密封机构及旋转机械的制作方法

本发明涉及轮机等旋转机械所具备的密封机构及旋转机械。

背景技术：

作为旋转机械之一，广泛知晓对气体进行压缩的离心式压缩机。在该离心式压缩机中，在壳体内部设置有叶轮，从抽吸口抽吸的气体因该叶轮的旋转而被压缩，并从喷出口被喷出。

在此，在叶轮接头部设置有接头密封件，在叶轮级间设置有中间级密封件，在最终级设置有平衡活塞部密封件，从而实现降低由叶轮压缩后的气体的泄漏量。这样的各种密封件，有时使用例如阻尼密封件、迷宫式密封件等。

迷宫式密封件大多数情况例如构成为沿着旋转轴交替地设置有多级设置于旋转的旋转轴上的环状的突出部和从与旋转轴具有间隙地对置的静止侧构件朝向旋转轴呈环状突出的突出部。通过利用该迷宫式密封件来使在突出部的顶端附近流动的流体产生压力损失，由此能够减少流体的泄漏。

已知阻尼密封件有蜂巢状密封件、孔型密封件等。例如就孔型密封件而言，在与旋转轴具有间隙地配设的环状的静止侧构件中，在与旋转轴对置的对置面上形成有多个孔部，能够通过在该孔部产生的压力损失来减少流体的泄漏(例如参照专利文献1)。

孔型密封件与迷宫式密封件相比优越点在于衰减效果较大且旋转轴的振动稳定化，另一方面，迷宫式密封件与阻尼密封件相比能够进一步降低流体的泄漏量。

其中，上述密封构造有时会因流入的流体的回旋流(以下简称作涡旋，swirl)而发生自激振动。密封构造必须设定间隙以使静止侧与旋转侧不会因该自激振动而接触。因此，就非接触型的密封机构而言，无法缩小间隙，难以进一步降低流体的泄漏量。

在此，在使用孔型密封件的密封构造中，能够通过使产生于孔部内的涡流与涡旋干涉来抑制涡旋。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-38114号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

如上所述，可以通过由孔型密封件产生的涡流来降低涡旋。但是，不会达到完全消除涡旋的效果，因此期望更进一步降低涡旋。

本发明的目的在于，提供能够更进一步降低在旋转侧与静止侧之间产生的涡旋而防止涡旋所引起的自激振动，并同时降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量的密封机构、旋转机械。

用于解决课题的方案

根据本发明的第一方案，密封机构是配置于沿着轴线延伸的转子的外周侧且进行与所述转子的外周面之间的密封的机构。该密封机构具备：主体部，所述主体部形成为筒状，所述转子穿过所述主体部的内部；以及多个孔部，所述多个孔部以与所述转子的外周面对置的方式形成于所述主体部的内周面，所述孔部的孔深度h处于孔径d以下的范围。

根据本发明的第二方案，在第一方案的基础上，密封机构可以构成为，所述孔部的所述孔深度h相对于所述孔径d满足：

0.5d≤h≤d。

根据本发明的第三方案，在第一方案的基础上，密封机构可以构成为，所述孔部形成为截面圆形或截面六边形状。

根据本发明的第四方案，在第一至第三方案中的任一密封机构的基础上，密封机构可以构成为，多个所述孔部以孔径d及孔深度h分别被统一成同一尺寸的方式设置。

根据本发明的第五方案，在第一至第四方案中的任一方案的基础上，密封机构可以构成为，所述孔部的底面为圆锥状或平底状。

根据本发明的第六方案，在第一至第五方案中的任一方案的基础上，密封机构可以构成为，具有翅片部，所述翅片部在所述主体部的内周面朝向所述转子侧突出且沿着周向延伸。

根据本发明的第七方案，旋转机械具备：转子，其沿着轴线延伸；定子，其配置于所述转子的外周侧，且相对于所述转子绕所述轴线相对旋转。该旋转机械还具备孔型密封件，其固定于所述定子并将所述转子与所述定子之间的空间划分为高压侧和低压侧，并且具有孔列，所述孔列通过沿着周向隔开间隔地形成与所述转子的外周面对置的多个孔部而成。该旋转机械的所述孔部的孔深度处于孔径以下的范围。

