流体装置的制作方法

专利名称：流体装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种构成半导体制造装置的材料气体供给线 等的流体装置，其是将多 个流体机器及配管纵横连接而成的气体面板(gas panel)等的流体装置。而且，本发明涉 及一种构成半导体制造装置中所使用的流体装置等的流体机器固定装置，更详细而言，其 是用以将连接着配管的多个流体机器加以固定的流体机器固定装置。
背景技术：
所谓的法兰接头(flanged joint)是指通过将设置在管的端部的法兰部之间加以 结合而管之间互相连接的部件，作为该法兰接头的一种，众所周知的有如专利文献1所示 的包括结合环的法兰接头，该结合环将外嵌在相向的法兰部且设置在各法兰部的倾斜面朝 径方向按压，利用此时所产生的轴方向的分力而将法兰部之间压接结合，从而将管串联连 接。利用了该结合环的法兰接头的特征为能够尽可能地缩短轴方向的长度。[背景技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2008-286325号公报于是，本发明者等人为了完成本发明，而对于如下构成进行了研究，S卩，在半导体 制造装置的材料气体供给用的具有纵横的流体线(fluid lines)的流体装置中利用此种法 兰接头。该构成如图1所示。如果将此种构成与使用螺钉式管接头(pipe joint)的图2 所示的构成进行比较，则可知通过利用法兰接头能够非常精简地构成。尤其如图1所示，在纵流体线Ll设置着流体机器的构成的情况下，纵方向尺寸根 据流体机器的大小而精简化会受到限制，因此怎样减小横方向的尺寸成为一个重要的问题 点，图1的流体装置与图2的流体装置相比，横方向尺寸更小，就该点而言为一大优点。另外，在图1、图2中，符号Ll表示气体供给线，符号L2表示清洗气体供给线，符 号L3表示出口共用化线，符号11表示质量流量控制器(mass flowcontroller)，符号12、 13表示阀或压力传感器，符号2、2'、2"表示法兰接头，符号2A表示螺钉式管接头，符号4、 4'、4〃表示配管。然而，由于所述法兰接头能够短且牢固地将管之间加以结合，所以存在配管的变 形等极小、尺寸误差的容许范围窄的缺点。该缺点在如图1所示纵横连接着流体线的情况 下变得显著。亦即，在该图1的构成中，假设质量流量控制器或从该质量流量控制器延伸的配 管存在尺寸误差，一条气体供给线中存在长度的一些差异。如果在该状态下将清洗气体供 给线连接于各气体供给线，则连接着出口共用化线的阀间会产生纵方向的位置偏移。然而， 由于无法利用配管的变形等来吸收该位置偏移，所以可能会发生无法形成该出口共用化线 的事态。即便先连接该出口共用化线也会出现相同的情况。对此，在纵横配设着流体线且将这些流体线彼此连接的流体装置中，尽可能地发挥利用了结合环的所述法兰接头的特征，且为了解决该法兰接头的短处即尺寸误差的容许 范围窄且组装时容易产生不协调的缺点，从而实现了本发明。

发明内容
本发明的流 体装置包括包含串联连接的一个或者多个流体机器及配管的纵流体 线、及包含一个或者串联连接的多个配管的横流体线，将所述纵流体线彼此平行配置多条， 并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线并列；所述流体装置的特征 在于使所述横流体线中的一条包括有在邻接的端部设置着法兰部的串联的多个配管、 及结合环，所述结合环外嵌于所述邻接的法兰部且将设置在这些法兰部的倾斜面朝径方向 按压，利用此时所产生的轴方向的分力来将法兰部之间进行压接结合；并列的所述横流体线中的另一条配置于邻接的纵流体线的配管间，且包括配管， 所述配管通过接合管线而连接于这些纵流体线的配管。所述接合管线的配管连接是利用焊接等加以固定接合的，因此存在一旦连接后 便无法卸下的不自由性，但由于使配管长度增大，所以在构造方面能够一定程度发生挠 曲，或者组装时进行调整，由此能够容许配管或流体机器的尺寸误差，也能够确保精简性 (compact)。