一种平稳闸板真空开闭装置的制作方法

文档序号:11150711阅读:573来源:国知局
一种平稳闸板真空开闭装置的制造方法

本发明涉及一种闸板阀,尤其是一种应用在高真空系统的闸板阀,特别提供了一种平稳闸板真空开闭装置。



背景技术:

目前,真空闸板阀在真空系统中通常用于传送腔体或缓冲腔体的开启和关闭,并保证在关闭状态下的腔体真空密封,但是现有的真空闸板阀一般直接由驱动杆驱动闸板关闭,然后在闸板上另外施加压力或者通过楔形闸板靠斜面施加压力保证真空密封,而这种方式在较大的腔体上,由于闸板较大,难以保证闸板的平稳运行和垂直度,可能会导致最终密封性能不好,在闸板上另外施加压力增加了设备复杂性,通过楔形闸板靠斜面施加压力由于受斜面安装位置影响可能会影响闸板受力面积和位置,导致闸板受力不好而影响密封性能,另外斜面上可能会存在颗粒污染情况导致闸板密封不平。



技术实现要素:

本发明的目的是为了解决上述存在的密封性能不好、设备复杂等技术问题,特提供了一种平稳闸板真空开闭装置。

本发明提供了一种平稳闸板真空开闭装置,其特征在于:所述的平稳闸板真空开闭装置包括驱动缸支臂(1)、驱动缸(2)、伸缩缸(3)、驱动板(4)、滑块(5)、封头(6)、闸板(7)、导轨(8)、截止板(9)、密封腔(10);

其中:密封腔(10)上设有封头(6),封头(6)一端设有驱动缸支臂(1),驱动缸支臂(1)固定安装驱动缸(2),驱动缸(2)内设伸缩缸(3),伸缩缸(3)头连接安装驱动板(4),驱动板(4)下端面固定安装有滑块(5),滑块(5)与封头(6)上滑动安装的闸板(7)固定连接,封头(6)另一端固定设有截止板(9),截止板(9)固接导轨(8)的一侧,导轨(8)与滑块(5)相适应。

所述的驱动缸(2)为液压缸或是气动缸。

本发明的优点:

本发明所述的平稳闸板真空开闭装置,具有结构简单,闸板运动平稳,密封效果好,应用广泛,结构紧凑,节省空间和成本等特点。

附图说明

下面结合附图及实施方式对本发明作进一步详细的说明:

图1为 本发明的原理示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供了一种平稳闸板真空开闭装置,其特征在于:所述的平稳闸板真空开闭装置包括驱动缸支臂(1)、驱动缸(2)、伸缩缸(3)、驱动板(4)、滑块(5)、封头(6)、闸板(7)、导轨(8)、截止板(9)、密封腔(10);

其中:密封腔(10)上设有封头(6),封头(6)一端设有驱动缸支臂(1),驱动缸支臂(1)固定安装驱动缸(2),驱动缸(2)内设伸缩缸(3),伸缩缸(3)头连接安装驱动板(4),驱动板(4)下端面固定安装有滑块(5),滑块(5)与封头(6)上滑动安装的闸板(7)固定连接,封头(6)另一端固定设有截止板(9),截止板(9)固接导轨(8)的一侧,导轨(8)与滑块(5)相适应。

所述的驱动缸(2)为液压缸。

实施例2

一种平稳闸板真空开闭装置,其特征在于:所述的平稳闸板真空开闭装置包括驱动缸支臂(1)、驱动缸(2)、伸缩缸(3)、驱动板(4)、滑块(5)、封头(6)、闸板(7)、导轨(8)、截止板(9)、密封腔(10);

其中:密封腔(10)上设有封头(6),封头(6)一端设有驱动缸支臂(1),驱动缸支臂(1)固定安装驱动缸(2),驱动缸(2)内设伸缩缸(3),伸缩缸(3)头连接安装驱动板(4),驱动板(4)下端面固定安装有滑块(5),滑块(5)与封头(6)上滑动安装的闸板(7)固定连接,封头(6)另一端固定设有截止板(9),截止板(9)固接导轨(8)的一侧,导轨(8)与滑块(5)相适应。

所述的驱动缸(2)为气动缸。

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