根据本发明的第八方案，在第七方案的基础上，旋转机械也可以构成为，具备：翅片部，其形成于所述孔型密封件的内周面，且朝向所述转子侧突出并沿着周向延伸。该旋转机械还具备凸部，其从所述转子的外周面朝向所述孔部突出并沿着周向延伸，且在所述翅片部的低压侧与所述孔部对置。

发明效果

根据上述的密封机构、旋转机械，能够更进一步降低在旋转侧与静止侧之间产生的涡旋而防止涡旋所引起的自激振动，并同时降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式、第二实施方式的离心式压缩机的简要结构的剖视图。

图2是表示本发明的第一实施方式的上述离心式压缩机的密封机构的孔型密封件的立体图。

图3是本发明的第一实施方式的上述离心式压缩机的密封机构的局部剖视图。

图4是本发明的第一实施方式的上述孔型密封件的内周面的展开图。

图5是在本发明的第一实施方式的实施例中示出关于孔深度与等效衰减的关系的解析结果的图。

图6是表示本发明的第二实施方式的离心式压缩机的密封机构中的孔型密封件的立体图。

图7是本发明的第二实施方式的上述孔型密封件的内周面的展开图。

图8是本发明的第二实施方式的上述离心式压缩机中的密封机构的局部剖视图。

图9是本发明的第二实施方式的上述密封机构的作用的说明图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，基于附图来说明本发明的第一实施方式的旋转机械即离心式压缩机。

图1是示出表示本发明的第一实施方式的离心式压缩机1的简要结构的剖视图。

如图1所示，本实施方式的离心式压缩机1是多级式离心式压缩机。该离心式压缩机1例如具备两组三级式叶轮组。

离心式压缩机1具备旋转轴(转子)2、叶轮3、壳体(定子)5以及密封机构20A。

旋转轴2绕轴线O旋转。

叶轮3安装于旋转轴2，并利用离心力来压缩处理气体(流体)G。

壳体5将旋转轴2支承为能够旋转。在该壳体5形成有使处理气体G从高压侧向低压侧流动的返回流路4。

密封机构20A沿着旋转轴2的外周面设置。

壳体5的截面轮廓形成为圆形的柱状。以贯穿该壳体5的中心的方式配设有旋转轴2。在壳体5的两端部分别设置有径向轴承5a以及推力轴承5b。通过该径向轴承5a以及推力轴承5b将旋转轴2的两端部支承为能够旋转。即，旋转轴2经由该径向轴承5a以及推力轴承5b支承于壳体5。

在壳体5的两端部附近侧面，设置有用于从径向外侧吸入处理气体G的吸入口5c、5e。在壳体5的轴线O方向中央部设置有排出口5d、5f，以将处理气体G向径向外侧排出。在壳体5分别形成有将吸入口5c与排出口5d连通的内部空间6a(6)、以及将吸入口5e与排出口5f连通的内部空间6b(6)。

收容于壳体5的内部的多个叶轮3构成在旋转轴2的轴线O方向上叶片3b的朝向彼此朝向相反侧的三级式叶轮组3A和三级式叶轮组3B这两组三级式叶轮组。三级式叶轮组3A和三级式叶轮组3B以使彼此的背面朝向轴线O方向中央的状态安装于旋转轴2。

叶轮3具备盘构件3a、叶片3b以及罩部3c。

盘构件3a形成为在轴线O方向上朝向排出口5d、5f侧逐渐扩径的大致圆盘状。

叶片3b呈辐射状形成于盘构件3a。即，叶片3b沿着周向排列有多个。

罩部3c以覆盖多个叶片3b的顶端侧的方式形成为圆盘状。

构成三级式叶轮组3A的叶轮3与构成三级式叶轮组3B的叶轮3在轴线O方向上彼此朝向相反方向。在使旋转轴2旋转的情况下，三级式叶轮组3A使处理气体G从吸入口5c朝向排出口5d流通并压缩该处理气体G。另一方面，三级式叶轮组3B使处理气体G从吸入口5e朝向排出口5f流通并压缩该处理气体G。