因此，根据本发明，巧妙地将该接合管线与法兰接头混合在一起，从而在维持法兰 接头的组装或卸下的容易性的同时，利用接合管线的柔软性解决了法兰接头的刚性的缺 点，且至少在横方向上能够精简地构成。为了使接合管线的焊接等的固定接合作业变得容易，优选将所述横流体线中的另 一条设定于最端侧。另一方面，还存在着以下所述的课题。以前，半导体制造装置中所使用的流体装置 构成为将由多个流体机器等串联连接而形成的流体机器群并列状地配置多个，利用连接 单元等而将邻接的流体机器群间加以连接。此时，有将各流体机器经由下段构件而固定于 基板等的方法。作为使用该方法的装置，如专利文献2所示的如下构成的装置已为人所知在细 长的副基板上利用螺钉串联状地安装着多个下段构件，在这些下段构件上利用螺钉串联状 地安装着多个流体机器，流体机器群形成于副基板上，且分别形成着流体机器群的多个副 基板安装于一个主基板上。[专利文献2]日本专利特开2001-245900号公报然而，在所述构成中，为了将各流体机器加以固定，必须利用螺钉逐个安装各流体 机器等，因而零件数及工数增多，耗费时间精力。另一方面，当卸下各流体机器时也同样地 必须逐个卸下各流体机器等的螺固，仍然要耗费时间精力。此外，因各流体机器等的固定及 卸下烦杂，所以流体机器群的追加或变更也变得烦杂。而且，不仅要将各流体机器固定于基板等，而且还必须将流体机器间的配管加以 连接。然而，经由下段构件而固定的流体机器无法移动，为了连接流体机器的配管而调整流 体机器的位置会变得困难。对此，本发明为了解决所述问题，主要的预期课题在于提供一种能够简单地装卸流体机器，能够简单地变更及追加流体机器群，并且为了连接配管而能够调整流体机器的 位置的流体机器固定装置。
亦即，本发明的流体机器固定装置用以将连接着配管的多个流体机器固定于基底 上，其特征在于包括基座构件，由头构件及设置于所述头构件的下方的基座本体而构成， 且安装于所述流体机器的底面的下方；轨道构件，配置在所述基底上，并且形成着上下贯通 的贯通槽；以及施压机构，对所述轨道构件或者所述基座构件朝上下方向施压，所述流体机 器固定装置构成为在使所述头构件插通于所述贯通槽并且使所述基座本体插入至所述轨 道构件与所述基底之间的状态下，如果使所述施压机构动作，则所述轨道构件与所述基座 本体受到挤压而使该基座构件固定，另一方面，如果解除所述施压机构的动作，则该基座构 件能够沿着所述贯通槽而移动。另外，此处的上下方向为了方便起见是指与基底垂直的方 向，将从流体机器起朝向基底的方向设为下方，在使用状态下也可将上下方向颠倒，或者成 为左右方向，或者成为斜方向而使用。这样的话，当解除所述施压机构的动作时，基座构件能够沿着贯通槽而移动，因而 无论为各个流体机器或者连接着配管的多个流体机器整体中的哪一个，均可沿着贯通槽而 移动，且为了连接配管而可调整流体机器的位置。而且，如果使施压机构动作，则可固定基座构件，因此无需逐个利用螺钉来安装各 流体机器等，可简单地安装流体机器。另一方面，当解除施压机构的动作时，可使基座构件 移动，因而也无需逐个卸下各流体机器等的螺固，可使流体机器移动而简单地卸下。因此， 可简单地变更或追加流体机器。所述轨道构件可上下移动地设置着，如果所述施压机构对所述轨道构件朝基底施 压，则所述基座本体可被夹压在所述轨道构件与所述基底之间。在所述轨道构件的多个部位可设置着能够使所述基座本体上下插通的大小的插 通孔，以使该插通孔与所述贯通槽连续。如果这样构成，则能够从插通孔插通基座本体，因 而在安装着未变更的流体机器的状态下，可仅装卸可变更的流体机器。为了使移动更容易，较理想的是所述基座本体包括可在基底上转动的转动体。为了使固定时不易偏移，较理想的是所述基底的表面可弹性变形地构成。[发明的效果]根据本发明，因接合管线的配管连接容许配管等的尺寸误差，所以在维持法兰接 头的组装或卸下的容易性的同时，能够利用接合管线的柔软性来解决法兰接头的刚性的缺 点，且至少横方向上能够精简地构成。而且，根据本发明，能够简单地装卸流体机器，能够简单地变更及追加流体机器 群，并且无论为各个流体机器或者连接着配管的多个流体机器整体中的哪一个，均能够为 了连接配管而调整流体机器的位置。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。


