检测信号控制监控设备的警示灯闪烁或者发出红色光，再比如，监控设备根据检测信号控制监控设备发出报警声音，本实用新型实施例在此不再赘述。
[0082]可选地，监控设备还与真空栗032电连接;监控设备还用于在接收到检测信号后，向真空栗032发送关闭信号；真空栗032用于根据关闭信号，控制真空栗032停止运行。示例地，真空栗032可以内置有控制器，监控设备可以与真空栗032的控制器连接，在接收到检测信号后，监控设备向真空栗032的控制器发送关闭信号，使得控制器控制真空栗032停止运行。
[0083]可选地，监控设备还与阀门电机电连接;监控设备还用于向阀门电机发送开度调节信号；阀门电机用于根据开度调节信号对阀门的开度进行调节。示例地，工作人员还可以在监控设备上设置抽真空的气流速度，监控设备根据工作人员设置的气流速度，计算得到相应的阀门开度，然后向阀门电机发送开度调节信号，阀门电机可以通过控制阀门旋转的圈数来对阀门的开度进行调节。
[0084]可选地，管道033包括主管道0331和至少两个分管道0332，每个分管道0332的一端与密闭腔室031连接，另一端与主管道0331的两端中的第一端连接，主管道0331的第二端与真空栗032连接;阻挡组件035设置在主管道0331内。
[0085]可选地，主管道0331以及每个分管道0332内都设置有至少一个检测组件034，这样可以提尚检测效率。
[0086]综上所述，本实用新型实施例提供的抽真空装置，由于检测组件能够在有物体通过管道时生成检测信号，阻挡组件能够根据检测信号，对物体进行阻挡，因此，可以避免物体通过管道进入真空栗的栗腔室，所以，解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。
[0087]本实用新型实施例提供的抽真空装置运行的稳定性较高，可以避免由于真空栗停止运行导致的生产线停线，且本实用新型提供的抽真空装置还可以对抽真空的气流速度进行调节，保证了产品的品质。
[0088]本实用新型实施例提供的抽真空装置，可以降低真空栗等设备的维护成本，延长设备的运彳丁时间，提尚广品的广量以及良率。
[0089]本实用新型实施例提供的抽真空装置运行的稳定性较高，可以避免由于真空栗停止运行导致的生产线停线，且本实用新型提供的抽真空装置还可以对抽真空的气流速度进行调节，保证了产品的品质。
[0090]本实用新型实施例提供的抽真空装置，可以降低真空栗等设备的维护成本，延长设备的运彳丁时间，提尚广品的广量以及良率。
[0091 ]相关技术中，为了防止物体通过管道进入真空栗的栗腔室，可以在管道内设置滤网，但是，滤网只能够阻挡体积较大的物体进入真空栗的栗腔室，体积较小的物体仍然可以进入真空栗的栗腔室，因此，该采用滤网阻挡物体的效果较差，本实用新型实施例提供的抽真空装置，通过采用阀门对物体进行阻挡，无论物体的体积大小，都可以对物体进行阻挡，因此，阻挡物体的效果较好。
[0092]本实用新型中术语“A和B的至少一种”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和B的至少一种，可以表示:单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。
[0093]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种抽真空装置，其特征在于，所述装置包括: 真空栗、管道、检测组件和阻挡组件， 所述真空栗设置在密闭腔室的外部，且与所述密闭腔室通过所述管道连接，所述检测组件和所述阻挡组件按照从靠近所述密闭腔室到远离所述密闭腔室的顺序设置在所述管道内，且所述检测组件与所述阻挡组件电连接； 所述检测组件用于在有物体通过所述管道时生成检测信号，并向所述阻挡组件发送所述检测信号； 所述阻挡组件用于根据所述检测信号，对所述物体进行阻挡。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡组件包括:阀门和阀门电机， 所述阀门和所述阀门电机都设置在所述管道内，所述检测组件与所述阀门电机电连接，所述阀门电机与所述阀门连接； 所述检测组件用于向所述阀门电机发送所述检测信号； 所述阀门电机用于根据所述检测信号，控制所述阀门关闭。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括:挡板， 所述管道位于所述阀门上方的位置设置有开口，所述挡板设置在所述开口所在位置，用于对所述开口进行遮挡，所述挡板与所述管道可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于， 所述挡板的材质为透明玻璃。5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括:监控设备， 所述监控设备与所述检测组件电连接； 所述检测组件还用于向所述监控设备发送所述检测信号； 所述监控设备用于根据所述检测信号执行报警操作。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于， 所述监控设备还与所述真空栗电连接； 所述监控设备还用于在接收到所述检测信号后，向所述真空栗发送关闭信号； 所述真空栗用于根据所述关闭信号，控制所述真空栗停止运行。7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于， 所述监控设备还与所述阀门电机电连接； 所述监控设备还用于向所述阀门电机发送开度调节信号； 所述阀门电机用于根据所述开度调节信号对所述阀门的开度进行调节。8.根据权利要求1至7任一所述的装置，其特征在于，所述管道包括主管道和至少两个分管道， 每个所述分管道的一端与所述密闭腔室连接，另一端与所述主管道的两端中的第一端连接，所述主管道的第二端与所述真空栗连接； 所述阻挡组件设置在所述主管道内。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于， 所述主管道以及每个所述分管道内都设置有至少一个所述检测组件。10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于， 所述检测组件包括:光感传感器和镭射传感器中的至少一种。11.一种抽真空装置，其特征在于，所述装置包括: 密闭腔室、真空栗、管道、检测组件和阻挡组件， 所述真空栗设置在所述密闭腔室的外部，且与所述密闭腔室通过所述管道连接，所述检测组件和所述阻挡组件按照从靠近所述密闭腔室到远离所述密闭腔室的顺序设置在所述管道内，且所述检测组件与所述阻挡组件电连接； 所述检测组件用于在有物体通过所述管道时生成检测信号，并向所述阻挡组件发送所述检测信号； 所述阻挡组件用于根据所述检测信号，对所述物体进行阻挡。
【文档编号】F04B39/00GK205677790SQ201620558727
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月7日 公开号201620558727.6, CN 201620558727, CN 205677790 U, CN 205677790U, CN-U-205677790, CN201620558727, CN201620558727.6, CN205677790 U, CN205677790U
【发明人】冯强, 陈启超, 汪直超, 关永兵, 甄慧慧, 谈太奇
【申请人】重庆京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司