内部空间6具备返回流路4。返回流路4使处理气体G从叶轮3的流路出口分别朝向流路入口流动。返回流路4具有扩散部12、弯曲部13以及返回部14。扩散部12将被叶轮3压缩并从叶轮3的流路出口向径向外侧排出的处理气体G向径向外侧引导。

扩散部12的径向外侧的部分经由弯曲部13与返回部14连通。其中，在与三级式叶轮组3A以及三级式叶轮组3B各自的第三级叶轮3相连的扩散部12的径向外侧的部分，形成有排出口5d、5f来取代返回部14。

弯曲部13形成弯曲的流路。弯曲部13的上游侧的第一端与扩散部12连接。弯曲部13的下游侧的第二端与返回部14连接。弯曲部13将经由扩散部12向径向外侧流过来的处理气体G的朝向翻转成朝向径向内侧，并将处理气体G送出至返回部14。返回部14在径向外侧与弯曲部13的第二端连接。返回部14在径向内侧与叶轮3的流路入口连接。

本实施方式的离心式压缩机1具备上述结构。接着，对该离心式压缩机1的动作进行说明。

首先，在三级式叶轮组3A中，一边使从吸入口5c吸入的处理气体G流入返回流路4并按照叶轮3、扩散部12、弯曲部13以及返回部14的顺序从第一级流至第三级，一边对该处理气体G进行压缩。然后，将流过第三级扩散部12的被压缩后的处理气体G从排出口5d排出。从排出口5d排出后的处理气体G经由从排出口5d连到吸入口5e的未图示的管路而被向吸入口5e输送。

接下来，在三级式叶轮组3B中，一边使从吸入口5e吸入的处理气体G流入返回流路4并按照叶轮3、扩散部12、弯曲部13、返回部14的顺序从第一级流至第三级，一边对该处理气体G进一步进行压缩。然后，到达第三级扩散部12的被压缩后的处理气体G从排出口5f排出。

上述的三级式叶轮组3B的排出口5f附近的处理气体G与三级式叶轮组3A的排出口5d附近的处理气体G相比，压力变高了由三级式叶轮组3B进行压缩的量。即，轴线O方向上排出口5d附近的旋转轴2周围的处理气体G与轴线O方向上排出口5f附近的旋转轴2周围的处理气体G产生压力差。因此，在各第三级叶轮3之间设置有密封机构20A，该密封机构20A在容许旋转轴2的旋转的同时，划分旋转轴2的轴线O方向上的高压侧与低压侧并防止处理气体G的泄漏。密封机构20A配置于旋转轴2的外周侧，能够相对于旋转轴2绕轴线O相对旋转。

在与旋转轴2具有间隙地配设的环状的壳体5的内周，配置有构成密封机构20A的孔型密封件(主体部)21A。孔型密封件21A形成为筒状，旋转轴2穿过孔型密封件21A的内部。

图2是表示上述离心式压缩机的密封机构的孔型密封件的立体图。图3是上述离心式压缩机的密封机构的局部剖视图。图4是上述孔型密封件的内周面的展开图。

如图2所示，在孔型密封件21A的内周面21a上形成有朝向内周侧开口的多个孔部22。该多个孔部22的孔径形成为相等的截面圆形。这些孔部22的轴线(未图示)均配置为沿着旋转轴2的径向延伸。如图3所示，各孔部22的底面22a被设为圆锥状(参照图3)。换言之，底面22a形成为朝向径向外侧缩径。该孔型密封件21A在其内周面21a上交错地配置有孔部22的开口部22b。