图1是利用法兰接头构成的流体装置的预想构成图。图2是利用螺钉式管接头构成的流体装置的预想构成图。
图3是本发明的第一实施方式的流体装置的构成图。图4是从平面方向观察第一实施方式的法兰接头时的构成图。图5是表示第一实施方式的定位环等的分解立体图。图6是从轴方向观察第一实施 方式的结合环时的构成图。图7是表示该第一实施方式的结合环的打开状态的部分剖面图。图8是第一实施方式的法兰接头的纵剖面图。图9是本发明的另一实施方式的流体装置的构成图。图10(a)、图10(b)是表示本发明的第二实施方式的流体机器固定装置的侧视图。图11 (a) 图11 (c)是表示使用第二实施方式的流体机器固定装置来固定流体机 器的顺序的图。图12(a) 图12(c)是表示使用第二实施方式的流体机器固定装置来更换及追加 流体机器的顺序的图。图13 (a)、图13(b)是表示使用另一实施方式的流体机器固定装置来固定流体机 器的顺序的图。图14 (a)、图14(b)是表示使用又一实施方式的流体机器固定装置来固定流体机 器的顺序的图。图15是表示另外一实施方式的流体机器固定装置的图。图16是表示另外又一实施方式的流体机器固定装置的图。图17是从平面方向观察实施方式中所使用的配管接头时的构成图。图18是表示该实施方式的定位环等的分解立体图。图19(a)、图19(b)是从轴方向观察该实施方式的结合环时的构成图。图20是该实施方式的配管接头的纵剖面图。附图标记2,2'、2〃法兰接头4、4'、4〃配管6焊接型管接头11、12、13、X5流体机器2UX61法兰部21a、X24、X61a突条21b、24al、X24al、X61b 倾斜面21c、X61c前端部分22、X62垫片23、X63定位环24、X31结合环24a有底嵌合槽61,62接合管线100流体装置24UX241环形件242、X242紧固件
Ll纵流体线(气体供给线)L2横流体线(清洗气体供给线)L3横流体线(出口共用化线) XlOO流体装置固定装置Xl基座构件X2、X2'轨道构件X2a轨道构件的下表面X3、X3'施压机构X4配管接头XlO托架构件Xll头构件Xl 2基座本体Xl 3本体X13a被按压面X14脚轮X20贯通槽X21插通孔X22基底X22a基底的表面X23、X32 弹簧X24a嵌合槽X30螺栓
具体实施例方式以下，参照附图来对本发明的第一实施方式进行说明。本实施方式的流体装置100构成半导体制造装置的一部分即气体面板形式的流
体供给装置。气体面板形式的流体供给装置(以下，简称为气体面板)是将多个流体机器平面 地配置且利用配管等将所述多个流体机器间加以连接的装置。此处的气体面板是在其配管 连接的至少一部分使用下述的法兰接头。接着，回到前面，如图3所示，本实施方式的流体装置100包括由平行设置的三条 纵流体线而成的气体供给线Li，设置在这些气体供给线Ll间的两条横流体线，以及此处将 对各气体供给线Ll供给清洗气体的清洗气体供给线L2及各气体供给线Ll的出口一条化 的出口共用化线L3。然后，对各线Ll L3进行说明。气体供给线Ll包括多个流体机器11 13，从各流体机器11 13 —体延伸的配 管4，以及通过将所述配管4之间予以连接而将所述各流体机器11 13串联连接的法兰接 头2。流体机器例如此处表示质量流量控制器11或开闭阀12、压力传感器13，但也可为其他流体控制机器或流体测定机器等。尤其如图4所示，配管4预先将基端连接于各流体机器11 13的进气口(inlet port)或出气口(outlet port)，因此在组装前的状态下配管4的前端部设置着下述法兰部 21。