专利名称:一种高真空闸板阀的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种高真空闸板阀，包括：阀体、阀门及动力装置，阀门由连接板、设于连接板上的主板和副板构成，主板底端与连接板固定，副板底端与连接板之间设有支撑弹簧，主板与副板之间通过至少一个铰接轴铰接，动力装置连接于连接板下方；副板上设有与阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体的顶端设有可容纳主板升降的缺口，动力装置推动连接板向上运动至副板的密封圈与阀孔外圈的侧壁紧贴。本实用新型通过主板与副板之间的铰接结构，气缸推动连接板向上运动之后，铰接轴在主、副板间相对转动，产生一个将副板向阀体压紧的力，使阀门紧密贴合在阀体上，达到高真空密封效果。
【专利说明】一种高真空闸板阀
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种闸板阀，尤其涉及一种高真空闸板阀。
【背景技术】
[0002]闸板阀是一种很常用的截断阀，主要用来接通或截断流体或气路系统中的介质，一般不运用于调节介质流量。闸板阀运用的压力、温度及直径范围非常大，尤其运用于中、大直径的管道。例如，闸板阀被广泛应用在MOCVD设备领域中，由于国产MOCVD设备目前仍处于起步成长阶段，工艺和设备制造技术都不完善，不具备完善的功能及大规模产业化生产的能力。国产MOCVD设备涉及的闸板阀存在以下不足和缺陷:
[0003]1、一般平行式闸板阀因结构简单，不能靠自身达到强制密封效果，阀门关闭时，可能还存在反应气体的泄露，闸板阀密封效果差；
[0004]2、闸板阀即使达到了所需密封效果，但阀门开启和关闭运动过程中，阀门与阀座相接触的密封面之间存在相对滑动，容易对密封面造成擦伤，久而久之又反过来影响了密封效果；
[0005]3、闸板阀的结构功能不齐备，不具备产业化生产条件。
[0006]因此，如何设计一种密封效果好、减少密封面擦伤且生产功能完善的高真空闸板阀是业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提出一种能依靠自身结构达到高真空密封效果且阀门启闭过程中密封面间无摩擦碰撞的平行式高真空闸板阀。
[0008]本实用新型采用的技术方案是，设计一种高真空闸板阀，包括:阀体，所述阀体内设有空腔，阀体的前后两侧壁平行并设有阀孔；阀门，所述阀门配合设于阀体的空腔内，阀门由连接板、设于连接板上的主板和副板构成，主板、副板分别与阀体的前、后两侧壁平行，主板底端与连接板固定，副板底端与连接板之间设有支撑弹簧，所述主板与副板之间通过至少一个铰接轴铰接，铰接轴的两端分别横向铰接于主板、副板上，所述铰接轴在垂直面内转动；动力装置，所述动力装置连接于连接板下方；所述副板尺寸大于阀体后侧壁上的阀孔，所述副板上设有与该阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体的顶端设有可容纳主板升降的缺口，所述动力装置推动连接板向上运动至副板的密封圈与所述阀孔外圈的侧壁紧贴。
[0009]所述副板顶面设有副滚轮，所述副滚轮可沿阀体内顶壁前后滚动；所述主板前侧上设有主滚轮，所述主滚轮可沿阀体内前侧壁上下滚动。
[0010]所述阀体顶部一侧设有连通阀体内的氮气吹扫进气口。
[0011]所述主板与副板之间设有两个平行的铰接轴铰接。
[0012]所述动力装置为气缸。
[0013]与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:
[0014]1、通过主板与副板之间的铰接结构，气缸推动连接板向上运动，副板接触到阀体顶端时，主板被继续向阀体缺口上推动，副板与连接板之间的弹簧被压缩，铰接轴在主、副板间相对转动，产生一个将副板向阀体压紧的力，使阀门紧密贴合在阀体上，达到高真空密封效果。
[0015]2、阀门运动时，通过滚轮与阀体接触，从而减少阀门与阀体间的磨损。
[0016]3、增加一个氮气吹扫进气口，保证基片的洁净度。
【附图说明】
[0017]下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中:
[0018]图1是本实用新型的结构示意图；