如图4所示，孔型密封件21A在轴线O方向上成为高压侧的第一侧(图4的纸面左侧)形成有第一列L1，该第一列L1通过多个孔部22的开口部22b朝向周向(图4的纸面上下方向)以等间隔排列而成。另外，在成为该第一列L1的轴线O方向上的低压侧的第二侧(图4的纸面右侧)形成有第三列L3。第三列L3的多个孔部22的开口部22b与上述第一列L1同样地朝向周向以等间隔排列。

在第一列L1与第三列L3之间，形成有由多个孔部22的开口部22b沿着周向以等间隔排列而成的第二列L2。构成第二列L2的开口部22b分别配置于在周向上处于第一列L1(以及第三列L3)的相邻的开口部22b彼此的中央且在轴线O方向上处于第一列L1与第三列L3的在轴线O方向上相邻的开口部22b彼此的中央处的位置。在图4中，为了便于图示，从经过各开口部22b的中心的直线(图4中的点划线)引出第一列L1至第三列L3的标号。

在孔型密封件21A上，沿着轴线O方向排列形成有将上述的第一列L1和第二列L2作为一组列组R的多组列组R。

接着，参照图3来说明上述的孔型密封件21A的作用。

在此，若上述的旋转轴2旋转，则旋转轴2的周围的处理气体G被从包含叶轮3的旋转体沿着旋转切线方向地施加剪切力。因该剪切力的作用而产生具有周向的速度分量的涡旋。包含该涡旋的处理气体G因轴线O方向两侧的压力差而欲从高压侧朝向低压侧流动。

首先，包含上述涡旋的处理气体G因孔型密封件21A的最高压侧的端部与旋转轴2的外周面2a的间隙g而被缩流。进入该间隙g后的处理气体G沿着轴线O方向朝向低压侧行进。于是，该处理气体G的一部分朝向孔型密封件21A的第一列L1的孔部22侧。

接下来，朝向第一列L1的孔部22侧的处理气体G的一部分进入孔部22的内部，并在底面22a以朝向开口部22b的方式折回而成为涡流F1。在此，在孔部22中，在周向上也存在隔壁K2，因此进入孔部22后的处理气体G的涡旋与隔壁K2碰撞而被消除。

从孔部22出来的处理气体G的一部分与沿着轴线O方向向低压侧流动的处理气体G的主流F0干涉。在孔部22生成的处理气体G的一部分所引起的涡流F1与沿着轴线O方向向低压侧流动的处理气体G的主流F0的流动的朝向不同。由此，使沿着轴线O方向向低压侧流动的处理气体G的主流F0的能量衰减。

处理气体G进一步沿着轴线O方向向低压侧流动，其一部分进入第三列L3以后的孔部22。由此，处理气体G一边沿着旋转轴2的轴线O方向进入，一边沿着径向蜿蜒行进。然后，与孔型密封件21A的列组R的数量相应地，反复发挥上述的作用。

各列的孔部22的孔深度h被设为孔径d以下(h≤d)。

孔深度h相对于孔径d变得越大，则进入孔部22的处理气体G的流速越慢，对处理气体G的主流F0的能量衰减效果越小。另外，若增大孔部22的孔深度h，则加工成本增大。

另外，若孔深度h相对于孔径d过小，则孔部22变浅，因此处理气体G难以进入孔部22，难以得到能量衰减效果。另外，孔部22容易因在孔部22积存污垢而变浅，这点也会减少能量衰减效果。

因此，优选孔部22的孔深度h相对于孔径d设为：

h≤d。进一步优选设为d/2≤h≤d。

而且，优选构成孔型密封件21A的所有孔部22以孔径d及孔深度h分别被统一成同一尺寸的方式设置。

因此，根据上述的第一实施方式的离心式压缩机1，能够使因进入孔型密封件21A的孔部22后的处理气体G的一部分而在孔部22形成的涡流F1与不进入孔部22而沿着轴线O方向向低压侧流动的主流F0干涉。因此，能够使处理气体G的主流F0的能量衰减而除去处理气体G所含的涡旋。