而且，此处各配管4均使用同一直径。法兰接头2如图4 图8所示，包括通过焊接等而一体形成在所述配管4的前端部外周的法兰部21，介于为将配管4之间予以连接而相向的所述法兰部21间的垫片 (gasket) 22，进行所述法兰部21之间的轴对准的定位环(locating ring) 23,以及由将这 些法兰部21进行压接结合的结合构件而成的结合环24。如图4、图8所示，法兰部21成为圆环板状，在其前端面(以下称作相向面)设置 着闭合的圆环状的突条21a。而且，所述法兰部21的背面形成着越前端直径越成扩展倾向 的倾斜面21b，在所述法兰部21的外周面的前端部分21c形成台阶而该前端部分21c的外 径比其他部分更小地构成。如图4、图8所示，垫片22成为其内径与配管4的内径一致、外径与所述法兰部前 端部分21c的外径一致的薄的等厚圆环板状。如图5所示，定位环23成为圆筒状，且使用可弹性变形的金属构成。而且，以无困 难地外嵌于所述法兰部前端部分21c的方式，使该定位环23的内径与所述前端部分21c的
外径一致。如图4、图6 图8所示，结合环24包括相邻之间彼此可旋转地连结的一连串环 形件241，以及用以将两端的环形件241之间加以结合而成为环状的紧固件242。在各环形 件241 (此处为三个)的内周面设置着沿周方向延伸的有底嵌合槽24a。而且，在该嵌合槽 24a的侧面形成着与形成于所述法兰部21的背面的倾斜面21b相对应的倾斜面24al。当利用所述法兰接头2将所述配管4之间加以连接时，首先将所述定位环23的一 端部外嵌于设置在应连接的一个配管4的法兰部前端部分21c。然后以将垫片22及设置在 另一配管4的法兰部前端部分21c按照该顺序从轴方向嵌入于定位环23的另一端部。结 果，使各法兰部21及垫片22、进而各配管4的中心轴保持一致。然后，使未将端部环形件241之间予以连结的打开(open)状态的结合环24旋入 至相向接近的一对法兰部21，将其嵌合槽24a嵌入至法兰部21的外周缘部。而且，通过所 述紧固件242而将该结合环24的端部环形件241之间予以结合并拧紧。由此，结合环24 的内径缩小，嵌合槽24a的侧面倾斜面24al将各法兰部21的背面倾斜面21b朝径方向按 压。此时，产生因所述倾斜面21b而使各法兰部21朝靠近轴方向的方向移动的分力，在该 分力的作用下，法兰部21间的圆环突条21a—边陷入垫片22中一边受到压接，从而使配管 4之间得以气密地连接。如图3所示，清洗气体供给线L2是将所述各气体供给线Ll的流体机器11 13 中的此处将设置在质量流量控制器11的入口侧的阀12间加以连接的构件，且包括从该各 阀12朝横方向一体延伸的配管4'、以及通过将所述配管4'之间加以连接而连接所述阀 12之间的法兰接头2'。配管4'及法兰接头2'的结构与所述气体供给线Ll相同，此处 省略说明。如图3所示，出口共用化线L3是将设置在所述各气体供给线Ll的最出口的配管4 之间加以连接的构件，且包括设置在各配管4间的配管4"、以及用以将配管4及配管4"连接的焊接型管接头6。焊接型管接头6是将配管4、4"嵌入至肘型(elbow type)或T字 型等的接合管线61、62中，且将它们焊接而气密地将管之间予以连结的构件。此处，在一端 的气体供给线Ll使用肘型的接合管线61，在另一气体供给线Ll使用T字型的接合管线62。然而，如果设为此种构成，则因接合管线61、62吸收尺寸误差，所以即便在存在尺 寸误差的情况下，也可利用法兰接头2、2'，将分别纵横地具有多条流体线Ll L3的流体 装置100以更精简且更容易地装卸的方式构成，尤其可进一步缩小横方向尺寸。而且，法兰 接头2、2'即便在狭小的作业空间内也可从径方向容易装卸，从而能够尽可能地缩短轴方 向的长度。另外，本发明并不限于所述实施方式。例如，如图9所示，纵线Ll也可为两条，也可 构成为将该图9所示的流体装置100设为一个单元，而纵横地并列连接多个流体装置100。