一种快速密封真空阀阀板结构的制作方法

文档序号:5692359阅读:101来源:国知局
一种快速密封真空阀阀板结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种快速密封真空阀阀板结构,包括有密封动板和密封静板,密封静板安装在真空阀阀箱内,密封静板的四周与真空阀阀箱之间进行真空密封,密封静板上开有一定数量的矩形的导流孔一,密封静板面向密封动板一侧的导流孔一四周为真空密封面;所述的密封动板安装在真空阀阀箱内,并可以在密封静板上左右滑动,密封动板上开有一定数量的矩形的导流孔二,导流孔二的数量与密封静板上导流孔一的数量一致,密封动板面向密封静板一侧的各个导流孔二的一侧中间位置分别开有密封槽,密封槽上安装有密封圈。本发明采用双阀板结构,在实现相同导流孔面积的条件下可以有效降低真空阀阀板移动距离,提高真空阀动作相应时间。
【专利说明】一种快速密封真空阀阀板结构

【技术领域】
[0001]本发明涉及真空密封阀结构领域,具体涉及一种快速密封真空阀阀板结构。

【背景技术】
[0002]真空密封阀一般由阀箱、阀板两部分组成;目前采用的真空密封阀阀板为一块单独结构,真空密封阀采用阀板在阀箱内的运动来实现真空隔断和密封;现行真空密封阀及其密封方法在大通径真空密封阀中会面临阀板运动距离大,行程时间长的缺点,难以满足快速密封的要求。


【发明内容】

[0003]本发明提供了一种快速密封真空阀阀板结构,可有效降低阀板运动距离,提高真空密封阀密封速度。
[0004]本发明采用的技术方案是:
一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:包括有密封动板和密封静板,所述的密封静板安装在真空阀阀箱内,密封静板的四周与真空阀阀箱之间进行真空密封,密封静板上开有一定数量的矩形的导流孔一,密封静板面向密封动板一侧的导流孔一四周为真空密封面;所述的密封动板安装在真空阀阀箱内,并可以在密封静板上左右滑动,密封动板上开有一定数量的矩形的导流孔二,导流孔二的数量与密封静板上导流孔一的数量一致,密封动板面向密封静板一侧的各个导流孔二的一侧中间位置分别开有密封槽,密封槽上安装有密封圈。
[0005]所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上导流孔二的长、宽尺寸比密封静板上导流孔一的长、宽尺寸大。
[0006]所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上两相邻导流孔二间距、密封静板上两相邻导流孔一间距、密封动板上导流孔二与密封圈间距完全相坐寸ο
[0007]所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上密封圈的长、宽尺寸W4、H5比密封静板上导流孔一的长、宽尺寸H1、Wl大。
[0008]所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板通过传动机构在密封静板上左右滑动,当密封动板上导流孔二与密封静板上导流孔一重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板滑动到密封槽与密封静板上导流孔一位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
[0009]所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板和密封静板也可以采用圆形结构,将密封静板和密封动板的导流孔一、二做成环形分布,且关于圆心对称结构,密封动板通过传动机构在密封静板上转动,当密封动板上的导流孔二与密封静板上的导流孔一重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板滑动到密封槽与密封静板上的导流孔一位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
[0010]本发明的有益效果是:
本发明采用双阀板结构,在实现相同导流孔面积的条件下可以有效降低真空阀阀板移动距离,提高真空阀动作相应时间。

【专利附图】

【附图说明】
[0011]图1为本发明的实施例一的密封静板的结构示意图。
[0012]图2为本发明的实施例一的密封动板的结构示意图。
[0013]图3为本发明的实施例二的密封静板的结构示意图。
[0014]图4为本发明的实施例二的密封动板的结构示意图。

【具体实施方式】
[0015]实施例1
如图1、2所示,一种快速密封真空阀阀板结构,包括有密封动板2和密封静板I,密封静板I安装在真空阀阀箱内,密封静板I的四周与真空阀阀箱之间进行真空密封,密封静板I上开有一定数量的矩形的导流孔3,密封静板I面向密封动板2 —侧的导流孔3四周为真空密封面;密封动板2安装在真空阀阀箱内,并可以在密封静板I上左右滑动,密封动板2上开有一定数量的矩形的导流孔4,导流孔4的数量与密封静板I上导流孔3的数量一致,密封动板2面向密封静板I一侧的各个导流孔4的一侧中间位置分别开有密封槽,密封槽上安装有密封圈5 ;密封动板2上导流孔4的长、宽尺寸H2、W2比密封静板I上导流孔3的长、宽尺寸Hl、Wl大,满足密封静板导流孔完全导通的要求;密封动板2上两相邻导流孔4间距D2、密封静板I上两相邻导流孔3间距D1、密封动板2上导流孔4与密封圈5间距D3完全相等,从而满足密封动板将密封静板导流孔完全密封的要求;密封动板2上密封圈5的长、宽尺寸W4、H5比密封静板I上导流孔3的长、宽尺寸H1、W1大,满足密封静板导流孔真空密封要求;密封动板2通过传动机构在密封静板I上左右滑动,当密封动板2上导流孔4与密封静板I上导流孔3重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板2滑动到密封槽与密封静板I上导流孔3位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
[0016]实施例2
如图3、4所示,密封动板2和密封静板I采用圆形结构,将密封静板I和密封动板2的导流孔3、4做成环形分布,且关于圆心对称结构,密封动板2通过传动机构在密封静板I上转动,当密封动板2上的导流孔4与密封静板I上的导流孔3重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板2滑动到密封槽与密封静板I上的导流孔3位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
【权利要求】
1.一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:包括有密封动板和密封静板,所述的密封静板安装在真空阀阀箱内,密封静板的四周与真空阀阀箱之间进行真空密封,密封静板上开有一定数量的矩形的导流孔一,密封静板面向密封动板一侧的导流孔一四周为真空密封面;所述的密封动板安装在真空阀阀箱内,并可以在密封静板上左右滑动,密封动板上开有一定数量的矩形的导流孔二,导流孔二的数量与密封静板上导流孔一的数量一致,密封动板面向密封静板一侧的各个导流孔二的一侧中间位置分别开有密封槽,密封槽上安装有密封圈。
2.根据权利要求1所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上导流孔二的长、宽尺寸比密封静板上导流孔一的长、宽尺寸大。
3.根据权利要求1所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上两相邻导流孔二间距、密封静板上两相邻导流孔一间距、密封动板上导流孔二与密封圈间距完全相等。
4.根据权利要求1所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板上密封圈的长、宽尺寸W4、H5比密封静板上导流孔一的长、宽尺寸H1、W1大。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板通过传动机构在密封静板上左右滑动,当密封动板上导流孔二与密封静板上导流孔一重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板滑动到密封槽与密封静板上导流孔一位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
6.根据权利要求1所述的一种快速密封真空阀阀板结构,其特征在于:所述的密封动板和密封静板也可以采用圆形结构,将密封静板和密封动板的导流孔一、二做成环形分布,且关于圆心对称结构,密封动板通过传动机构在密封静板上转动,当密封动板上的导流孔二与密封静板上的导流孔一重合时,真空阀导流通道实现打开状态;当密封动板滑动到密封槽与密封静板上的导流孔一位置重合时,真空阀导流通道实现关闭状态。
【文档编号】F16K3/30GK104141804SQ201410312527
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年7月1日 优先权日:2014年7月1日
【发明者】梁立振, 王艳, 韦江龙, 赵祥学, 胡纯栋, 谢远来, 邑伟, 顾玉明, 杨思皓 申请人:中国科学院等离子体物理研究所
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