而且，通过将孔部22的孔深度h设为孔径d以下，容易产生涡流F1，能够有效发挥上述的涡旋降低效果、能量衰减效果。

其结果是，能够在防止由涡旋引起的自激振动的同时，降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量。

另外，通过将孔型密封件21A的所有孔部22以孔径d及孔深度h分别被统一成同一尺寸的方式设置，由此能够准确、容易且可靠地进行孔部22的加工。而且，由孔部22引起的衰减效果在周向以及轴向上相同，因此衰减效果不容易产生各向异性。

而且，孔部22的底面22a被设为圆锥状。由此，进入孔部22后的处理气体G的一部分碰撞底面22a而容易改变流动的朝向，在孔部22容易产生涡流F1。

实施例

接着，通过CFD(数值流体力学：Computational Fluid Dynamics)解析来确认上述第一实施方式的结构的效果。

为了进行比较，在以下的三个条件下对孔深度h与等效衰减的关系进行解析。

实施例1)将孔深度h设为与孔部22的孔径d相同(h＝d)。

实施例2)将孔深度h设为孔部22的孔径d的1/2(h＝0.5d)。

比较例)将孔深度h设为孔部22的孔径d的2倍(h＝2d)。

图5是表示关于孔深度h与等效衰减的关系的解析结果的图。

如该图5所示，在将实施例2的等效衰减设为1.0的情况下，实施例1的等效衰减为0.98，比较例的等效衰减是0.6。即，孔深度h为孔部22的孔径d以下的实施例1、2的等效衰减是孔深度h比孔部22的孔径d大的比较例的等效衰减的1.5倍以上。由此，能够确认到，通过将孔深度h设为孔部22的孔径d以下，能够得到高的衰减。

(第二实施方式)

接着，对本发明的旋转机械即离心式压缩机的第二实施方式进行说明。该第二实施方式所示的离心式压缩机仅在孔型密封件具备翅片部的结构上与第一实施方式的离心式压缩机不同。因此，在第二实施方式的说明中，对与第一实施方式相同的部分标注相同附图标记地进行说明并省略重复说明。即，对与第一实施方式说明的结构共同的离心式压缩机的整体结构，省略其说明。

图6是表示本发明的第二实施方式的上述离心式压缩机的密封机构中的孔型密封件的立体图。图7是上述孔型密封件的内周面的展开图。图8是上述离心式压缩机中的密封机构的局部剖视图。

如图6～图8所示，本实施方式的离心式压缩机1的密封机构20B的孔型密封件(主体部)21B在其内周面21a具备孔部22和翅片部24。

孔型密封件21B在轴线O方向上成为高压侧的第一侧(图7的纸面左侧)形成有第一列L1，该第一列L1通过多个第一孔部22A的开口部22b朝向周向(图7的纸面上下方向)隔开相同的间隔S1地排列而成。另外，在成为该第一列L1的轴线O方向上的低压侧的第二侧(图7的纸面右侧)，以隔开比间隔S1充分小的间隔S2的方式形成有第三列L3。第三列L3的多个第三孔部22C的开口部22b与上述第一列L1同样地朝向周向隔开间隔S1地排列。

在第一列L1与第三列L3之间，形成有通过多个第二孔部22B的开口部22b沿着周向隔开间隔S1地排列而成的第二列L2。构成第二列L2的开口部22b分别配置于在周向上处于第一列L1(以及第三列L3)的相邻的开口部22b彼此的间隔S1的中央且在轴线O方向上处于第一列L1与第三列L3的在轴线O方向上相邻的开口部22b彼此的间隔S2的中央处的位置。在图7中，为了便于图示，从经过各开口部22b的中心的直线(图7中的点划线)引出第一列L1至第三列L3的标号。

在孔型密封件21B上，沿着轴线O方向排列形成有将上述的第一列L1至第三列L3作为一组列组R的多组列组R。相邻的各列组R的第一列L1的开口部22b与第三列L3的开口部22b分别隔开间隔S2地配置。