[0019]图2是阀门关闭的第一阶段示意图；
[0020]图3是图2中A的局部放大图；
[0021]图4是阀门关闭的第二阶段示意图；
[0022]图5是图4中B的局部放大图。
【具体实施方式】
[0023]如图1所示，本实用新型提出的高真空闸板阀，包括:阀体1、阀门及动力装置。
[0024]阀体I内设有空腔，阀体I的前后两侧壁平行并设有阀孔。阀门配合设于阀体的空腔内，阀门由连接板2、设于连接板2上的主板3和副板4构成，主板3、副板4分别与阀体I的前、后两侧壁平行，主板3底端与连接板2固定，副板4底端与连接板2之间设有支撑弹簧，在弹簧的弹力作用下，副板4可以在垂直方向上保持平衡状态。主板3与副板4之间通过至少一个铰接轴5铰接，铰接轴5的两端分别横向铰接于主板3、副板4上，铰接轴5在垂直面内转动。副板4尺寸大于阀体I后侧壁上的阀孔，副板4上设有与该阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体I的顶端设有可容纳主板3升降的缺口 9。动力装置连接于连接板下方。本实施例中，为了增强结构可靠性及铰接轴5对副板4的压力，主板3与副板4之间设有两个平行的铰接轴5铰接。其中，动力装置为气缸10，气缸10推动连接板2向上运动至副板4与阀孔外圈的侧壁紧贴。
[0025]副板4顶面设有副滚轮6，副滚轮6可沿阀体I内顶壁前后滚动。主板3前侧上设有主滚轮7，主滚轮7可沿阀体I内前侧壁上下滚动。高精度滚轮使主板3、副板4在阀门开启和关闭过程中与阀体I间通过滚轮接触，从而避免主板3、副板4与阀体间的磨损。
[0026]阀门关闭运动时，如图2、3所示，第一阶段:在气缸10推力作用下，连接板2带动主、副板做上升运动，然后副板4上的副滚轮6与阀体I内腔顶壁接触，副板4在垂直方向先达到上限位置，副板4向上运动终止。如图4、5所示，第二阶段:主板3在气缸10推力作用下继续做上升运动，向上伸出阀体I顶部的缺口 9，通过主、副板之间铰链轴5的传动作用，铰链轴5转动推开副板4使副板4做出水平运动，使副板4上的密封圈与阀体I紧贴达到密封效果。阀门开启运动为阀门关闭运动的逆过程，主板3先通过气缸10拉力做出下降运动，同时由于铰链轴5的作用，使副板4做出水平运动，脱离阀体I内侧壁，然后主、副板一起做下降运动，阀门开启。
[0027]闸板阀通过副板4与阀体I贴合进行密封，副板4与阀体I进行贴合与分开时的运动为水平方向运动，所以副板4与阀体I密封面之间不存在有刮擦现象。
[0028]再进一步的，阀体I顶部一侧设有连通阀体I内的氮气吹扫进气口 8，在出料通过闸板阀时，对石墨盘上的基片进行充氮气吹扫以保证基片的洁净度，提升闸板阀的实用性能，便于将闸板阀应用在大规模产业化生产中。
[0029]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种高真空闸板阀，其特征在于包括: 阀体，所述阀体内设有空腔，阀体的前后两侧壁平行并设有阀孔； 阀门，所述阀门配合设于阀体的空腔内，阀门由连接板、设于连接板上的主板和副板构成，主板、副板分别与阀体的前、后两侧壁平行，主板底端与连接板固定，副板底端与连接板之间设有支撑弹簧，所述主板与副板之间通过至少一个铰接轴铰接，铰接轴的两端分别横向铰接于主板、副板上，所述铰接轴在垂直面内转动； 动力装置，所述动力装置连接于连接板下方； 所述副板尺寸大于阀体后侧壁上的阀孔，所述副板上设有与该阀孔外圈侧壁配合的密封圈，阀体的顶端设有可容纳主板升降的缺口，所述动力装置推动连接板向上运动至副板的密封圈与所述阀孔外圈的侧壁紧贴。2.如权利要求1所述的高真空闸板阀，其特征在于，所述副板顶面设有副滚轮，所述副滚轮可沿阀体内顶壁前后滚动； 所述主板前侧上设有主滚轮，所述主滚轮可沿阀体内前侧壁上下滚动。3.如权利要求2所述的高真空闸板阀，其特征在于，所述阀体顶部一侧设有连通阀体内的氮气吹扫进气口。4.如权利要求1所述的高真空闸板阀，其特征在于，所述主板与副板之间设有两个平行的铰接轴铰接。5.如权利要求1所述的高真空闸板阀，其特征在于，所述动力装置为气缸。
【文档编号】F16K27-04GK204284503SQ201420704271
【发明者】罗伟斌, 肖岳南, 肖四哲 [申请人]深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司