而且，在连接两条纵流体线的多条并列的横流体线中，也可将利用接合管线的构 成与利用法兰接头的构成混合在一起。亦即，例如在图3所示的有三条以上的纵流体线时， 该图中串联的两条横流体线L2(或者L3)为相同种类，但也可为串联的两条横流体线的其 中一条利用接合管线而另一条利用法兰接头。此外，法兰接头并不限于利用所述实施方式的倾斜面的楔作用，也可为利用螺固 等的其他形式。流体不仅为气体也可为液体，纵流体线或横流体线的条数并不受限制。而且，横流 体线除了可适用于配管或接头之外也可适用于包含流体机器的装置。此外，本发明在不脱 离其主旨的范围内可进行各种变形。以下，参照附图来对本发明的第二实施方式进行说明。本实施方式的流体机器固定装置XlOO是用于例如为了对半导体制造装置供给材 料气体等而将多个流体机器X5以平面形式连接而形成的所谓的气体面板装置，如图10(a) 等所示，包括安装于各流体机器X5的底面的基座构件XI，用以将该基座构件Xl夹入至与 平板状的基底X22之间的轨道构件X2，以及赋予将该轨道构件X2朝下方施压而将所述基 座构件Xl朝基底X22挤压的力的施压机构X3。另外，此处的流体机器X5例如为压力传感器、质量流量控制器、阀等。如果对各部进行说明，则如图10(a)等所示，基座构件Xl包括用以安装于流体机 器X5的底面的托架(bracket)构件X10，从该托架构件XlO的下表面垂下的头构件XII，与 该头构件Xll的下方连续而设置的本体X13，以及由水平旋转自如地安装于该本体X13的下 表面的转动体而成的脚轮(casteiOXH。另外，本体X13及脚轮X14构成本发明技术方案中 的基座本体X12。头构件Xll成为柱状，本体X13成为比该头构件Xll更大直径的圆柱状。亦即，构 成为如下自上方观察，本体X13的外轮廓较头构件Xll更朝外方突出，该突出的上表面部 分作为下述被按压面X13a而被轨道构件X2的下表面X2a所按压。如图10 (a)、图10(b)及图11(a)等所示，轨道构件X2成为可上下移动地配置于基 底X22上的等厚平板状，于本实施方式中，沿着长度方向延伸的等宽直线状的贯通槽X20平 行地形成着多个(此处为三个)。该轨道构件X2上，进而在多个部位(此处在各贯通槽X20 上以5个部位为单位，合计15个部位)与贯通槽X20连续而设置着圆形状的插通孔X21。 贯通槽X20的宽度设定为较本体X13的直径小，比头构件Xll的厚度大，另一方面，插通孔X21的直径的大小为能够使本体X13及脚轮X14上下插通。如图10(a)、图10(b)等所示，施压机构X3例如使贯通轨道构件X2的端部的螺栓 X30螺合于设置在基底X22的螺孔(未图示)，通过拧紧螺栓X30，而如所述般将轨道构件 X2朝下方施压。此外，弹簧X23以套在螺栓X30的方式而外嵌。另外，施压机构X3并不限 于如螺栓X30及螺孔这样的紧固构件，也可使用弹簧等的弹性体等来将轨道构件X2朝下方 施压。另外，在本实施方式中，由弹性板形成基底X22的表面X22a。接着，对使用本实施方式的流体机器固定装置XlOO来固定流体机器X5的顺序加 以说明。首先，处于施压机构X3的动作被解除的状态，亦即松开螺栓X30，在弹簧X23的力 的作用下将轨道构件X2提升至上方的状态。(图11(a))然后，将安装于流体机器X5的底部的基座构件Xl从上而插入至与该流体机器X5 相对应的插通孔X21内。在脚轮X14与基底X22接触的状态下，基座本体X12位于轨道构 件X2与基底X22之间，成为头构件Xll插通于插通孔X21的状态。然后，如图11(b)所示， 使用配管接头X4并利用配管将这些流体机器X5加以连接。对配管及配管接头X4的一例进行说明。尤其如图17所示，配管预先将基端连接 于各流体机器X5的进气口或出气口，在组装前的状态下所述配管的前端部设置着下述法 兰部X61。而且，此处各配管均使用同一直径。