如图6～图8所示，在各列组R的成为高压侧的第一侧形成有朝向内周侧即旋转轴2侧沿着径向突出的翅片部24。翅片部24在孔型密封件21B的周向的整周上连续地形成。翅片部24形成为厚度均等的圆环板状。换言之，翅片部24从包围第一列L1的第一孔部22A的高压侧的隔壁K1(参照图8)朝向旋转轴2侧延伸出。翅片部24设置于各第一列L1的高压侧。在第一列L1的低压侧配设有第二列L2以及第三列L3。翅片部24的前端部24a配置为与旋转轴2的外周面2a具有规定的间隙c。

如图8所示，旋转轴2在与上述的孔型密封件21B对置的外周面2a上具有凸部25。凸部25朝向孔型密封件21B突出并在周向的整周上连续地形成。凸部25在比各翅片部24靠低压侧的位置与第一列L1的第一孔部22A的开口部22b对置。凸部25的高压侧的纵壁25b在轴线O方向上配置于比隔壁K3的高压侧的面靠高压侧的位置。凸部25的外周面25a配置于彼此相邻的翅片部24之间。换言之，外周面25a以从轴线O方向观察与翅片部24重叠的方式相对于隔壁K3隔开规定的间隙地配置，所述隔壁K3是第一列L1的第一孔部22与第三列L3的第三孔部22C之间的隔壁。而且，翅片部24在轴线O方向上配置于相邻的凸部25、25之间的中央。即，凸部25以在轴线O方向上相邻的隔壁K3彼此的中央部为中心而成为对称形状。

在此，与上述第一实施方式同样，优选将构成孔型密封件21B的各列的孔部22的孔深度h相对于孔径d设为：

h≤d。进一步优选设为d/2≤h≤d。

图9是上述密封机构的作用的说明图。

接着，参照图9来说明上述的孔型密封件21B的作用。

如图9所示，在此，若上述的旋转轴2旋转，则旋转轴2的周围的处理气体G被从包含叶轮3的旋转体沿着旋转切线方向地施加剪切力。因该剪切力的作用而产生具有周向的速度分量的涡旋。包含该涡旋的处理气体G因轴线O方向两侧的压力差而欲从高压侧朝向低压侧流动。

首先，包含上述涡旋的处理气体G因孔型密封件21B的最高压侧的翅片部24的前端部24a与旋转轴2的外周面2a的间隙g1而被缩流。进入该间隙g1后的处理气体G沿着轴线O方向朝向低压侧行进。于是，该处理气体G与凸部25的高压侧的纵壁25b碰撞而成为朝向凸部25的径向外侧、即孔型密封件21B的第一列L1的第一孔部22A侧的气流。

接下来，朝向第一列L1的第一孔部22A侧的处理气体G的大部分进入第一孔部22A的内部，并在底面22a以朝向开口部22b的方式折回而成为涡流F1。在此，在孔部22中，在周向上也存在隔壁K2，因此进入第一孔部22A后的处理气体G的涡旋与隔壁K2碰撞而被消除。从第一孔部22A出来的处理气体G欲向低压侧流动，而进入凸部25的正上方的隔壁K3或第二列L2与凸部25的外周面25a的间隙g2。然后，处理气体G朝向与凸部25的外周面25a相比配置于低压侧且径向内侧的间隙g3行进，此时沿着径向蜿蜒行进。通过该蜿蜒行进打乱气流而能够得到与通常的迷宫式密封件同样的密封效果。然后，与孔型密封件21B的列组R的数量相应地，反复发挥上述的作用。在此，在第三列L3的第三孔部22C的内部也产生与通常的孔型密封件21B同等程度的涡流F1，有助于降低涡旋。

