专利名称：插板阀的密封结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种夹入电子纸、有机EL、薄膜太阳电池、液晶显示装置的滤色器等的基底材料以及其他片状部件而进行密封的插板阀的密封结构，尤其涉及可以以小型的机械配置来提高插板阀的密封性能的插板阀的密封结构。
背景技术：
图12是将上述的片状部件间歇性地移送至真空腔或密封腔(下面统称为“腔”)中，在停止于该腔内的片状部件的部件表面进行PVD或CVD等加工的例如真空加工装置的概念图。
图12的真空加工装置在通过真空泵抽吸成真空的腔的出入口设置插板阀。该插板阀通过夹入片状部件而封住该部件表面，从而隔开腔内与其外部，使腔内保持真空。关于 具有这种功能、构成的插板阀，已被例如专利文献I (參照该文献I的图2和图3)所公开。
该文献I中公开的插板阀(下面称为“现有的插板阀”)具有使片状部件插入而通过的弹性筒体35、使弾性筒体35在径向发生弹性变形的上下活塞71A、71B(參照该文献的图2和图3)。并且，在该插板阀中，通过上下活塞71A、71B使弾性筒体35向内侧挠曲，用挠 曲的弹性筒体35夹入片状部件10，用弹性筒体35的内表面封住所夹入的片状部件10的部件两面。
但是，在现有的插板阀中，用弾性筒体35夹入片状部件10时，弾性筒体35的上下没有硬度差，片状部件可能发生变形，并且弹性筒体35必须分别与上部活塞71A和下部活塞71B连接，因此在维修等过程中需要更换弹性筒体35吋，更换作业非常费事。并且，用弹性筒体35夹入片状部件10时，弾性筒体35与片状部件10的两端肯定会产生微小间隙，因此用设置在腔的两侧的两个插板阀保持腔内高度真空是困难的。
作为保持腔内的高真空的方法，可以采用除设置在腔的插板阀之外，增设差压排气腔和插板阀以及真空泵而进行差压排气的方法，但这种方法存在因增设部件而导致装置的机械构成大規模化的缺点。
需要说明的是，上述符号是专利文献I中使用的符号。
现有技术文献
专利文献
专利文献I :日本特开2009-30754号公报发明内容
技术问题
本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于提供ー种以小型的设备配置适合获得密封性和维护性良好的插板阀的插板阀密封结构。
技术方案
为了解决上述目的，本发明所提供的夹入片状部件进行密封的插板阀的密封结
全文摘要
本发明提供适合以小型的设备配置得到密封性能良好的插板阀的插板阀的密封结构。夹入片状部件W进行密封的插板阀密封结构GV，包含具有挤推面(1)的挤推部件(2)；具有与挤推面(1)面对的承受面(3)的承受部件(4)；将一端开口到承受面(3)的通道(5)；对通道(5)的开口端周围的间隙进行密封的环状的第一密封件(6)；在将挤推面(1)挤推到承受面(3)的状态下观察时，与第一密封件(6)相邻的第二密封件(7)；将挤推面(1)挤推到承受面(3)时，由该挤推面(1)、承受面(3)、所述第一密封部件(6)和第二密封件(7)以及穿插通道(5)的片状部件W包围的空间(8)；与空间(8)连通的差压排气通道(9)，该空间(8)通过差压排气通道(9)进行排气，由此成为以差压排气对片状部件W周围的微小间隙进行密封的差压排气密封的差压室。
文档编号F16K51/02GK102762905SQ20108006243
公开日2012年10月31日 申请日期2010年2月26日 优先权日2010年2月26日
发明者吉田秀彦 申请人:入江工研株式会社