如图17 图20所示，配管接头X4包括通过焊接等而一体形成在所述配管X4的 前端部外周的法兰部X61，介于为了将配管之间予以连接而相向的所述法兰部X61间的垫 片X62，进行所述法兰部X61之间的轴对准的定位环X63，以及由将这些法兰部X61进行压 接结合的结合构件而成的结合环X24。如图18等所示，法兰部X61成为圆环板状，在其前端面(以下称作相向面)设置着 闭合的圆环状的突条X61a。而且，所述法兰部X61的背面形成着越前端直径越成扩展倾向 的倾斜面X61b，在所述法兰部X61的外周面的前端部分X61c形成台阶而该前端部分X61c 的外径比其他部分更小地构成。如图18等所示，垫片X62成为其内径与配管的内径一致、外径与所述法兰部前端 部分X61c的外径一致的薄的等厚圆环板状。如图18等所示，定位环X63成为圆筒状，且使用可弹性变形的金属构成。而且，以 无困难地外嵌于所述法兰部前端部分X61c的方式，使该定位环X63的内径与所述前端部分 X61c的外径一致。如图19 (a)、图19(b)等所示，结合环X24包括相邻之间彼此可旋转地连结的一 连串环形件X241，以及用以将两端的环形件X241之间加以结合而成为环状的紧固件X242。 在各环形件X241(此处为三个)的内周面设置着沿周方向延伸的有底嵌合槽X24a。而且， 在该嵌合槽X24a的侧面形成着与形成于所述法兰部X61的背面的倾斜面X61b相对应的倾 斜面X24al。当利用所述配管接头X4将所述配管之间加以连接时，首先将所述定位环X63的一 端部外嵌于设置在应连接的一个配管的法兰部前端部分X61c。然后，以将垫片X62及设置 在另一配管的法兰部前端部分X61c按照该顺序从轴方向嵌入于定位环X63的另一端部。结 果，使各法兰部X61及垫片X62、进而各配管的中心轴保持一致。
然后，将端部环形件X241之间未连结而成为打开状态的结合环X24旋入至相向 接近的一对法兰部X61，将该结合环X24的嵌合槽X24a嵌入至法兰部X61的外周缘部。而 且，通过所述紧固件X242而将该结合环X24的端部环形件X241之间予以结合并拧紧。由 此，结合环X24的内径缩小，嵌合槽X24a的侧面倾斜面X24al将各法兰部X61的背面倾斜 面X61b朝径方向按压。此时，产生因所述倾斜面X61b而将各法兰部X61朝靠近轴方向的 方向移动的分力，在该分力的作用下，法兰部X61 间的圆环突条X61a—边陷入垫片X62中 一边受到压接，从而配管之间得以气密地连接。另外，于本实施方式中，因对应于流体机器X5的间隔来设定插通孔X21的间隔，所 以先利用配管将流体机器X5连接而形成线，从而可将彼此连接的这些流体机器X5的基座 构件Xl —次插入至插通孔X21。然而，在所述状态下，因基座本体X12位于插通孔X21的正下方，所以在该状态下 会朝上方脱离。对此，如图11(c)及图10(a)所示，以基座本体X12位于贯通槽X20的下方 的方式，一边使脚轮X14转动，一边使流体机器X5沿着贯通槽X20移动。此时，无须使所有 基座本体X12位于贯通槽X20的下方，只要至少一个基座构件Xl位于贯通槽X20的下方即可。在该状态下拧紧螺栓X30，使施压机构X3动作。这样，对抗弹簧X23的力而使轨 道构件X2朝下方移动，贯通槽X20附近的下表面X2a将作为基座本体X12的上表面的被按 压面X13a朝下方挤压。由此，基座本体X12被夹持并固定于轨道构件X2与基底X22之间。 (图 10(b))此时，因基底X22的表面X22a由弹性板而形成，所以基座本体X12的下部难以使 弹性板陷入，从而基座构件Xl得以固定而不会发生偏移。当卸下流体机器X5时，则按照相反的顺序来进行。根据所述构成的流体机器固定装置X100，能够简单地装卸流体机器X5，能够简单 地变更及追加流体机器X5群，并且无论为各个流体机器X5或者连接着配管的多个流体机 器X5整体中的哪一个，均能够为了连接配管而调整流体机器X5的位置。此外，因对应于机器X5的间隔来设定插通孔X21的间隔，所以能够将连接着配管 的多个流体机器X5的基座构件Xl —次插入至插通孔X21，来安装流体机器X5。