因此，根据上述的第二实施方式的离心式压缩机1，能够使从孔型密封件21B的翅片部24与旋转轴2的间隙g1进入的处理气体G与旋转轴2的凸部25的纵壁25b接触而朝向孔型密封件21B的孔部22侧流动。因此，能够通过孔部22的隔壁中的配置于旋转轴2的周向上的隔壁K2来阻碍处理气体G向回旋方向流动而降低涡旋。

另外，由翅片部24形成的间隙g1、g3和由凸部25形成的间隙g2配置于在径向上错开的位置，由此处理气体G在径向上蜿蜒行进。因此，能够通过所谓的迷宫构造所带来的密封效果来降低处理气体G的泄漏量。其结果是，能够在防止由涡旋引起的自激振动的同时，降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量。

而且，通过将孔部22的孔深度h设为孔径d以下，能够有效发挥上述的涡旋降低效果、能量衰减效果。

其结果是，能够在防止由涡旋引起的自激振动的同时，降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量。

而且，与设置于形成有孔型密封件21B的高压侧与低压侧之间的翅片部24以及凸部25的数量、即形成有列组R的数量相应地，列组R的数量越多则越能够降低处理气体G的涡旋以及泄漏量。

(其他实施方式)

本发明不限定于上述的各实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行设计变更。

例如，在上述第二实施方式中，设置有翅片部24，但设置翅片部24的间隔、即构成各列组R的孔部22的列的数量可以适当变更。

另外，例如，在上述各实施方式中，在孔型密封件21A、21B中，将孔部22配置为交错状，但其周向以及轴向的间隔可以适当设定。

另外，构成孔型密封件21A、21B的孔部22不限定于使在轴向上彼此相邻的孔部22的列彼此在周向上错开的交错状，也可以配置为彼此相邻的孔部22的间隔以及相位相同的方阵排列。

另外，在上述各实施方式中，翅片部24的前端部24a沿着径向延伸，与此相对，也可以以前端部24a配置于比基部24b靠高压侧的位置的方式以倾斜状态形成翅片部24。

而且，在上述各实施方式中，翅片部24以一定的厚度形成，与此相对，也可以使翅片部24形成为越朝向前端部24a宽度尺寸形成得越薄的尖头状。

而且，在上述各实施方式中，使构成密封机构20A、20B的孔型密封件21A、21B的孔部22形成为孔径d大致相等的截面圆形，但不限定于此。例如也可以根据孔部22的轴向位置、周向位置等而使孔径d不同。

除此之外，孔部22不限定于截面圆形，也可以设为截面六边形状而构成所谓的蜂巢状密封件。

另外，孔部22的底面22a不限定于圆锥状，也可以设为平底状。

在这些情况下，通过与上述实施方式同样地设定孔部22的孔径d与孔深度h的关系，也能够起到同样的作用效果。

产业上的可利用性

通过将构成密封机构的孔部的孔深度设为孔径以下，能够在防止由涡旋引起的自激振动的同时，降低从高压侧向低压侧的处理气体G的泄漏量。

附图标记说明

1 离心式压缩机

2 旋转轴(转子)

2a 外周面

3 叶轮

3A 三级式叶轮组

3B 三级式叶轮组

3a 盘构件

3b 叶片

3c 罩部

4 返回流路

5 壳体(定子)

5a 径向轴承

5b 推力轴承

5c 吸入口

5d 排出口

5e 吸入口

5f 排出口

6 内部空间

6a 内部空间

6b 内部空间

12 扩散部

13 弯曲部

14 返回部

20A、20B 密封机构

21A、21B 孔型密封件(主体部)

21a 内周面

22 孔部

22A 第一孔部

22B 第二孔部

22C 第三孔部

22a 底面

22b 开口部

24 翅片部

24a 前端部

24b 基部

25 凸部

25a 外周面

25b 纵壁

c 间隙

d 孔径

F0 主流

F1 涡流

h 孔深度

G 处理气体

g1、g2、g3 间隙

K1、K2、K3 隔壁

L1 第一列

L2 第二列

L3 第三列

O 轴线

R 列组

S1、S2 间隔