而且，在更换一个流体机器X5时也能够变得容易。将螺栓X30松开以提起轨道构 件X2，成为流体机器X5可沿贯通槽X20的延伸方向移动的状态，从而将欲更换的流体机器 X5的配管接头X4卸下。然后，如图12 (a)所示，使两相邻的流体机器X5稍微朝外侧移动， 从插通孔X21拔出欲更换的流体机器X5。接着，从该插通孔X21插入另一个流体机器X5，使两相邻的流体机器X5靠近而进 行配管连接。然后，如图12 (b)所示，以基座本体X12位于贯通槽X20的下方的方式，使流 体机器X5沿着贯通槽X20移动，拧紧螺栓X30而将基座本体X12固定。此外，如图12(c)所示，能够同样容易地追加流体机器X5。另外，本发明并不限于所述实施方式。例如，如图13(a)所示，插通孔X21不必仅 为流体机器X5的数量，而且，也可不必对应于流体机器X5的连接间隔。插通孔X21较流体 机器X5少的情况下的安装、卸下方法为如下所述。亦即，首先，松开螺栓X30，在轨道构件 X2被朝上方提升的状态下，如图13(b)所示，将安装在流体机器X5的底部的基座构件Xl从上插入至插通孔X21，并沿着贯 通槽X20移动。接着，如图14(a)所示，将另一流体机器X5 依次插入至插通孔X21，使相邻的流体机器X5靠近而分别进行配管连接。然后，如图14(b) 所示，当以基座本体X12位于贯通槽X20的下方的方式使流体机器X5移动，并拧紧螺栓X30 时，基座构件Xl得到固定。而且，也可不设置插通孔X21。此时，如图15的一例所示，必须使贯通槽X20延伸 至轨道构件X2的端面为止。而且，贯通槽X20不必为彼此平行的多个长方体形状，也能够以多个贯通槽X20连 续的方式正交或者交叉而设置，或者将贯通槽X20设为二字型形状、L字型形状、十字型形 状。轨道构件设为沿上下方向移动，但也可沿斜下方向、斜上方向等而移动。总之，只 要至少沿上下方向移动即可。进而，脚轮也并非为必需，基座本体也可为长方体形状的构件等。无需在所有流体机器的底面安装基座构件，可在多个流体机器的至少一个上安装 基座构件。而且，也可在流体机器上设置一个或者多个基座构件。另外换句话说，在流体机器的连接间隔分别不同的情况下，将一个连接间隔设为 基准连接间隔，针对各流体机器以基准连接间隔为单位来设置一个或者多个基座构件即 可。此外，也可将插通孔以基准连接间隔为单位而等间隔地设置。这样的话，并非从与各流 体机器相对应的插通孔插入或拔出，而是能够将彼此连接的多个流体机器的基座构件一次 插入至插通孔中或一次从插通孔中拔出。在本实施方式中，基座构件是安装于流体机器的各面中的与基底相向的面即底面 上，但也可经由安装于流体机器的侧面或顶面等的各面的托架构件等而安装。可将轨道构件设为并不上下移动，基座本体进行伸缩而夹持并固定于基底与轨道 构件之间。而且，如图16所示，可将轨道构件X2'设为并不沿上下方向移动，包括施压构件 X31及弹簧X32的施压机构X3'将基座构件Xl的托架构件XlO朝上方施压，由此使基座本 体X12与轨道构件X2'被挤压而使基座构件Xl得到固定。此外，本发明也可组合各构成，在不脱离其主旨的范围内进行各种变形。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽 然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人 员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更 动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明 的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方 案的范围内。
权利要求
1.一种流体装置，其特征在于包括包含串联连接的一个或者多个流体机器及配管的 纵流体线、及包含一个或者串联连接的多个配管的横流体线，将所述纵流体线彼此平行配 置多条，并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线并列；所述横流体线中的一条包括有在邻接的端部设置着法兰部的串联的多个配管、以及将 所述邻接的法兰部加以结合的结合构件；并列的所述横流体线中的另一条配置于邻接的纵流体线的配管间，且包括配管，所述 配管通过接合管线而连接于这些纵流体线的配管。
2.根据权利要求1所述的流体装置，其特征在于 所述横流体线中的另一条位于最端侧。
3.一种流体机器固定装置，用以将连接着配管的多个流体机器固定于基底上，其特征 在于包括基座构件，由头构件及设置于所述头构件的下方的基座本体而构成，且安装于所述流 体机器的底面的下方；轨道构件，配置在所述基底上，并且形成着上下贯通的贯通槽；以及 施压机构，对所述轨道构件或者所述基座构件朝上下方向施压， 所述流体机器固定装置构成为在使所述头构件插通于所述贯通槽并且使所述基座本 体插入至所述轨道构件与所述基底之间的状态下，如果使所述施压机构动作，则所述轨道 构件与所述基座本体受到挤压而使该基座构件固定，另一方面，如果解除所述施压机构的 动作，则该基座构件能够沿着所述贯通槽而移动。
4.根据权利要求3所述的流体机器固定装置，其特征在于 所述轨道构件可上下移动地设置着；如果所述施压机构对所述轨道构件朝基底施压，则所述基座本体被夹压在所述轨道构 件与所述基底之间。
5.根据权利要求3所述的流体机器固定装置，其特征在于在所述轨道构件的多个部位设置着能够使所述基座本体上下插通的大小的插通孔，以 使该插通孔与所述贯通槽连续。
6.根据权利要求3所述的流体机器固定装置，其特征在于 所述基座本体包括可在基底上转动的转动体。
7.根据权利要求3所述的流体机器固定装置，其特征在于 所述基底的表面可弹性变形地构成。
8.—种轨道构件，其特征在于为了将连接着配管的多个流体机器固定于基底上，而 与基座构件一并使用，所述基座构件由头构件及设置于所述头构件的下方的基座本体构成 且安装于所述流体机器的底面的下方；所述轨道构件构成为形成着在所述基底上可上下移动地配置并且上下贯通的贯通 槽，在使所述头构件插通于所述贯通槽并且将所述基座本体插入至所述轨道构件与所述基 底之间的状态下，通过赋予所述上下方向的施压力而使所述基座本体受到挤压并得到固 定，另一方面，通过解除所述施压力而使所述基座构件能够沿着贯通槽而在基底上移动。
9.一种基座构件，其特征在于为了将连接着配管的多个流体机器固定于基底上，而 一并使用有在所述基底上形成着可上下移动地配置并且上下贯通的贯通槽的轨道构件、及赋予上下方向的施压力的施压机构；所述基座构件包括头构件及设置于所述头构件的下方的基座本体，并且安装于所述流 体机器的底面的下方；且所述基座构成为在使所述头构件插通于所述贯通槽并且将所述基座本体插入至所述 轨道构件与所述基底之间的状态下，如果使所述施压机构动作，则所述基座本体与所述轨 道构件受到挤压而得到固定，另一方面，如果解除所述施压机构的动作，则所述基座本体能 够沿着贯通槽而在基底上移动。
全文摘要
本发明提供一种流体装置、流体机器固定装置、轨道构件及基座构件。在由纵横的流体线构成的流体装置(100)中，能提高精简性并且确保组装容易性。在将多条纵流体线(L1)彼此平行配置多条、并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线(L2、L3)并列的流体装置(100)中，所述横流体线(L2、L3)中的一条使用结合环(24)的紧固式的法兰接头(2′)来将配管(4′)之间加以连接，并且另一条利用接合管线(61、62)来将配管(4″)之间加以连接。
文档编号F16L23/04GK102080747SQ20101054997
公开日2011年6月1日 申请日期2010年11月16日 优先权日2009年11月30日
发明者大屋和博, 山口裕二, 林达也 申请人:株式会社堀场Stec